Belacker für Speziallacke

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Belacker für Speziallacke:
Der Belacker ermöglicht die Belackung von 8‘‘ (200 mm) Wafern mit verschiedenen Fotolacken und die Entwicklung dieser Lacke Die Wafer werden automatisch durch einen Robot-Handler aus einer Kassette geladen. Das Dispensieren von Fotolack erfolgt pumpenbasiert, druckbasiert und/oder mittels eines Spritzensystems. Außerdem ist eine Vorrichtung zur Sprühbelackung verfügbar. Das Gerät beinhaltet Heiz- und Kühlplatten für die nötigen Trocknungs-, Kühl- und Ausbackschritte ebenso wie eine HMDS-Platte. Der Lack wird auf der Entwicklerstation mittels „Puddle-“ oder „Spraydispense“ eines geeigneten Lösemittels entwickelt. Der Belackungsprozess beinhaltet Randentlackung und Rückseitenspühlung. Die Anlage beinhaltet eine Software, welche sowohl einen automatischen (operating) als auch manuellen (engineering) Modus für die Belackung und Entwicklung von Wafern erlaubt.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-09-04. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-08-03.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• SÜSS MicroTec Lithography GmbH

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Wie?

• Industrielle Maschinen

Wo?

• Düsseldorf › Duisburg, Kreisfreie Stadt
• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2017-08-03	Auftragsbekanntmachung
2018-04-24	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2017-08-03)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Referenznummer: E_038_233945 tk-AHö FMD
Kurze Beschreibung:

Belacker für Speziallacke: Der Belacker ermöglicht die Belackung von 8‘‘ (200 mm) Wafern mit verschiedenen Fotolacken und die Entwicklung dieser Lacke Die Wafer werden automatisch durch einen Robot-Handler aus einer Kassette geladen. Das Dispensieren von Fotolack erfolgt pumpenbasiert, druckbasiert und/oder mittels eines Spritzensystems. Außerdem ist eine Vorrichtung zur Sprühbelackung verfügbar. Das Gerät beinhaltet Heiz- und Kühlplatten für die nötigen Trocknungs-, Kühl- und Ausbackschritte ebenso wie eine HMDS-Platte. Der Lack wird auf der Entwicklerstation mittels „Puddle-“ oder „Spraydispense“ eines geeigneten Lösemittels entwickelt. Der Belackungsprozess beinhaltet Randentlackung und Rückseitenspühlung. Die Anlage beinhaltet eine Software, welche sowohl einen automatischen (operating) als auch manuellen (engineering) Modus für die Belackung und Entwicklung von Wafern erlaubt.

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Duisburg, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-08-03 📅
Einreichungsfrist: 2017-09-04 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-08-05 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 149-308287
ABl. S-Ausgabe: 149
Zusätzliche Informationen

— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. — Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB). — Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Belacker für Speziallacke:

Der Belacker ermöglicht die Belackung von 8‘‘ (200 mm) Wafern mit verschiedenen Fotolacken und die Entwicklung dieser Lacke Die Wafer werden automatisch durch einen Robot-Handler aus einer Kassette geladen. Das Dispensieren von Fotolack erfolgt pumpenbasiert, druckbasiert und/oder mittels eines Spritzensystems. Außerdem ist eine Vorrichtung zur Sprühbelackung verfügbar. Das Gerät beinhaltet Heiz- und Kühlplatten für die nötigen Trocknungs-, Kühl- und Ausbackschritte ebenso wie eine HMDS-Platte. Der Lack wird auf der Entwicklerstation mittels „Puddle-“ oder „Spraydispense“ eines geeigneten Lösemittels entwickelt. Der Belackungsprozess beinhaltet Randentlackung und Rückseitenspühlung. Die Anlage beinhaltet eine Software, welche sowohl einen automatischen (operating) als auch manuellen (engineering) Modus für die Belackung und Entwicklung von Wafern erlaubt.

Dauer: 7 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 47057 Duisburg.

Verfahren
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsgesellschaft e. V.
Kontakt
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden.

— Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB).

— Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstraße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1) genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. §134 GWB informiert.

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2017/S 149-308287 (2017-08-03)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-04-24)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Belacker für Speziallacke. Der Belacker ermöglicht die Belackung von 8'' (200 mm) Wafern mit verschiedenen Fotolacken und die Entwicklung dieser Lacke. Die Wafer werden automatisch durch einen Robot-Handler aus einer Kassette geladen. Das Dispensieren von Fotolack erfolgt pumpenbasiert, druckbasiert und/oder mittels eines Spritzensystems. Außerdem ist eine Vorrichtung zur Sprühbelackung verfügbar. Das Gerät beinhaltet Heiz- und Kühlplatten für die nötigen Trocknungs-, Kühl- und Ausbackschritte ebenso wie eine HMDS-Platte. Der Lack wird auf der Entwicklerstation mittels „Puddle-“ oder „Spraydispense“ eines geeigneten Lösemittels entwickelt. Der Belackungsprozess beinhaltet Randentlackung und Rückseitenspühlung. Die Anlage beinhaltet eine Software, welche sowohl einen automatischen (operating) als auch manuellen (engineering) Modus für die Belackung und Entwicklung von Wafern erlaubt.

Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-04-24 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-04-25 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 080-178800
Verweist auf Bekanntmachung: 2017/S 149-308287
ABl. S-Ausgabe: 80
Zusätzliche Informationen

— Anforderung Unterlagen erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. — Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) — Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung: Belacker für Speziallacke.

Der Belacker ermöglicht die Belackung von…

… 8'' (200 mm) Wafern mit verschiedenen Fotolacken und die Entwicklung dieser Lacke. Die Wafer werden automatisch durch einen Robot-Handler aus einer Kassette geladen. Das Dispensieren von Fotolack erfolgt pumpenbasiert, druckbasiert und/oder mittels eines Spritzensystems. Außerdem ist eine Vorrichtung zur Sprühbelackung verfügbar. Das Gerät beinhaltet Heiz- und Kühlplatten für die nötigen Trocknungs-, Kühl- und Ausbackschritte ebenso wie eine HMDS-Platte. Der Lack wird auf der Entwicklerstation mittels „Puddle-“ oder „Spraydispense“ eines geeigneten Lösemittels entwickelt. Der Belackungsprozess beinhaltet Randentlackung und Rückseitenspühlung. Die Anlage beinhaltet eine Software, welche sowohl einen automatischen (operating) als auch manuellen (engineering) Modus für die Belackung und Entwicklung von Wafern erlaubt.

… 8'‘ (200 mm) Wafern mit verschiedenen Fotolacken und die Entwicklung dieser Lacke. Die Wafer werden automatisch durch einen Robot-Handler aus einer Kassette geladen. Das Dispensieren von Fotolack erfolgt pumpenbasiert, druckbasiert und/oder mittels eines Spritzensystems. Außerdem ist eine Vorrichtung zur Sprühbelackung verfügbar. Das Gerät beinhaltet Heiz- und Kühlplatten für die nötigen Trocknungs-, Kühl- und Ausbackschritte ebenso wie eine HMDS-Platte. Der Lack wird auf der Entwicklerstation mittels „Puddle-“ oder „Spraydispense“ eines geeigneten Lösemittels entwickelt. Der Belackungsprozess beinhaltet Randentlackung und Rückseitenspühlung. Die Anlage beinhaltet eine Software, welche sowohl einen automatischen (operating) als auch manuellen (engineering) Modus für die Belackung und Entwicklung von Wafern erlaubt.

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 47057 Duisburg

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung und Spezifikation
Qualitätskriterium (Gewichtung): 45
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Serviceleistungen und Support
Qualitätskriterium (Gewichtung): 15
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferzeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 5
Gewichtung des Preises: 35

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2018-03-20 📅

Referenz
Zusätzliche Informationen

— Anforderung Unterlagen erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden.

— Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB)

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. §134 GWB informiert.

Quelle: OJS 2018/S 080-178800 (2018-04-24)

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