Modul zur Siliziumnitridätzung
IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Leistungsbeschreibung eines Moduls zur Siliziumnitridätzung und Integration desselben in einen halbautomatischen Wet-Prozessor (HWP) der Fa. HMR Reinraum- & Labortechnik GmbH
Modulanforderungen:
Das Modul soll an eine bestehende Anlage des Typs SWP der Fa. HMR anschließbar, bezüglich seiner Funktionen teilweise integrierbar sein und ein altes Modul des Typs Nison 1800 der Fa. Nisso Eng. ersetzen.
Das Modul muss in der Lage sein, konzentrierte Phosphorsäure auf eine Temperatur von max. 180°C zu erhitzen, zu pumpen, zu filtern und mit DI-Wasser zu mischen.
Die Heizungsregelung des Moduls muss neben dem Durchlauferhitzer ebenfalls die Heizung des Prozessbeckens steuern.
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-10-25. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2016-09-19.
AnbieterDie folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer? Wie?
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2016-09-19 | Auftragsbekanntmachung |
| 2017-01-19 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Auftragsbekanntmachung (2016-09-19)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: IHP-2016-088
Kurze Beschreibung:
“Leistungsbeschreibung eines Moduls zur Siliziumnitridätzung und Integration desselben in einen halbautomatischen Wet-Prozessor (HWP) der Fa. HMR Reinraum-...”
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: de411 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Niedrigster Preis
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postleitzahl: 15236
Postort: Frankfurt (Oder)
Kontakt
Internetadresse: http://www.ihp-microelectronics.com 🌏
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Telefon: +49 335-5625-359 📞
Fax: +49 335-5625-25359 📠
URL der Dokumente: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPCenter/company/announcements/categoryOverview.do?method=search&searchString=%22CXSTYYDYYC5%22 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2016-09-19 📅
Einreichungsfrist: 2016-10-25 📅
Veröffentlichungsdatum: 2016-09-24 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2016/S 185-331682
ABl. S-Ausgabe: 185
Zusätzliche Informationen
“Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der...”
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Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Leistungsbeschreibung eines Moduls zur Siliziumnitridätzung und Integration desselben in einen halbautomatischen Wet-Prozessor (HWP) der Fa. HMR Reinraum-...”
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“Modulanforderungen:”
“Das Modul soll an eine bestehende Anlage des Typs SWP der Fa. HMR anschließbar, bezüglich seiner Funktionen teilweise integrierbar sein und ein altes Modul...”
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“Das Modul muss in der Lage sein, konzentrierte Phosphorsäure auf eine Temperatur von max. 180°C zu erhitzen, zu pumpen, zu filtern und mit DI-Wasser zu mischen.”
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“Die Heizungsregelung des Moduls muss neben dem Durchlauferhitzer ebenfalls die Heizung des Prozessbeckens steuern.”
“Max. Maße des Moduls:”
“T: 450 mm”
“B: 1 200 mm”
“H: 2 000 mm”
“Das Modul muss folgende Komponenten beinhalten:”
“? Kabinett aus PVDF zur Aufnahme der medienberührenden Einzelkomponenten”
“? Faltenbalgpumpe des Typs Iwaki FW20 HT oder besser mit einer Temperaturbeständigkeit min. 180°C, montiert unterhalb des Prozessbecken-Niveaus”
“? Durchlauferhitzer des Typs Accuheat mit einer minimalen Leistung von 6 kW (oder vergleichbares Produkt) zum Erhitzen der Phosphorsäure auf 160°C bis...”
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“? Vorbereitung für den Einbau eines Komplettfilters des Typs LDFT1F00213E51-K3 der Fa. Pall, der vom IHP bereitgestellt wird”
“? System zum Zuspiken von DI-Wasser, so dass die Phosphorsäurekonzentration und somit die Siliziumnitrid-Ätzrate im Prozessbecken der Anlage HWP bei einer...”
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“o? Di-Wasser-Spiking:”
“? nach Zeit (variabel über einen Zeitraum von mind. vier Wochen), so dass die Siliziumnitrid-Ätzrate innerhalb dieser Zeit konstant bleibt (siehe Acceptance...”
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“? pro Los (direkt nach Losstart und nach Losstart, wenn die Badtemperatur wieder auf Target ist)”
“? alle Chemieverschraubungen sind in Flare Lock II auszuführen”
“? separates Kabinett für die elektrischen und pneumatischen Komponenten oberhalb des PVDF-Chemiekabinettes”
“? getrennte Ausführung der elektrischen und pneumatischen Komponenten”
“? Bedienmöglichkeit am Modul durch separates Touchpanel mit Möglichkeit der manuellen Steuerung sämtlicher Ventile am Panel (mindestens wie bisheriges Panel)”
“? Einbindung in die Visualisierung der SWP der Fa. HMR mit mindestens allen Funktionen analog zur Nison 1800 oder besser + Übergabe der aktuellen...”
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Dauer: 84 Tage
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik; Im Technologiepark 25; 15236; Frankfurt (Oder).”
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
“— Bescheinigung in Steuersachen.”
“Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.”
Technische und berufliche Fähigkeiten:
“Um die erforderliche technische und berufliche Leistungsfähigkeit des Bewerbers oder Bieters überprüfen zu können benötigen wir folgende Unterlagen:”
“1. Referenzen:”
“Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt”
“Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.”
“Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:”
“— Referenzgeber:”
“— Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung:”
“— Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs:”
“2. Beschreibung der technischen Ausrüstung, der Maßnahmen zur Qualitätssicherung und der Untersuchungs- und Forschungsmöglichkeiten des Unternehmens,”
“3. Erklärung, aus der ersichtlich ist, über welche Ausstattung, welche Geräte und welche technische Ausrüstung das Unternehmen für die Ausführung des...”
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Verfahren
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2016-11-20 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2016-10-25 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00
Ort des Eröffnungstermins: Frankfurt (Oder).
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschung und Entwicklung
Kontakt
Kontaktperson: Beschaffung
Internetadresse: www.ihp-microelectronics.com 🌏
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPCenter/company/announcements/categoryOverview.do?method=search&searchString=%22CXSTYYDYYC5%22 🌏
Referenz
Zusätzliche Informationen
“Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg”
“http://vergabemarktplatz.brandenburg.de”
“Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen.”
“Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden.”
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“Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen...”
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“Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und? sofern im konkreten Verfahren einschlägig?...”
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“Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden.”
“Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYYC5.”
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331/866-1719 📞
Fax: +49 331/866-1652 📠
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 335-5625-359 📞
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 335-5625-359 📞
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Quelle: OJS 2016/S 185-331682 (2016-09-19)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: IHP-2016-088
Kurze Beschreibung:
“Leistungsbeschreibung eines Moduls zur Siliziumnitridätzung und Integration desselben in einen halbautomatischen Wet-Prozessor (HWP) der Fa. HMR Reinraum-...”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: de411 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Niedrigster Preis
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postleitzahl: 15236
Postort: Frankfurt (Oder)
Kontakt
Internetadresse: http://www.ihp-microelectronics.com 🌏
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Telefon: +49 335-5625-359 📞
Fax: +49 335-5625-25359 📠
URL der Dokumente: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPCenter/company/announcements/categoryOverview.do?method=search&searchString=%22CXSTYYDYYC5%22 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2016-09-19 📅
Einreichungsfrist: 2016-10-25 📅
Veröffentlichungsdatum: 2016-09-24 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2016/S 185-331682
ABl. S-Ausgabe: 185
Zusätzliche Informationen
“Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der...”
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Leistungsbeschreibung eines Moduls zur Siliziumnitridätzung und Integration desselben in einen halbautomatischen Wet-Prozessor (HWP) der Fa. HMR Reinraum-...”
“Modulanforderungen:”
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“Das Modul soll an eine bestehende Anlage des Typs SWP der Fa. HMR anschließbar, bezüglich seiner Funktionen teilweise integrierbar sein und ein altes Modul...”
“Das Modul muss in der Lage sein, konzentrierte Phosphorsäure auf eine Temperatur von max. 180°C zu erhitzen, zu pumpen, zu filtern und mit DI-Wasser zu mischen.”
“Die Heizungsregelung des Moduls muss neben dem Durchlauferhitzer ebenfalls die Heizung des Prozessbeckens steuern.”
“Max. Maße des Moduls:”
“T: 450 mm”
“B: 1 200 mm”
“H: 2 000 mm”
“Das Modul muss folgende Komponenten beinhalten:”
“? Kabinett aus PVDF zur Aufnahme der medienberührenden Einzelkomponenten”
“? Faltenbalgpumpe des Typs Iwaki FW20 HT oder besser mit einer Temperaturbeständigkeit min. 180°C, montiert unterhalb des Prozessbecken-Niveaus”
“? Durchlauferhitzer des Typs Accuheat mit einer minimalen Leistung von 6 kW (oder vergleichbares Produkt) zum Erhitzen der Phosphorsäure auf 160°C bis...”
“? Vorbereitung für den Einbau eines Komplettfilters des Typs LDFT1F00213E51-K3 der Fa. Pall, der vom IHP bereitgestellt wird”
“? System zum Zuspiken von DI-Wasser, so dass die Phosphorsäurekonzentration und somit die Siliziumnitrid-Ätzrate im Prozessbecken der Anlage HWP bei einer...”
“o? Di-Wasser-Spiking:”
“? nach Zeit (variabel über einen Zeitraum von mind. vier Wochen), so dass die Siliziumnitrid-Ätzrate innerhalb dieser Zeit konstant bleibt (siehe Acceptance...”
“? pro Los (direkt nach Losstart und nach Losstart, wenn die Badtemperatur wieder auf Target ist)”
“? alle Chemieverschraubungen sind in Flare Lock II auszuführen”
“? separates Kabinett für die elektrischen und pneumatischen Komponenten oberhalb des PVDF-Chemiekabinettes”
“? getrennte Ausführung der elektrischen und pneumatischen Komponenten”
“? Bedienmöglichkeit am Modul durch separates Touchpanel mit Möglichkeit der manuellen Steuerung sämtlicher Ventile am Panel (mindestens wie bisheriges Panel)”
“? Einbindung in die Visualisierung der SWP der Fa. HMR mit mindestens allen Funktionen analog zur Nison 1800 oder besser + Übergabe der aktuellen...”
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik; Im Technologiepark 25; 15236; Frankfurt (Oder).”
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
“— Bescheinigung in Steuersachen.”
“Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.”
Technische und berufliche Fähigkeiten:
“Um die erforderliche technische und berufliche Leistungsfähigkeit des Bewerbers oder Bieters überprüfen zu können benötigen wir folgende Unterlagen:”
“1. Referenzen:”
Mehr anzeigen (8)
“Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt”
“Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.”
“Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:”
“— Referenzgeber:”
“— Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung:”
“— Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs:”
“2. Beschreibung der technischen Ausrüstung, der Maßnahmen zur Qualitätssicherung und der Untersuchungs- und Forschungsmöglichkeiten des Unternehmens,”
“3. Erklärung, aus der ersichtlich ist, über welche Ausstattung, welche Geräte und welche technische Ausrüstung das Unternehmen für die Ausführung des...”
Verfahren
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2016-11-20 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2016-10-25 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00
Ort des Eröffnungstermins: Frankfurt (Oder).
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschung und Entwicklung
Kontakt
Kontaktperson: Beschaffung
Internetadresse: www.ihp-microelectronics.com 🌏
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPCenter/company/announcements/categoryOverview.do?method=search&searchString=%22CXSTYYDYYC5%22 🌏
Referenz
Zusätzliche Informationen
“Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg”
“http://vergabemarktplatz.brandenburg.de”
Mehr anzeigen (6)
“Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen.”
“Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden.”
“Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen...”
“Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und? sofern im konkreten Verfahren einschlägig?...”
“Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden.”
“Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYYC5.”
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331/866-1719 📞
Fax: +49 331/866-1652 📠
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 335-5625-359 📞
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 335-5625-359 📞
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Quelle: OJS 2016/S 185-331682 (2016-09-19)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2017-01-19)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: 2016/S 185-331682
Kurze Beschreibung:
“Leistungsbeschreibung eines Moduls zur Siliziumnitridätzung und Integration desselben in einen halbautomatischen Wet-Prozessor (HWP) der Fa. HMR Reinraum- &...”
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Gesamtwert des Auftrags: 207 351 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-01-19 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-01-24 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 016-025583
Verweist auf Bekanntmachung: 2016/S 185-331682
ABl. S-Ausgabe: 16
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Leistungsbeschreibung eines Moduls zur Siliziumnitridätzung und Integration desselben in einen halbautomatischen Wet-Prozessor (HWP) der Fa. HMR Reinraum- &...”
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Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2016-11-01 📅
Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: S. Rohner
Quelle: OJS 2017/S 016-025583 (2017-01-19)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: 2016/S 185-331682
Kurze Beschreibung:
“Leistungsbeschreibung eines Moduls zur Siliziumnitridätzung und Integration desselben in einen halbautomatischen Wet-Prozessor (HWP) der Fa. HMR Reinraum- &...”
Gesamtwert des Auftrags: 207 351 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-01-19 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-01-24 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 016-025583
Verweist auf Bekanntmachung: 2016/S 185-331682
ABl. S-Ausgabe: 16
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Leistungsbeschreibung eines Moduls zur Siliziumnitridätzung und Integration desselben in einen halbautomatischen Wet-Prozessor (HWP) der Fa. HMR Reinraum- &...”
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2016-11-01 📅
Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: S. Rohner
Quelle: OJS 2017/S 016-025583 (2017-01-19)
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