Kurze Beschreibung
Hochraten Ionen-Feinstbearbeitung Anlage (FIB) mit integrierter Prozesskontrolle und Analytik kombiniert mit hochauflösender Rasterelektronenmikroskopie (REM) mit integrierter Analytik Im Fokus stehen hohe Abtragsraten bei gleichzeitiger, hochauflösender Analytik in 2D und 3D, sowie in-situ Strahlsteuerung, Abtragskontrolle/-steuerung und Endpunktdetektion. Neben der Standard Ionen- und Elektronenanalytik integriert das System: – EDX-Analytik – EBSD-Analytik (optional) – (ToF-)SIMS-Analytik (optional) – Gas-Injektion mit mindestens einem (1) unabhängigen Gas Zudem erlaubt das System die Integration/Einbau für ein Mikro-Zug/Druck-(Heiz-)Modul, das reversibel vom Operator ein- und ausbaubar ist. Weiterhin wichtig sind: – schnelles Abtragen und gleichzeitiges Beobachten sowie die durchgängige tomographische Darstellung der 3D-Ergebnisse – Großes Kammervolumen – Robuste Probenstage (insb. wegen der Aufnahme des Mikro-Zug-Moduls) – einfache Bedienung; geringe Wartungs- und Verbrauchskosten.