Belacker für Speziallacke

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Belacker für Speziallacke:
Der Belacker ermöglicht die Belackung von 8‘‘ (200 mm) Wafern mit verschiedenen Fotolacken und die Entwicklung dieser Lacke Die Wafer werden automatisch durch einen Robot-Handler aus einer Kassette geladen. Das Dispensieren von Fotolack erfolgt pumpenbasiert, druckbasiert und/oder mittels eines Spritzensystems. Außerdem ist eine Vorrichtung zur Sprühbelackung verfügbar. Das Gerät beinhaltet Heiz- und Kühlplatten für die nötigen Trocknungs-, Kühl- und Ausbackschritte ebenso wie eine HMDS-Platte. Der Lack wird auf der Entwicklerstation mittels „Puddle-“ oder „Spraydispense“ eines geeigneten Lösemittels entwickelt. Der Belackungsprozess beinhaltet Randentlackung und Rückseitenspühlung. Die Anlage beinhaltet eine Software, welche sowohl einen automatischen (operating) als auch manuellen (engineering) Modus für die Belackung und Entwicklung von Wafern erlaubt.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-09-04. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-08-03.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• • SÜSS MicroTec Lithography GmbH

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Wie?

• • Industrielle Maschinen

Wo?

• • Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt
• • Düsseldorf › Duisburg, Kreisfreie Stadt