Lithographietool für 2.5D/3D Wafer Level Systemintegration

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe

Geplant ist die Anschaffung eines automatischen Belichtungsgerätes für die lithographische Strukturierung von Schichten im Bereich der 2.5D/3D Wafer-Level-Systemintegration. Mit dem Gerät sollen Polymermaterialien und Fotoresiste, welche im Wellenlängenbereich 350-450 nm fotosensitiv sind, strukturiert werden. Die Schichtdicken der zu bearbeitenden fotosensitiven Materialien sind im Bereich 0,5-200 µm. Das Gerät ist fähig, 300 mm und 200 mm Wafersubstrate (Glas, Si, Glas/Si und Si/Si Stacks) mit Verwölbungen ≤ 2,5mm und Dicken 300-1600 µm zu bearbeiten. Diesbezüglich ist die Maschine mit einem integrierten Wafer-Alignment für die Rand- und Notch-Erkennung inkl. Glaswafer-Erkennung und alphanumerischen ID-Lesegerät auszustatten. Mindestens eine 300 mm Wafer FOUP-Ladestationen (200 mm Wafer aus Insert-Adapter) ist vorzusehen. Die Abarbeitung der Belichtungen erfolgt rezeptbasiert.
Fortsetzung II.2.4) Beschreibung der Beschaffung:

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-09-18. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-08-18.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2017-08-18 Auftragsbekanntmachung
2017-08-22 Ergänzende Angaben
2017-08-30 Ergänzende Angaben
2018-05-30 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Ergänzende Angaben (2017-08-22)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel:
“Lithographietool für 2.5D/3D Wafer Level Systemintegration. E_146_004456 cl-bla FMD”
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Kurze Beschreibung:
“Geplant ist die Anschaffung eines automatischen Belichtungsgerätes für die lithographische Strukturierung von Schichten im Bereich der 2.5D/3D...”    Mehr anzeigen

Ergänzende Informationen
Referenz der ursprünglichen Mitteilung
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2017/S 160-330064

Änderungen
Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: II.2.7
Ort des zu ändernden Textes:
“Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems”
Alter Wert
Text: Laufzeit in Monaten: 5 Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
Neuer Wert
Text: Laufzeit in Monaten: 9 Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
Quelle: OJS 2017/S 162-334242 (2017-08-22)
Ergänzende Angaben (2017-08-30)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe”

Änderungen
Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: IV.2.4
Ort des zu ändernden Textes:
“Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können”
Alter Wert
Text: Deutsch
Neuer Wert
Text: Deutsch und Englisch.
Quelle: OJS 2017/S 167-343635 (2017-08-30)