Gold Galvanikanlage

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Gold Galvanikanlage.
Das Galvaniksystem mit zwei Au-Galvanikmodulen und einem QDR-Modul ist für die Metallbeschichtung von 2 bis 4-Zoll-Wafern sowie Teile von Wafern (z. B. 1/4 Wafer) vorgesehen. Das „Fountain-Type“ System sollte die Galvanisierung von Au-Schichten im Bereich von 1 bis 15 µm mit einer Dickenhomogenität von weniger als 5 % ermöglichen.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-11-08. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-10-09.

Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2017-10-09 Auftragsbekanntmachung
2017-11-16 Bekanntmachung über vergebene Aufträge