Grooving Laser Dicer

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Grooving Laser Dicer
Das Fraunhofer IZM-ASSID möchte eine vollautomatische Laser-Grooving-Anlage mit integrierter Belackungs- und Reinigungsstation und Unterstützung von programmierbaren, flexiblen Prozesswiederholfrequenzen sowie einem integrierten Kerf- und Beam-Position-Check beschaffen. Die Anlage muss Ultra-Low k-Materialien und mehrlagige Metall- und Oxid-Schichten als Teil des BEoL-Stacks aus den Sägestraßen hochintegrierter Halbleiterbausteine entfernen und die Seitenwand des gelaserten Grabens dabei optimal versiegeln können. Die angestrebte Prozessausgangsqualität ist durch eine hohe Flankensteilheit und geringe Rauheit der gelaserten Grabenseitenwand gekennzeichnet, die nur noch geringste Anteile von aufgeschmolzenen Materialbestandteilen aufweist. Für dünne Wafer soll ein Full-Cut-Prozess möglich sein.
Weiter in Abschnitt II.2.4).

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-08-28. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-07-27.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Disco Hi-Tec Europe GmbH

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt
• Sachsen › Dresden

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2017-07-27	Auftragsbekanntmachung
2017-12-08	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2017-07-27)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_146_004450 cl-ort FMD
Kurze Beschreibung:

Grooving Laser Dicer Das Fraunhofer IZM-ASSID möchte eine vollautomatische Laser-Grooving-Anlage mit integrierter Belackungs- und Reinigungsstation und Unterstützung von programmierbaren, flexiblen Prozesswiederholfrequenzen sowie einem integrierten Kerf- und Beam-Position-Check beschaffen. Die Anlage muss Ultra-Low k-Materialien und mehrlagige Metall- und Oxid-Schichten als Teil des BEoL-Stacks aus den Sägestraßen hochintegrierter Halbleiterbausteine entfernen und die Seitenwand des gelaserten Grabens dabei optimal versiegeln können. Die angestrebte Prozessausgangsqualität ist durch eine hohe Flankensteilheit und geringe Rauheit der gelaserten Grabenseitenwand gekennzeichnet, die nur noch geringste Anteile von aufgeschmolzenen Materialbestandteilen aufweist. Für dünne Wafer soll ein Full-Cut-Prozess möglich sein. Weiter in Abschnitt II.2.4).

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Dresden 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-07-27 📅
Einreichungsfrist: 2017-08-28 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-07-29 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 144-296759
Verweist auf Bekanntmachung: 2017/S 052-095625
ABl. S-Ausgabe: 144
Zusätzliche Informationen

— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. – Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Grooving Laser Dicer

Das Fraunhofer IZM-ASSID möchte eine vollautomatische Laser-Grooving-Anlage mit integrierter Belackungs- und Reinigungsstation und Unterstützung von programmierbaren, flexiblen Prozesswiederholfrequenzen sowie einem integrierten Kerf- und Beam-Position-Check beschaffen. Die Anlage muss Ultra-Low k-Materialien und mehrlagige Metall- und Oxid-Schichten als Teil des BEoL-Stacks aus den Sägestraßen hochintegrierter Halbleiterbausteine entfernen und die Seitenwand des gelaserten Grabens dabei optimal versiegeln können. Die angestrebte Prozessausgangsqualität ist durch eine hohe Flankensteilheit und geringe Rauheit der gelaserten Grabenseitenwand gekennzeichnet, die nur noch geringste Anteile von aufgeschmolzenen Materialbestandteilen aufweist. Für dünne Wafer soll ein Full-Cut-Prozess möglich sein.

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Fortsetzung von II.1.4)

Der Service und Support für diese Anlage muss kostengünstig und schnell abrufbar sein. Die installierte Anzahl diesbezüglicher Anlagen im Feld muss einen schnellen Transfer von Prozessen und Rezepten zu den OSATs zu lassen.

Dauer: 5 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 01468 Moritzburg.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern: Gemäß Eignungskriterien, Referenzen.
Beschleunigtes Verfahren: Vorveröffentlichung 2017/S 052-095625.
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsgesellschaft e. V.
Kontakt
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstraße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. §134 GWB informiert.

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2017/S 144-296759 (2017-07-27)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2017-12-08)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Grooving Laser Dicer. Das Fraunhofer IZM-ASSID möchte eine vollautomatische Laser-Grooving-Anlage mit integrierter Belackungs- und Reinigungsstation und Unterstützung von programmierbaren, flexiblen Prozesswiederholfrequenzen sowie einem integrierten Kerf- und Beam-Position-Check beschaffen. Die Anlage muss Ultra-Low k-Materialien und mehrlagige Metall- und Oxid-Schichten als Teil des BEoL-Stacks aus den Sägestraßen hochintegrierter Halbleiterbausteine entfernen und die Seitenwand des gelaserten Grabens dabei optimal versiegeln können. Die angestrebte Prozessausgangsqualität ist durch eine hohe Flankensteilheit und geringe Rauheit der gelaserten Grabenseitenwand gekennzeichnet, die nur noch geringste Anteile von aufgeschmolzenen Materialbestandteilen aufweist. Für dünne Wafer soll ein Full-Cut-Prozess möglich sein. Weiter in Abschnitt II.2.4).

Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-12-08 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-12-13 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 239-495774
Verweist auf Bekanntmachung: 2017/S 144-296759
ABl. S-Ausgabe: 239

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Grooving Laser Dicer.

Fortsetzung von II.1.4),

Grooving Laser Dicer,

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 01468 Moritzburg

Verfahren
Beschleunigtes Verfahren: Vorveröffentlichung 2017/S 052-095625
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Laser Engine System Process Capability
Qualitätskriterium (Gewichtung): 30
Qualitätskriterium (Bezeichnung): After Sales Support
Qualitätskriterium (Gewichtung): 20
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Integrated Coating/Spin Dry Unit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 15
Gewichtung des Preises: 35

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2017-11-28 📅

Ergänzende Informationen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe
Quelle: OJS 2017/S 239-495774 (2017-12-08)

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