Installation ALD-Hybrid Beschichtungsanlage

Laser Zentrum Hannover e. V.

Es ist das Ziel, den Atomic Layer Deposition (ALD) Beschichtungsprozess mit einem zweiten Schichtwachstumsprozess der PVD-Kategorie (Physical Vapor Deposition) zu kombinieren. Zu diesem Zweck solle ein vollausgestatteter ALD Prozess, inkl. eines thermischen und plasmaaktivierten ALD, in ein Clustertool integriert werden. Zusätzlich zur ALD Prozesskammer soll das Clustertool ein Load-Lock-System beinhalten, eine automatisierte Transfereinheit, um die Substratpalette zwischen ALD und PVD Prozess zu transferieren, sowie eine zweite Beschichtungskammer. Der Auftraggeber wird diese zweite Kammer nach Auslieferung mit weiterer Ausstattung versehen, um die voll funktionierende Hybridanlage fertigzustellen. Das Hybridsystem soll am Ende Einzelschichten aus beiden Prozessen zu einem komplexen Mehrschichtsystem zusammenführen können, ohne das Vakuum zu brechen. Der ALD Prozess und der automatische Probentransfer werden bei Auslieferung voll funktionstüchtig sein.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-01-13. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-12-11.

Wer?

• Laser Zentrum Hannover e. V.

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Niedersachsen › Hannover

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2017-12-11	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2017-12-11)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: LZH-13017-2017-02
Kurze Beschreibung:

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Hannover 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Nicht offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Laser Zentrum Hannover e. V.
Postanschrift: Hollerithallee 8
Postleitzahl: 30419
Postort: Hannover
Kontakt
Internetadresse: http://www.lzh.de 🌏
E-Mail: l.jensen@lzh.de 📧
Telefon: +49 5112788-257 📞
URL der Dokumente: https://www.dtvp.de/Center/notice/CXP4YM4YL4C 🌏
URL der Teilnahme: https://www.dtvp.de/Center/notice/CXP4YM4YL4C 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-12-11 📅
Einreichungsfrist: 2018-01-13 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-12-14 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 240-497812
ABl. S-Ausgabe: 240
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4YM4YL4C

Objekt
Umfang der Beschaffung
Dauer: 10 Monate
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: Zuwendung aus den Mitteln des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) Nr. ZW 2-80147672 Vorhaben: Beschaffung einer Clusteranlage
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 30419

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Technische und berufliche Fähigkeiten:

Eine Firma, die auf diese Ausschreibung hin bieten möchte, muss ein erfahrener Hersteller von ALD Beschichtungsanalagen sein. Darüber hinaus muss Erfahrung zur Planung und Lieferung von kundenspezifischen Vakuumbeschichtungsanlagen vorhanden sein. Der Bewerber ist gebeten, Dokumentation zur Verfügung zu stellen, die die eigene Expertise in den folgen 6 Punkten nachweist und bestätigt, dass er eine Ausführung wie beschrieben ausliefern kann:

1. ALD Beschichtungsprozess mit den Materialien: SiO2, Ta2O5, HfO2, Al2O3, MgF2;

2. Zusätzliche Variationen des ALD: Plasma ALD und thermisch aktiviertes ALD;

3. Automatisiertes Be- und Entladen einer Beschichtungseinheit sowie Abscheidung von Mehrschichtsystemen;

4. In-situ Schichtdickenkontrolle als Teil des ALD Prozesses;

5. Erfahrung in Mehrschichtsystemen für optische Anwendungen;

6. Erfahrung in der Entwicklung von kundenspezifischen und automatisierten Beschichtungsanalgen inklusive Transport von Trägerpaletten. Die Größe des zu transportierenden Trägers liegt bei kreisförmiger Grundform bei 200 mm

Mindeststandards:

Der Lieferant dieses Clustertools, muss die folgenden Dokumente im Lieferumfang zur Verfügung stellen:

— CE Zertifikat,

— Handbuch in deutscher und/oder englischer Sprache,

— dokumentierter E-Check,

— alle notwendigen Dokumente, um die Gefahrenanalyse im Rahmen der Arbeitssicherheitsstandards durchzuführen, wenn möglich 2 Monate vor Lieferung.

Verfahren
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 16:00
Datum der Absendung der Aufforderungen: 2018-01-17 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2018-03-31 📅

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Eingetragener Verein
Kontakt
Kontaktperson: Dr. Lars Jensen
Internetadresse: www.lzh.de 🌏
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Center/notice/CXP4YM4YL4C 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Amtsgericht Hannover
Postort: Hannover
Land: Deutschland 🇩🇪
Quelle: OJS 2017/S 240-497812 (2017-12-11)

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