Kurze Beschreibung
Es ist ein Ofenaggregat zu realisieren, welches die Temperaturbehandlung vielfältiger metallischer sowie nichtmetallischer Proben unter Vakuum, Stickstoff oder Wasserstoff ermöglicht. Insbesondere ist auch die Möglichkeit einer kontrollierten und nachweisbaren Befeuchtung der Ofenatmosphäre gefordert. Der Ofen muss unter Vakuum im Bereich 10-5 mbar, aber auch im Bereich ~10-2 mbar zu betreiben sein. Er soll weiterhin unter Partialdruck 0,1-1 mbar (besser 0,01 bis 10 mbar) und unter Normaldruck (1 000 mbar) mit den oben genannten Prozessgasen betrieben werden. Die vier genannten Betriebsarten müssen in einem Ofenprozess miteinander kombiniert werden können. Der Umgang mit H2 als Prozessgas muss schlüssig erörtert werden, da ansonsten keine Bewertung erfolgen.