Hochvakuum-Beschichtungsanlage

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt (DLR) – Oldenburg

Das DLR-Institut für Vernetzte Energiesysteme plant die Beschaffung einer Hochvakuum-Anlage, die in der Beschichtung von Substraten mittels Magnetron-Sputterabscheidung Verwendung finden soll.
Prozesse, die auf der Anlage vom Lieferanten eingefahren sein sollen, sind Sputterprozesse für die Herstellung von transparenten leitfähigen Oxiden (TCOs), sehr dünnen Silberschichten (low-e), Nitrid-, Oxid- und Oxinitrid-Schichten. Für alle Prozesse ist eine hohe Schichtdickenhomogenität über der gesamten Substratfläche erforderlich. Die Nitrid-, Oxid- und Oxinitrid-Schichten sollen von metallischen Targets in reaktiven Prozessen abgeschieden werden. Dabei soll eine Regelung der Prozessgase mittels sogenannter „closed loop control“ eingesetzt werden, um die Stöchiometrie der Schichten kontrolliert einstellen zu können. Die Anlage soll für die Beschichtung von Substraten mit einer Größe (L × B) von 300 mm × 300 mm konzipiert sein.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-01-26. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-12-19.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Singulus Technologies AG

Wer?

• Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt (DLR) – Oldenburg

Wie?

• Bewertungs- und Testinstrumente › Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft

Wo?

• Weser-Ems › Oldenburg (Oldenburg), Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2017-12-19	Auftragsbekanntmachung
2018-03-29	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2017-12-19)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft
Kurze Beschreibung:

Das DLR-Institut für Vernetzte Energiesysteme plant die Beschaffung einer Hochvakuum-Anlage, die in der Beschichtung von Substraten mittels Magnetron-Sputterabscheidung Verwendung finden soll. Prozesse, die auf der Anlage vom Lieferanten eingefahren sein sollen, sind Sputterprozesse für die Herstellung von transparenten leitfähigen Oxiden (TCOs), sehr dünnen Silberschichten (low-e), Nitrid-, Oxid- und Oxinitrid-Schichten. Für alle Prozesse ist eine hohe Schichtdickenhomogenität über der gesamten Substratfläche erforderlich. Die Nitrid-, Oxid- und Oxinitrid-Schichten sollen von metallischen Targets in reaktiven Prozessen abgeschieden werden. Dabei soll eine Regelung der Prozessgase mittels sogenannter „closed loop control“ eingesetzt werden, um die Stöchiometrie der Schichten kontrolliert einstellen zu können. Die Anlage soll für die Beschichtung von Substraten mit einer Größe (L × B) von 300 mm × 300 mm konzipiert sein.

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Oldenburg (Oldenburg), Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Ministerium oder sonstige zentral- oder bundesstaatliche Behörde
Name des öffentlichen Auftraggebers: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt (DLR) – Oldenburg
Postanschrift: Carl-von-Ossietzky-Str. 15
Postleitzahl: 26129
Postort: Oldenburg
Kontakt
Internetadresse: http://www.dlr.de 🌏
E-Mail: thomas.faasch@dlr.de 📧
URL der Dokumente: https://www.subreport.de/E95599447 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-12-19 📅
Einreichungsfrist: 2018-01-26 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-12-21 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 245-511626
ABl. S-Ausgabe: 245
Zusätzliche Informationen

Bei der Beteiligung von Bietergemeinschaften haben diese mit ihrem Angebot eine Aufstellung der Mitglieder der Bietergemeinschaft mit Bezeichnung des bevollmächtigten Vertreters für den Abschluss und die Durchführung des Vertrages sowie eine von allen Mitgliedern unterzeichnete Erklärung einzureichen, dass der bevollmächtigte Vertreter alle weiteren Mitglieder der Bietergemeinschaft im Verfahren vertritt und alle Mitglieder bei der Auftragsausführung als Gesamtschuldner haften (Anlage 5 der Vergabeunterlagen). Die Erklärungen und Nachweise nach Abschnitt III. sind für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft zu erbringen. Die Auftraggeber behält sich vor, gegebenenfalls Fremdnachweise für die unter Abschnitt III. geforderten Eigenerklärungen nachzufordern, um die Eigenerklärungen zu verifizieren. Die Übersendung des Angebotes hat in einem fest verschlossenen Umschlag gemäß der Angebotsaufforderung zu erfolgen. Elektronische Angebote sind nicht zugelassen.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Das DLR-Institut für Vernetzte Energiesysteme plant die Beschaffung einer Hochvakuum-Anlage, die in der Beschichtung von Substraten mittels Magnetron-Sputterabscheidung Verwendung finden soll.

Prozesse, die auf der Anlage vom Lieferanten eingefahren sein sollen, sind Sputterprozesse für die Herstellung von transparenten leitfähigen Oxiden (TCOs), sehr dünnen Silberschichten (low-e), Nitrid-, Oxid- und Oxinitrid-Schichten. Für alle Prozesse ist eine hohe Schichtdickenhomogenität über der gesamten Substratfläche erforderlich. Die Nitrid-, Oxid- und Oxinitrid-Schichten sollen von metallischen Targets in reaktiven Prozessen abgeschieden werden. Dabei soll eine Regelung der Prozessgase mittels sogenannter „closed loop control“ eingesetzt werden, um die Stöchiometrie der Schichten kontrolliert einstellen zu können. Die Anlage soll für die Beschichtung von Substraten mit einer Größe (L × B) von 300 mm × 300 mm konzipiert sein.

Geschätzter Gesamtwert: 1 700 000 EUR 💰
Kurze Beschreibung:

Die Anlage soll in einer Basisversion mit Leistungselektronik ausgestattet sein, die den Betrieb im DC- und gepulstem DC-Sputtern an allen Kathoden sowie Mittelfrequenz-Reaktiv-Sputtern an ausgewählten Kathoden ermöglicht. Es sollen, wenn möglich, Optionen angeboten werden, die die zusätzliche Sputter-Modi RF/RF überlagertes DC sowie HIPIMS bereitstellen.

Die Anlage soll am DLR-Institut für Vernetzte Energiesysteme in Oldenburg installiert werden. Dabei sind alle Anschlüsse an die vorhandene Versorgungstechnik für Stromversorgung, Prozessgase, Abluft und Kühlung herzustellen. Die erfolgreiche Demonstration von definierten Referenzprozessen gemäß Ziffer 6.7. vor Ort gilt als Abnahmekriterium.

Geschätzter Wert ohne MwSt: 1 700 000 EUR 💰
Dauer: 6 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

DLR-Institut für Vernetzte Energiesysteme e. V.,

Carl-von-Ossietzky-Straße 15,

26129 Oldenburg.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: In Form von Eigenerklärungen wird gefordert:

— Erklärung über das Nichtbestehen von Ausschlussgründen gemäß §…

… 123 des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB),

… 124 GWB.

Für vorstehende Erklärungen ist das den Vergabeunterlagen beigefügte Formular (Anlage 4) zu verwenden, welches auf der unter I.3 genannten Internetseite zur Verfügung steht.

In Form von Fremdnachweisen wird gefordert:

— Handelsregisterauszug oder Registerauszug gleichwertiger Art, nicht älter als 3 Monate.

Die Einheitliche Europäische Eigenerklärung (EEE) kann als vorläufiger Nachweis zur Eignung eingereicht werden.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

In Form von Eigenerklärungen werden gefordert:

— der Gesamtumsatz des Unternehmens in den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren. Hierfür ist die das den Vergabeunterlagen beigefügte Formular (Anlage 4) zu verwenden.

In Form von Fremdnachweisen wird gefordert:

— Berufs-/Haftpflichtversicherung für Personen-, Sach- und Vermögensschäden, der zum Zeitpunkt des Ablaufs der Angebotsfrist nicht älter als drei Monate ist.

Die Einheitliche Europäische Eigenerklärung (EEE) kann als vorläufiger Nachweis zur Eignung eingereicht werden.

Bezieht sich ein Bieter bei der Darlegung seiner wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit auf die Kapazitäten anderer Unternehmen, so muss er nachweisen, dass ihm die für den Auftrag erforderlichen Mittel tatsächlich zur Verfügung stehen, z. B. durch Vorlage einer Verpflichtungserklärung (Anlage 6 der Vergabeunterlagen) des anderen Unternehmens. In diesen Fällen haben der Bieter und das Unternehmen, auf dessen Kapazitäten sich der Bieter bezieht, eine Erklärung vorzulegen, dass sie gemeinsam für die Auftragsausführung haften (Anlage 6 der Vergabeunterlagen).

Technische und berufliche Fähigkeiten:

— Referenzen der letzten 3 Jahre im Bereich von Lieferleistungen, die mit der ausgeschriebenen Leistung vergleichbar sind. Hierfür ist das den Vergabeunterlagen beigefügte Formular (Anlage 4) zu verwenden.

Die Einheitliche Europäische Eigenerklärung (EEE) kann als vorläufiger Nachweis zur Eignung eingereicht werden.

Bezieht sich ein Bieter bei der Darlegung seiner technischen und beruflichen Leistungsfähigkeit auf die Kapazitäten anderer Unternehmen, so muss er nachweisen, dass ihm die für den Auftrag erforderlichen Mittel tatsächlich zur Verfügung stehen, z. B. durch Vorlage einer Verpflichtungserklärung des anderen Unternehmens (Anlage 6 der Vergabeunterlagen).

Verfahren
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2018-04-06 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2018-01-26 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 10:30

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Thomas Faasch
Internetadresse: www.dlr.de 🌏
Dokumente URL: https://www.subreport.de/E95599447 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

Die Auftraggeber behält sich vor, gegebenenfalls Fremdnachweise für die unter Abschnitt III. geforderten Eigenerklärungen nachzufordern, um die Eigenerklärungen zu verifizieren.

Die Übersendung des Angebotes hat in einem fest verschlossenen Umschlag gemäß der Angebotsaufforderung zu erfolgen. Elektronische Angebote sind nicht zugelassen.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 22894990 📞
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de 📧
Fax: +49 2289499163 📠
Internetadresse: http://www.bundeskartellamt.de 🌏
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Die Vergabestelle weist ausdrücklich auf die Rügeobliegenheiten der Unternehmen/Bewerber/Bieter sowie auf die Präklusionsregelungen gemäß § 160 Abs. 3 GWB hinsichtlich der Behauptung von Verstößen gegen die Bestimmungen über das Vergabeverfahren hin.

§ 160 Abs. 3 GWB lautet:

Der Antrag [auf Nachprüfung] ist unzulässig, soweit:

1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 [GWB] bleibt unberührt,

2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach§ 135 Absatz 1 Nummer 2 [GWB]. § 134 Absatz 1 Satz 2 [GWB] bleibt unberührt.

Die Vergabestelle wird gemäß § 134 GWB die Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen,hiervon vor Zuschlagserteilung nach Maßgabe des § 134 GWB informieren. Bei schriftlicher Information darf der Vertrag erst 15 Kalendertage, bei Information auf elektronischem Weg oder per Telefax erst 10 Kalendertage nach Absendung der Information geschlossen werden (§ 134 Abs. 2 Satz 1 und 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber, § 134 Abs. 2 Satz 3 GWB.

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Wie: Körper überprüfen
Quelle: OJS 2017/S 245-511626 (2017-12-19)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-03-29)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 1 665 451 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Vergabekriterien
Niedrigster Preis

Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-03-29 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-03-30 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 063-139759
Verweist auf Bekanntmachung: 2017/S 245-511626
ABl. S-Ausgabe: 63
Zusätzliche Informationen

Bei der Beteiligung von Bietergemeinschaften haben diese mit ihrem Angebot eine Aufstellung der Mitglieder der Bietergemeinschaft mit Bezeichnung des bevollmächtigten Vertreters für den Abschluss und die Durchführung des Vertrages sowie eine von allen Mitgliedern unterzeichnete Erklärung einzureichen, dass der bevollmächtigte Vertreter alle weiteren Mitglieder der Bietergemeinschaft im Verfahren vertritt und alle Mitglieder bei der Auftragsausführung als Gesamtschuldner haften (Anlage 5 der Vergabeunterlagen). Die Erklärungen und Nachweise nach Abschnitt III sind für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft zu erbringen. Die Auftraggeber behält sich vor, gegebenenfalls Fremdnachweise für die unter Abschnitt III geforderten Eigenerklärungen nachzufordern, um die Eigenerklärungen zu verifizieren. Die Übersendung des Angebotes hat in einem fest verschlossenen Umschlag gemäß der Angebotsaufforderung zu erfolgen. Elektronische Angebote sind nicht zugelassen.

Objekt
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

DLR-Institut für Vernetzte Energiesysteme e. V.

Carl-von-Ossietzky-Straße 15

26129 Oldenburg

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2018-03-07 📅

Referenz
Zusätzliche Informationen

Die Auftraggeber behält sich vor, gegebenenfalls Fremdnachweise für die unter Abschnitt III geforderten Eigenerklärungen nachzufordern, um die Eigenerklärungen zu verifizieren.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

1. Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 [GWB] bleibt unberührt;

4. Mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach§ 135 Absatz 1 Nummer 2 [GWB]. § 134 Absatz 1 Satz 2 [GWB] bleibt unberührt.

Die Vergabestelle wird gemäß § 134 GWB die Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, hiervon vor Zuschlagserteilung nach Maßgabe des § 134 GWB informieren. Bei schriftlicher Information darf der Vertrag erst 15 Kalendertage, bei Information auf elektronischem Weg oder per Telefax erst 10 Kalendertage nach Absendung der Information geschlossen werden (§ 134 Abs. 2 Satz 1 und 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber, § 134 Abs. 2 Satz 3 GWB.

Quelle: OJS 2018/S 063-139759 (2018-03-29)

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