I-line Stepper

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Es soll ein i-line Stepper ausgewählt werden. Mit dieser Projektions-lithographiean. sollen Fotolackschichten auf Halbleitersubs. (Wafer) mit hoher Präzision und Genauigkeit bezüglich Auflösungsverm. (MFS, minimal feature size), Lage der zu belichtenden Strukturen zu bereits strukturierten Schichten (overlay), deren Korrektur bei Verzerrung/Verzeichnung des Substrates und Schärfentiefe belichtet werden. Der Stepper soll die in HHI-PC eingesetzten Wafer aus IndiumPhosphid (InP) + die aktuellen Wafergrößen (3 Zoll), die zu erwartenden Größen von 4 Zoll und bis zu 6 Zoll automatisiert transportieren, bei Erstbelichtungen an der Wafermarkierung (Flat), bei Belichtungen zu bereits strukturierten Wafern, an Justiermarken ausrichten + belichten können. Neben dem Stepper sollen auch notw. Testmasken + Testrezepte für eine spätere regelm. Prozeßkontrolle mitgeliefert werden. Außerdem soll eine intensive Schulung von mind. 2 Mitarbeitern angeb. werden. Es sollen nur refurbished Anlagen angeb. werden.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-10-10. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2016-09-06.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Nikon Precision Europe GmbH

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Deutschland › Berlin
• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2016-09-06	Auftragsbekanntmachung
2017-04-26	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2016-09-06)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_924_214777 cl-ort
Kurze Beschreibung:

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Berlin 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2016-09-06 📅
Einreichungsfrist: 2016-10-10 📅
Veröffentlichungsdatum: 2016-09-10 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2016/S 175-313991
ABl. S-Ausgabe: 175
Zusätzliche Informationen

— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. – Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Dauer: 9 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 10587 Berlin.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

— Firmenprofil mit Angabe der Mitarbeiteranzahl;

— Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre;

— Eigenerklärung über das ordnungsgemäße. Abführen von Steuern und Abgaben sowie der Beiträge zur gesetzlichen Sozialversicherung;

— Eigenerklärung, dass weder ein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde noch das sich das Unternehmen in Liquidation befindet;

— Eigenerklärung, dass nachweislich keine schweren Verfehlungen begangen wurden, die die Zuverlässigkeit als Bewerber in Frage stellen;

— Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150a GewO (wird durch den Auftraggeber angefordert).

Technische und berufliche Fähigkeiten:

— Nennung von Referenzkunden, die mit InP-Wafern oder aber mindestens mit III-V-Halbleiterwafer arbeiten, nicht älter als 3 Jahre.

Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern: Gemäß Eignungskriterien: Referenzen, Anzahl der Referenzkunden.
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 23:59
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsgesellschaft e. V.
Kontakt
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstraße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. §134 GWB informiert.

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: X
Postanschrift: X
Postort: X
Postleitzahl: X
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2016/S 175-313991 (2016-09-06)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2017-04-26)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Es soll ein i-line Stepper ausgewählt werden. Mit dieser Projektions-lithographiean. sollen Fotolackschichten auf Halbleitersubs.(Wafer) mit hoher Präzision und Genauigkeit bezüglich Auflösungsverm. (MFS, minimal feature size), Lage der zu belichtenden Strukturen zu bereits strukturierten Schichten(overlay), deren Korrektur bei Verzerrung/Verzeichnung des Substrates und Schärfentiefe belichtet werden. Der Stepper soll die in HHI-PC eingesetzten Wafer aus IndiumPhosphid(InP) + die aktuellen Wafergrößen(3 Zoll), die zu erwartenden Größen von 4 Zoll und bis zu 6 Zoll automatisiert transportieren, bei Erstbelichtungen an der Wafermarkierung(Flat), bei Belichtungen zu bereits strukturierten Wafern, an Justiermarken ausrichten + belichten können. Neben dem Stepper sollen auch notw. Testmasken + Testrezepte für eine spätere regelm. Prozeßkontrolle mitgeliefert werden. Außerdem soll eine intensive Schulung von mind. 2 Mitarbeitern angeb. werden. Es sollen nur refurbished Anlagen angeb. werden.

Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-04-26 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-04-28 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 083-160597
Verweist auf Bekanntmachung: 2016/S 175-313991
ABl. S-Ausgabe: 83

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Service, Dauer der Gewährleistung und Ersatzteilgarantie, Sitz des Serviceteams
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 40
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Handhabung (anhand der Beobachtung bei einer Referenzanlage)
Gewichtung des Preises: 40

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2017-04-13 📅

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. §134 GWB informiert.

Quelle: OJS 2017/S 083-160597 (2017-04-26)

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