Lieferung, Installation, Inbetrieb- und Endabnahme einer Sputteranlage für das Halbleiterlabor der Max-Planck-Gesellschaft

Halbleiterlabor der Max-Planck-Gesellschaft

Für die Erweiterung der Technologie wird im back-end-of-line Bereich des Halbleiterlabors der Max-Planck-Gesellschaft ein Sputter benötigt. Ziel ist es eine komplette Kupfertechnologie im Prozessbereich zu installieren. Dafür ist das Sputtern des „seed layers“ und der Barrierelage notwendig.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-08-30. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-07-18.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Von Ardenne GmbH

Wer?

• Halbleiterlabor der Max-Planck-Gesellschaft

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2017-07-18	Auftragsbekanntmachung
2018-03-06	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2017-07-18)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: AS17/06
Kurze Beschreibung:

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Halbleiterlabor der Max-Planck-Gesellschaft
Postanschrift: Otto-Hahn-Ring 6
Postleitzahl: 81739
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.hll.mpg.de 🌏
E-Mail: ausschreibung@mpp.mpg.de 📧
Telefon: +49 8932354217 📞
Fax: +49 8932354460 📠
URL der Dokumente: https://owncloud.mpp.mpg.de/owncloud/s/N3c6748xyIVkzis 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-07-18 📅
Einreichungsfrist: 2017-08-30 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-07-21 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 138-282639
ABl. S-Ausgabe: 138

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Lieferung, Installation, Inbetrieb- und Endabnahme einer Sputteranlage. Für die Erweiterung der Technologie wird im back-end-of-line Bereich des Halbleiterlabors der Max-Planck-Gesellschaft eine Sputteranlage benötigt. Ziel ist es eine komplette Kupfertechnologie im Prozessbereich zu installieren. Dafür ist das Sputtern des „seed layers“ und der Barrierelage notwendig.

Dauer: 6 Monate
Beschreibung der Optionen: Optionaler Wartungsvertrag für obengenannte Sputteranlage.
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Halbleiterlabor der Max-Planck-Gesellschaft in München.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:

Bewerbergemeinschaften:

Bewerbergemeinschaften sind als Gesellschaft bürgerlichen Rechts (GbR), als offene Handelsgesellschaft (oHG) sowie in haftungsrechtlich vergleichbarer Form einer anderen EU-Rechtsordnung zugelassen. Es ist im Angebot aufzuzeigen, wer an der Bewerbergemeinschaft beteiligt ist. Dem Auftraggeber ist ein verantwortlicher Ansprechpartner aus der Bewerbergemeinschaft zu benennen. Im Angebot ist außerdem detailliert die aufgabenspezifische Aufteilung der Leistungserbringung darzulegen (siehe hierzu Anlage 5 Formblätter_Eigenerklärungen). Auch im Falle von Bewerbergemeinschaften (und selbstredend bei Unterauftragnehmern) muss gewährleistet sein, dass für den Auftraggeber nur eine gleichbleibende und im Falle von Unterauftragnehmer gesamtverantwortliche (Ansprech-) Stelle existiert, an die die zu bearbeitenden Anträge/ Anfragen versendet werden, mit der die komplette Korrespondenz abgewickelt wird, bei der ein über die Vertragslaufzeit gleichbleibender Personenkreis als Ansprechpartner für Rückfragen zur Verfügung steht und die für die Rechnungsstellung zuständig ist. Unter Berücksichtigung der diesbezüglichen Vorgaben in der Bekanntmachung dieses Vergabeverfahrens im EU-Amtsblatt oder den vorliegenden Vergabeunterlagen sind die geforderten Nachweise und Belege für/ von jedem Mitglied der Bewerbergemeinschaft jeweils mit dem Angebot vorzulegen.

Andere Unternehmen.

Für die Leistungserbringung vorgesehene andere Unternehmen sollen mit dem Angebot (siehe Anlage 5 Formblätter_Eigenerklärungen) benannt werden. Zudem soll mit dem Angebot eine Verpflichtungserklärung vorgelegt werden, mit der die anderen Unternehmen erklären, dass Sie im Fall der Zuschlagserteilung an den (ihn verpflichtenden) Bewerber diesem mit Mitteln/ Kapazitäten im Rahmen und für die Erbringung der hier ausgeschriebenen Leistungen verbindlich zur Verfügung stehen. Ein Wechsel anderer Unternehmen ist nur nach vorheriger Zustimmung des Auftraggebers zulässig, die dieser aus wichtigem Grund verweigern kann. Die Gründe für den beabsichtigten Wechsel sind dem Auftraggeber unaufgefordert darzulegen. Der Auftraggeber behält sich vor, auf eine solche Verpflichtungserklärung zu bestehen, in jedem Falle vor Auftragserteilung.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Zum Nachweis der wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit sind die Formblätter „Eignungskriterien“ zu verwenden. Diese sind unter https://owncloud.mpp.mpg.de/owncloud/s/N3c6748xyIVkzis herunterzuladen und für das Angebot zu verwenden. Fehlen geforderte Angaben, Nachweise, Erklärungen und Unterlagen ganz oder teilweise oder sind diese unvollständig oder entgegen den Vorgaben ausgefüllt, erfolgt, außer bei Angaben, Unterlagen, Nachweisen und Erklärungen, die von der Nachforderung ausgenommen sind, eine einmalige Nachforderung unter Fristsetzung. Werden diese nachgeforderten Angaben, Nachweise, Erklärungen und Unterlagen nicht fristgemäß nachgereicht, erfolgt der Ausschluss des Angebots.

Verfahren
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2017-12-31 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2017-09-03 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 10:00

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des privaten Rechts
Kontakt
Kontaktperson: Einkauf
Dokumente URL: https://owncloud.mpp.mpg.de/owncloud/s/N3c6748xyIVkzis 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Südbayern bei der Regierung von Oberbayern
Postanschrift: Maximilianstr. 39
Postort: München
Postleitzahl: 80538
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 8921762411 📞
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).

Quelle: OJS 2017/S 138-282639 (2017-07-18)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-03-06)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 1 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-03-06 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-03-08 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 047-103019
Verweist auf Bekanntmachung: 2017/S 138-282639
ABl. S-Ausgabe: 47

Objekt
Umfang der Beschaffung
Beschreibung der Optionen: Optionaler Wartungsvertrag für obengenannte Sputteranlage
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Halbleiterlabor der Max-Planck-Gesellschaft.

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Siehe Vergabeunterlagen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 100
Gewichtung des Preises: 0

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2018-02-28 📅
Quelle: OJS 2018/S 047-103019 (2018-03-06)

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