Anti-Stiction Beschichtungsanlage
Anti-Stiction Beschichtungsanlage:
Mit einem Anti-Stiction Coating wird die Funktionalität der MEMS Spiegelsysteme am IPMS deutlich verbessert und damit auch den gestiegenen technologischen Anforderungen in den Projektschwerpunkten des IPMS gerecht.
1. Technische Anforderung (mandatory):
— Abscheidung hydrophober „Anti-Stiction“ SAM coatings;
— FDTS.
Fortsetzung II.2.4) Beschreibung der Beschaffung:
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-11-03.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-10-04.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2017-10-04
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Auftragsbekanntmachung
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| 2018-04-12
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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