Kurze Beschreibung
1 St. Hybrid-SALD-Beschichtungsplattform.
Die Investitionsmaßnahme umfasst eine modulare und flexible Hybrid-SALD-Beschichtungsplattform zur zukünftigen Kombination unterschiedlicher Beschichtungstechnologien (Hybrid-Aspekt) mit örtlicher Hochdurchsatz-Atomlagenabscheidung (SALD-Aspekt). Hierdurch sollen optische und elektrische Dickschichtsysteme über 500 nm auf 2D- und 3D-Substraten realisiert werden. Wesentlich ist dabei eine flexible und homogene Gasraumtrennung, mit der unterschiedliche Arbeitsdrücke realisiert werden, die den Einsatz unterschiedlicher Beschichtungsprozesse erlaubt, ohne die Substrate aus der Beschichtungskammer zu transferieren. Die Kombination, Implementierung und Integration unterschiedlicher Beschichtungsprozesse mit der Atomlagenabscheidung erfordert eine komplexe interdisziplinäre Vereinigung von unterschiedlichen Voraussetzungen, Vernetzungen und Kompatibilitäten der einzelnen Anlagenkomponenten.