This document defines all Fraunhofer IZM-ASSID requirements and acceptance criteria for deposition equipment with different options (electro chemical deposition equipment (ECD) and e-less deposition) which must be achieved during start-up and warranty period. These criteria are designed to demonstrate the capability of the processing equipment to fulfil the requirements for metal plating of high aspect ratio bumps, Redistribution Layers, copper filling of high aspect ratio trough silicon via (TSV) and glass surfaces as well as other layers for advanced packaging applications, interposer and CMOS application using 200 mm and 300 mm bulk silicon, glass and SOI wafers. Electro chemical deposition for Bump and RDL applications plus two options are requested: ECD for TSV applications, and/or E-less deposition applications.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-12-14.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-11-29.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-11-14) Öffentlicher Auftraggeber Name und Adressen
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe”
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de📧
Region: München, Kreisfreie Stadt🏙️
URL: http://www.fraunhofer.de🌏
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de🌏 Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschungsgesellschaft e.V.
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: ECD Tool
E_146_004449 ChrPat-wit FMD
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦
Kurze Beschreibung:
“This document defines all Fraunhofer IZM-ASSID requirements and acceptance criteria for deposition equipment with different options (electro chemical...”
Kurze Beschreibung
This document defines all Fraunhofer IZM-ASSID requirements and acceptance criteria for deposition equipment with different options (electro chemical deposition equipment (ECD) and e-less deposition) which must be achieved during start-up and warranty period. These criteria are designed to demonstrate the capability of the processing equipment to fulfil the requirements for metal plating of high aspect ratio bumps, redistribution layers, copper filling of high aspect ratio Trough Silicon Via (TSV) and glass surfaces as well as other layers for advanced packaging applications, interposer and CMOS application using 200 mm and 300 mm bulk silicon, glass and SOI wafers. Electro chemical deposition for Bump and RDL applications plus two options are requested: ECD for TSV applications, and/or E-less deposition applications.
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Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 0.01 💰
1️⃣
Ort der Leistung: Dresden🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 01468 Moritzburg
Beschreibung der Beschaffung:
“The equipment must meet the specific process requirements described below using appropriate sample structures, e.g. patterned test wafer material with...”
Beschreibung der Beschaffung
The equipment must meet the specific process requirements described below using appropriate sample structures, e.g. patterned test wafer material with different kind of bump and RDL (redistribution layer) and TSV designs and aspect ratios. The final sample structures used for acceptance will be defined by Fraunhofer IZM-ASSID prior to equipment acceptance.
The criteria for the system reliability performance shall be demonstrated during the warranty period. In addition basic requirements are specified for clean room environment, transportation, installation and support.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technical specification
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Delivery time
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Preis (Gewichtung): 40
Informationen über Optionen
Optionen ✅
Beschreibung der Optionen: See spezification
Verfahren Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Beschleunigtes Verfahren: Prior Information 2017/S 059-109281
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2017/S 231-481141
Auftragsvergabe
1️⃣
Titel: ECD Tool
Datum des Vertragsabschlusses: 2018-11-09 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Semsysco GmbH
Postanschrift: Karolinger Straße 7c
Postort: Salzburg
Postleitzahl: 5020
Land: Österreich 🇦🇹
Region: Österreich 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰
“— Request of documents — available at: The award documents can be retrieved exclusively through the award portal of the German e-Vergabe at...”
— Request of documents — available at: The award documents can be retrieved exclusively through the award portal of the German e-Vergabe at www.deutsche-evergabe.de
With the tender submission, contenders are also subject to the provisions regarding unsuccessful tenders (§134 GWB [German Act Against Restraints of Competition]). Questions or remarks from the tenderer must be sent, in English only, exclusively via e-mail to the contact point named under No. I.1. As fa ras relevant, responses to the questions or remarks of the tenderer shall also be sent to all other tenderers.
Pursuant to Section 9 Par. 3 S. 2 VgV (German public procurement regulation), the contract notice and the award documents are available to you at the German eVerga be with or without registration.
Please note that registration is required for requests to participate, tender submissions and tenderer questions.
We therefore recommend early registration, also in order to receive any tenderer information; you otherwise bear the risk of possible tender exclusion.
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstraße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Precise information on the deadlines for filing appeals: As long as a contract has not yet been effectively awarded (conclusion of contract), an application...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Precise information on the deadlines for filing appeals: As long as a contract has not yet been effectively awarded (conclusion of contract), an application fora review can be made as an appeal with the body named under VI 4.1. Contenders/tenderers must promptly filecomplaints regarding violations of the provisions governing the award of public contracts with the awarding body named under I.1) before they apply for a review.We expressly point out the application deadline of §160 German Act Against Restraints of Competition [Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen — GWB]. Tenderers whose offers are not successful shall be informed before the award of the contract pursuant to §134 GWB.
Mehr anzeigen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de📧
URL: http://www.fraunhofer.de🌏
Quelle: OJS 2018/S 220-503473 (2018-11-14)