Automatischer Waferprober & Testkopf

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Ein vollautomatischer Wafertester zur elektrischen Charakterisierung von 300 mm/200 mm Wafern. Das Gesamtgerät ist in 2 Lose aufgeteilt; 1. Los Waferprober, 2. Los Testkopf.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-08-28. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-07-27.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Advantest Europe GmbH
• Tokyo Electron Europe Headqua

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt
• Sachsen › Dresden

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2017-07-27	Auftragsbekanntmachung
2017-12-08	Bekanntmachung über vergebene Aufträge
2017-12-08	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2017-07-27)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_146_004420 humt-AHö FMD
Kurze Beschreibung:

Ein vollautomatischer Wafertester zur elektrischen Charakterisierung von 300 mm/200 mm Wafern. Das Gesamtgerät ist in 2 Lose aufgeteilt; 1. Los Waferprober, 2. Los Testkopf.

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Dresden 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-07-27 📅
Einreichungsfrist: 2017-08-28 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-07-29 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 144-296784
ABl. S-Ausgabe: 144
Zusätzliche Informationen

— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. – Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Bezeichnung des Loses: Waferprober
Losnummer: 1
Kurze Beschreibung:

Die Anlagenspezifikation bezieht sich auf die Anschaffung eines vollautomatischen Wafertesters zur elektrischen Charakterisierung von 300 mm/ 200 mm Wafern. Das Gesamtgerät ist in 2 Lose aufgeteilt. Die vorliegende Spezifikation bezieht sich auf das Teilgerät: Waferprober.

Der Waferprober soll mit 2 Loadports für vollautomatisches FOUP-Handling von 300 mm und 200 mm (mit Insert) ausgerüstet sein. Das Gerät kann Silizium-Wafer, Glas-Wafer sowie Kombinationen aus beiden Materialien in Dicken von 300-1 600 µm transportieren und pre-alignen. Wafer-IDs können ausgelesen werden. Der Probenraum ist RF geschirmt und lichtundurchlässig aufgebaut. Ein automatisches Nadel-zu-Pad Alignment wird erwartet. Der Wafertest erfolgt bei Raumtemperatur, eine Erweiterung des Gerätes für Messungen bei +150°C sowie -40°C soll vorbereitet sein und notwendige Zusatzeinbauten wie Heizung bzw. Chiller sollen optional angeboten werden.

Im Gesamtgerät sollen handelsübliche Schnittstellen für das Interface Waferprober zu Testkopf zum Einsatz kommen (z. B. Pogo-Tower). Eine Abstimmung über die notwendigen gerätespezifischen Interface-Teile wird nach der Zuschlagserteilung von beiden Lieferanten für Testkopf und Waferprober erwartet.

Dauer: 6 Monate
Losnummer: 2
Kurze Beschreibung:

Die Anlagenspezifikation bezieht sich auf die Anschaffung eines vollautomatischen Wafertesters zur elektrischen Charakterisierung von 300 mm / 200 mm Wafern. Das Gesamtgerät ist in 2 Lose aufgeteilt. Die vorliegende Spezifikation bezieht sich auf das Teilgerät: Testkopf.

Der Testkopf ermöglicht die elektrische Charakterisierung von Wafern im DC- sowie Digitaltest. Es werden minimal 128 Kanäle für den Digitaltest erwartet. Das Gerät soll bis 1024 Kanäle aufrüstbar sein, was optional anzubieten ist. Es werden min. 32 DC Versorgungen benötigt, die DC Versorgungen sollen nachrüstbar sein. Gefordert sind außerdem min. 2 DC Versorgungen mit Ausgangsspannungen >100 V für Isolationsdurchbruchsmessungen. Die min. Stromauflösung soll <1 nA betragen, die min. Spannungsauflösung soll <1 mV betragen.

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 01468 Moritzburg.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern: Gemäß Eignungskriterien, Referenzen.
Beschleunigtes Verfahren: Vorveröffentlichung – 2017/S 051-093529.
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 23:59
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsgesellschaft e. V.
Kontakt
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstraße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. § 134 GWB informiert.

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2017/S 144-296784 (2017-07-27)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2017-12-08)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: E_146_004762 humt
Kurze Beschreibung:

Ein vollautomatischer Wafertester zur elektrischen Charakterisierung von 300 mm/200 mm Wafern. Das Gesamtgerät ist in 2 Lose aufgeteilt; 1. Los Waferprober, 2. Los Testkopf

Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-12-08 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-12-13 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 239-495763
Verweist auf Bekanntmachung: 2017/S 144-296784
ABl. S-Ausgabe: 239

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Die Anlagenspezifikation bezieht sich auf die Anschaffung eines vollautomatischen Wafertesters zur elektrischen Charakterisierung von 300 mm/200 mm Wafern. Das Gesamtgerät ist in 2 Lose aufgeteilt. Die vorliegende Spezifikation bezieht sich auf das Teilgerät: Testkopf.

Der Testkopf ermöglicht die elektrische Charakterisierung von Wafern im DC- sowie Digitaltest. Es werden minimal 128 Kanäle für den Digitaltest erwartet. Das Gerät soll bis 1024 Kanäle aufrüstbar sein, was optional anzubieten ist. Es werden min. 32 DC Versorgungen benötigt, die DC Versorgungen sollen nachrüstbar sein. Gefordert sind außerdem min. 2 DC Versorgungen mit Ausgangsspannungen >100 V für Isolationsdurchbruchsmessungen. Die min. Stromauflösung soll <1nA betragen, die min. Spannungsauflösung soll <1 mV betragen.

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 01468 Moritzburg

Verfahren
Beschleunigtes Verfahren: Vorveröffentlichung – 2017/S 051-093529
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 60
Gewichtung des Preises: 40

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2017-12-04 📅

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2017-12-08)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts

Referenz
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 239-495764

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Die Anlagenspezifikation bezieht sich auf die Anschaffung eines vollautomatischen Wafertesters zur elektrischen Charakterisierung von 300 mm/200 mm Wafern. Das Gesamtgerät ist in 2 Lose aufgeteilt. Die vorliegende Spezifikation bezieht sich auf das Teilgerät: Waferprober.

Der Waferprober soll mit 2 Loadports für vollautomatisches FOUP-Handling von 300 mm und 200 mm (mit Insert) ausgerüstet sein. Das Gerät kann Silizium-Wafer, Glas-Wafer sowie Kombinationen aus beiden Materialien in Dicken von 300-1600μm transportieren und prealignen. Wafer-IDs können ausgelesen werden. Der Probenraum ist RF geschirmt und lichtundurchlässig aufgebaut. Ein automatisches Nadel-zu-Pad Alignment wird erwartet. Der Wafertest erfolgt bei Raumtemperatur, eine Erweiterung des Gerätes für Messungen bei +150

Im Gesamtgerät sollen handelsübliche Schnittstellen für das Interface Waferprober zu Testkopf zum Einsatz kommen (z.B. Pogo-Tower). Eine Abstimmung über die notwendigen gerätespezifischen Interface-Teile wird nach der Zuschlagserteilung von beiden Lieferanten für Testkopf und Waferprober erwartet.

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung (siehe Detaillierung)

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. §134 GWB informiert.

Quelle: OJS 2017/S 239-495764 (2017-12-08)

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