Electron Spectroscopy for Chemical Analysis (ESCA)
Electron Spectroscopy for Chemical Analysis (ESCA).
Zur qualitativen und quantitativen Analytik der chemischen Zusammensetzung von Oberflächen der Mikroelektronik soll ein Gerät angeschafft werden, welches unter der Bezeichnung ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis) oder XPS (X-Ray Photoelectron Spectroscopy) bekannt ist.
Da u. a. auch kleinste Probengeometrien zu untersuchen sind, muss das System auch die Analyse von möglichst kleinen Flächen ermöglichen (Schlagwort: Small-Spot ESCA-System). Weiterhin sind zur Basisanalyse zusätzlich Ausstattungsmerkmale und Erweiterungen im System als erweiterte XPS-Analyseoptionen gefordert.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-08-28.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-08-04.
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
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Dokument |
| 2017-08-04
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Auftragsbekanntmachung
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