Maskenreiniger

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Maskenreinigers Die gesuchte Anlage soll durch Kontaktlithographie verunreinigte Masken säubern und neu geschriebene Masken aus unserer Maskenfertigung vom genutzten ebeam-Lack (ZEP 7000) reinigen. Bei den Masken handelt es sich um Quarzglasplatten der Größe 4 x 4-Zoll bis 7 x 7-Zoll (hier werden wir noch die Dicke angeben, falls das Gewicht der Masken kritisch ist), die mit Chrom beschichtet sind. Beim Reinigungsprozess darf die sich darauf befindende Chromoxidschicht nicht angegriffen werden. Der Reinigungsprozess ist dabei nicht vorgegeben. Wird aber der bisherige Prozess mit H2SO4: H2O2 beibehalten, ist das deutlich vorteilhaft. Da die Platzverhältnisse sehr beengt sind, ist es auch von Vorteil, wenn die Reinigungsprozesskammer vom Chemikalienkabinett getrennt aufgestellt werden kann.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-09-01. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-07-28.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Obducat Europe GmbH

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2017-07-28	Auftragsbekanntmachung
2017-09-01	Ergänzende Angaben
2017-09-11	Ergänzende Angaben
2017-10-23	Ergänzende Angaben
2017-12-14	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2017-07-28)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_924_214781 tk-bla
Kurze Beschreibung:
“Maskenreinigers Die gesuchte Anlage soll durch Kontaktlithographie verunreinigte Masken säubern und neu geschriebene Masken aus unserer Maskenfertigung vom...”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Berlin 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-07-28 📅
Einreichungsfrist: 2017-09-01 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-08-01 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 145-299053
ABl. S-Ausgabe: 145
Zusätzliche Informationen

“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter...”
Quelle: OJS 2017/S 145-299053 (2017-07-28)

Ergänzende Angaben (2017-09-01)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Maskenreinigers Die gesuchte Anlage soll durch Kontaktlithographie verunreinigte Masken säubern und neu geschriebene Masken aus unserer Maskenfertigung vom...”
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-09-01 📅
Einreichungsfrist: 2017-09-12 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-09-06 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 170-348578
Verweist auf Bekanntmachung: 2017/S 145-299053
ABl. S-Ausgabe: 170
Quelle: OJS 2017/S 170-348578 (2017-09-01)

Ergänzende Angaben (2017-09-11)
Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-09-11 📅
Einreichungsfrist: 2017-09-19 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-09-14 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 176-360329
ABl. S-Ausgabe: 176
Quelle: OJS 2017/S 176-360329 (2017-09-11)

Ergänzende Angaben (2017-10-23)
Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-10-23 📅
Einreichungsfrist: 2017-11-12 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-10-26 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 206-425325
ABl. S-Ausgabe: 206
Quelle: OJS 2017/S 206-425325 (2017-10-23)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2017-12-14)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-12-14 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-12-16 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 242-502896
ABl. S-Ausgabe: 242
Zusätzliche Informationen

“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter...”
Quelle: OJS 2017/S 242-502896 (2017-12-14)

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