Anti-Stiction Beschichtungsanlage

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe

Anti-Stiction Beschichtungsanlage:
Mit einem Anti-Stiction Coating wird die Funktionalität der MEMS Spiegelsysteme am IPMS deutlich verbessert und damit auch den gestiegenen technologischen Anforderungen in den Projektschwerpunkten des IPMS gerecht.
1. Technische Anforderung (mandatory):
— Abscheidung hydrophober „Anti-Stiction“ SAM coatings;
— FDTS.
Fortsetzung II.2.4) Beschreibung der Beschaffung:

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-11-03. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-10-04.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• SPTS Technologies

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt
• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2017-10-04	Auftragsbekanntmachung
2018-04-12	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2017-10-04)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_048_249164 cl-wit FMD
Kurze Beschreibung:

Anti-Stiction Beschichtungsanlage: Mit einem Anti-Stiction Coating wird die Funktionalität der MEMS Spiegelsysteme am IPMS deutlich verbessert und damit auch den gestiegenen technologischen Anforderungen in den Projektschwerpunkten des IPMS gerecht. 1. Technische Anforderung (mandatory): — Abscheidung hydrophober „Anti-Stiction“ SAM coatings; — FDTS. Fortsetzung II.2.4) Beschreibung der Beschaffung:

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-10-04 📅
Einreichungsfrist: 2017-11-03 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-10-06 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 192-393099
ABl. S-Ausgabe: 192
Zusätzliche Informationen

— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. – Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Anti-Stiction Beschichtungsanlage:

Mit einem Anti-Stiction Coating wird die Funktionalität der MEMS Spiegelsysteme am IPMS deutlich verbessert und damit auch den gestiegenen technologischen Anforderungen in den Projektschwerpunkten des IPMS gerecht.

1. Technische Anforderung (mandatory):

— Abscheidung hydrophober „Anti-Stiction“ SAM coatings;

— FDTS.

Fortsetzung II.2.4) Beschreibung der Beschaffung:

Fortsetzung II.1.4) Kurze Beschreibung:

— alternative Coatings (Endurance / Chlor-frei);o low temp. ALD Al2O3 (<100-150°C);

— Plasma Quelle zur in-situ Oberflächenaktivierung und Kammerreinigung;

— Abscheidung auf Wafer (150-300 mm) und Chips;

— SEMI-Standard bzgl. Partikel & Metallkontamination,

2. Technische Anforderungen (optional):

— automatisiertes Wafer- bzw. Kassetten-Handling;

— Batch Prozessierung (>12 Wafer);

— Abscheidung von SiO2 and Hybrid Coatings (inorganic/organic);

— Abscheidung von HMDS (Haftvermittler).

Dauer: 4 Monate
Beschreibung der Optionen: Optional sollte verschiedenes Zubehör und Erweiterungen angeboten werden.
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 01109 Dresden.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern: Gemäß Eignungskriterien, Referenzen, Anzahl der installierten Geräte.
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 23:59
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsgesellschaft e. V.
Kontakt
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. §134 GWB informiert.

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Postanschrift: Heinemannstraße 2
Postleitzahl: 53175
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2017/S 192-393099 (2017-10-04)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-04-12)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Anti-Stiction Beschichtungsanlage: Mit einem Anti-Stiction Coating wird die Funktionalität der MEMS Spiegelsysteme am IPMS deutlich verbessert und damit auch den gestiegenen technologischen Anforderungen in den Projektschwerpunkten des IPMS gerecht. 1. Technische Anforderung (mandatory): — Abscheidung hydrophober „Anti-Stiction“ SAM coatings, — FDTS. Fortsetzung II.2.4) Beschreibung der Beschaffung:

Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe

Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-04-12 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-04-13 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 072-159508
Verweist auf Bekanntmachung: 2017/S 192-393099
ABl. S-Ausgabe: 72
Zusätzliche Informationen

— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. — Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB — Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

— Abscheidung hydrophober „Anti-Stiction“ SAM coatings,

— alternative Coatings (Endurance / Chlor-frei);o low temp. ALD Al2O3 (<100-150

— Plasma Quelle zur in-situ Oberflächenaktivierung & Kammerreinigung,

— Abscheidung auf Wafer (150-300mm) und Chips,

— Semi-Standard bzgl. Partikel & Metallkontamination.

— automatisiertes Wafer- bzw. Kassetten-Handling,

— Batch Prozessierung (>12 Wafer),

— Abscheidung von SiO2 and Hybrid Coatings (inorganic/organic),

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 01109 Dresden

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technik
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferzeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Kosten für die Inhaberschaft
Qualitätskriterium (Gewichtung): 5
Gewichtung des Preises: 35

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2018-02-26 📅

Referenz
Zusätzliche Informationen

— Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. §134 GWB informiert.

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe
Quelle: OJS 2018/S 072-159508 (2018-04-12)

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