Gold Galvanikanlage
Gold Galvanikanlage.
Das Galvaniksystem mit zwei Au-Galvanikmodulen und einem QDR-Modul ist für die Metallbeschichtung von 2 bis 4-Zoll-Wafern sowie Teile von Wafern (z. B. 1/4 Wafer) vorgesehen. Das „Fountain-Type“ System sollte die Galvanisierung von Au-Schichten im Bereich von 1 bis 15 µm mit einer Dickenhomogenität von weniger als 5 % ermöglichen.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-11-08.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-10-09.
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
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Dokument |
2017-10-09
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Auftragsbekanntmachung
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2017-11-16
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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