Kurze Beschreibung
Labornasschemiebank (Anlage) zur Reinigung, zum Ätzen und Spülen von Siliziumwafern vor Abscheidung von Passivierungsschichten (wie beispielweise intrinsischen und dotierten amorphen bzw. teilkristallinen Siliziumschichten, Siliziumnitrid, Aluminiumoxid oder TCOs).