3D-Montageeinheit für komplexe MOEMS-Module, vollautomatisch

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Modulares Montagesystem zur Fertigung von heterogenen Modulen und Systemen. Die Anlage dient zum hochgenauen, vollautomatischen Handhaben, Fügen und Inspizieren von vorzugsweise optischen, elektrischen, mechanischen Bauteilen und Sub-Baugruppen zu funktionalen Modulen und Systemen. Abmessungen von Fügepartnern und Funktionsstrukturen liegen im Meso- bis Mikro-Bereich. Hauptaugenmerk sind ein breites Portfolio an verfügbaren Prozessen, eine schnellen Prozessentwicklung und eine gute Automatisierbarkeit. Das Montagesystem weist eine hohe Flexibilität hinsichtlich Bauteil- und Substratgrößen auf und kann insbesondere Wafer bis 200 mm Durchmesser aufnehmen. Der Arbeitsbereich ist flexibel gestaltbar und auf die jeweiligen Erfordernisse anpassbar. Entscheiden zur Erfüllung der Aufgaben ist eine Platziergenauigkeit ≤ 0,5 μm. Prozessentwicklung und -management erfolgen bibliotheksbasiert. Fortsetzung in II.2.4).

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-01-08. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-12-07.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2017-12-07 Auftragsbekanntmachung
2018-04-25 Bekanntmachung über vergebene Aufträge