Ionenstrahlätzanlage

Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden e. V.

Chemisch unterstütze Ionenstrahlätzanlage
Das System soll geeignet sein für das Trockenätzen von Dünnschichten bestehend aus edlen Metallen, Piezomaterialien wie Lithiumniobat und Schichtsystemen. Die Schichtsysteme können unter anderem bestehen aus: (Metall/Metalloxid)n wobei „n“ die Anzahl der Ebenen im Stapel ist, oder auch III-V Halbleitern wie GaAs, AlAs und InGaAs. Gefordert wird ein rein physikalisches Ätzen (IBE) mittels Argonionen und reaktivem Ionenätzen (RIBE) mit Hilfe von Chlorgas, BCl3 und Sauerstoff, zugeführt durch einen Gasring.
Eine in-situ Detektion des Ätzfortschrittes soll per Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS) ermöglicht werden. Ein funktionsfähiger SIMS Detektor von HIDEN ist vorhanden und es soll geprüft werden, ob das SIMS in das neue System integriert werden kann. Die Option zum Kauf, inklusive Preis eines neuen SIMS-Systems, soll dem Angebot beigefügt werden.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-07-05. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2016-05-20.

Wer?

• Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden e. V.

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) › Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen

Wo?

• Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2016-05-20	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2016-05-20)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen
Referenznummer: 006/2016L
Kurze Beschreibung:

Chemisch unterstütze Ionenstrahlätzanlage Das System soll geeignet sein für das Trockenätzen von Dünnschichten bestehend aus edlen Metallen, Piezomaterialien wie Lithiumniobat und Schichtsystemen. Die Schichtsysteme können unter anderem bestehen aus: (Metall/Metalloxid)n wobei „n“ die Anzahl der Ebenen im Stapel ist, oder auch III-V Halbleitern wie GaAs, AlAs und InGaAs. Gefordert wird ein rein physikalisches Ätzen (IBE) mittels Argonionen und reaktivem Ionenätzen (RIBE) mit Hilfe von Chlorgas, BCl3 und Sauerstoff, zugeführt durch einen Gasring. Eine in-situ Detektion des Ätzfortschrittes soll per Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS) ermöglicht werden. Ein funktionsfähiger SIMS Detektor von HIDEN ist vorhanden und es soll geprüft werden, ob das SIMS in das neue System integriert werden kann. Die Option zum Kauf, inklusive Preis eines neuen SIMS-Systems, soll dem Angebot beigefügt werden.

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden e. V.
Postanschrift: Helmholtzstr. 20
Postleitzahl: 01069
Postort: Dresden
Kontakt
Internetadresse: http://www.ifw-dresden.de 🌏
E-Mail: k.schwencke@ifw-dresden.de 📧
Telefon: +49 3514659364 📞
Fax: +49 3514659232 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe.de/unterlagen 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2016-05-20 📅
Einreichungsfrist: 2016-07-05 📅
Veröffentlichungsdatum: 2016-05-25 📅
Datum des Beginns: 2016-07-29 📅
Datum des Endes: 2016-12-31 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2016/S 099-176565
ABl. S-Ausgabe: 99

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Chemisch unterstütze Ionenstrahlätzanlage

Das System soll geeignet sein für das Trockenätzen von Dünnschichten bestehend aus edlen Metallen, Piezomaterialien wie Lithiumniobat und Schichtsystemen. Die Schichtsysteme können unter anderem bestehen aus: (Metall/Metalloxid)n wobei „n“ die Anzahl der Ebenen im Stapel ist, oder auch III-V Halbleitern wie GaAs, AlAs und InGaAs. Gefordert wird ein rein physikalisches Ätzen (IBE) mittels Argonionen und reaktivem Ionenätzen (RIBE) mit Hilfe von Chlorgas, BCl3 und Sauerstoff, zugeführt durch einen Gasring.

Eine in-situ Detektion des Ätzfortschrittes soll per Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS) ermöglicht werden. Ein funktionsfähiger SIMS Detektor von HIDEN ist vorhanden und es soll geprüft werden, ob das SIMS in das neue System integriert werden kann. Die Option zum Kauf, inklusive Preis eines neuen SIMS-Systems, soll dem Angebot beigefügt werden.

Geschätzter Gesamtwert: 400 000 EUR 💰
Geschätzter Wert ohne MwSt: 400 000 EUR 💰
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Dresden, DE.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

— Gewerbeanmeldung;

— Nachweis über die Eintragung in das Berufs- oder Handelsregister;

— Nachweis einer entsprechenden Betriebs- bzw. Berufshaftpflichtversicherung.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

— Angaben über den Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre;

— Referenzen (min. 3 gleichwertige, vergleichbare Leistungen mit Angaben zum Auftragswert;

— Zeitpunkt sowie Auftraggeber in den letzten 3 Geschäftsjahre);

— Nachweis einer entsprechenden Betriebs- bzw. Berufshaftpflichtversicherung.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

— Angaben über das für die zu vergebende Leistung zur Verfügung stehende Personal

und Beschreibung der verfügbaren technischen Ausrüstung sowie seiner Maßnahmen

zur Qualitätssicherung;

— Durchschnittliche Beschäftigungszahl der letzten 3 Geschäftsjahre gegliedert nach

Berufsgruppen.

Verfahren
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 13:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2016-07-29 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2016-07-05 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 13:00

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Abteilung Einkauf, Kristin Schwencke
Internetadresse: www.ifw-dresden.de 🌏
Dokumente URL: https://www.evergabe.de/unterlagen 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Sachsen
Postanschrift: Brauhausstr. 2
Postort: Leipzig
Postleitzahl: 04107
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: wiltrud.kadenbach@lds.sachsen.de 📧
Quelle: OJS 2016/S 099-176565 (2016-05-20)

Neue Beschaffungen in verwandten Kategorien 🆕

Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (>20 neue Beschaffungen)

Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen (18)