PVD-Anlage und Reinigungsanlage
PVD-Anlage mit unterschiedlichen Verdampferquellen für das Lichtbogenverdampfen (AIP-Quelle) und das Hochleistungs-Kathodenzerstäuben (MSIP-Quelle) mit den Verfahrensvarianten DC, MF und HIPIMS/HPPMS und eine Reinigungsanlage, die als Mehrbadanlage ausgerüstet ist.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2016-08-29.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2016-07-22.
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
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Dokument |
2016-07-22
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Auftragsbekanntmachung
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