Kurze Beschreibung
1 St. 5 Stock Diffusionsrohrofen mit Beladeautomat.
Der Quarzglas-Rohrofen soll für die Forschung und Fertigung von Silizium Solarzellen eingesetzt werden. Er ist mit mehreren Prozessrohren, einer Automatisierung für das Waferhandling und einem Prozesskontrollsystem, ausgerüstet.
Folgende Prozesse werden realisiert:
1) Mittels LPCVD Abscheidung werden Poly-Silizium Schichten auf Siliziumwafer aufgebracht. Der Abscheideprozess erfordert den Betrieb mit gefährlichen Prozessgasen (Silan, Diboran, Wasserstoff). Für einen aus Sicht der Arbeitssicherheit unbedenklichen Betrieb hat die Anlage spezielle Sicherheitsanforderungen, unter anderem hinsichtlich Explosionsschutz und Prozesskontrolle, zu erfüllen.
2) Atmosphärische Bor- und Phosphordiffusion, welche sowohl den Anforderungen fortschrittlicher Vorlaufforschung als auch dem aktuellen Standard industrieller Fertigung gerecht werden.
Fortsetzung folgt in II.2.4).