Maskenreiniger

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Maskenreinigers Die gesuchte Anlage soll durch Kontaktlithographie verunreinigte Masken säubern und neu geschriebene Masken aus unserer Maskenfertigung vom genutzten ebeam-Lack (ZEP 7000) reinigen. Bei den Masken handelt es sich um Quarzglasplatten der Größe 4 x 4-Zoll bis 7 x 7-Zoll (hier werden wir noch die Dicke angeben, falls das Gewicht der Masken kritisch ist), die mit Chrom beschichtet sind. Beim Reinigungsprozess darf die sich darauf befindende Chromoxidschicht nicht angegriffen werden. Der Reinigungsprozess ist dabei nicht vorgegeben. Wird aber der bisherige Prozess mit H2SO4: H2O2 beibehalten, ist das deutlich vorteilhaft. Da die Platzverhältnisse sehr beengt sind, ist es auch von Vorteil, wenn die Reinigungsprozesskammer vom Chemikalienkabinett getrennt aufgestellt werden kann.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-09-01. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-07-28.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2017-07-28 Auftragsbekanntmachung
2017-09-01 Ergänzende Angaben
2017-09-11 Ergänzende Angaben
2017-10-23 Ergänzende Angaben
2017-12-14 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2017-07-28)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_924_214781 tk-bla
Kurze Beschreibung:
Maskenreinigers Die gesuchte Anlage soll durch Kontaktlithographie verunreinigte Masken säubern und neu geschriebene Masken aus unserer Maskenfertigung vom genutzten ebeam-Lack (ZEP 7000) reinigen. Bei den Masken handelt es sich um Quarzglasplatten der Größe 4 x 4-Zoll bis 7 x 7-Zoll (hier werden wir noch die Dicke angeben, falls das Gewicht der Masken kritisch ist), die mit Chrom beschichtet sind. Beim Reinigungsprozess darf die sich darauf befindende Chromoxidschicht nicht angegriffen werden. Der Reinigungsprozess ist dabei nicht vorgegeben. Wird aber der bisherige Prozess mit H2SO4: H2O2 beibehalten, ist das deutlich vorteilhaft. Da die Platzverhältnisse sehr beengt sind, ist es auch von Vorteil, wenn die Reinigungsprozesskammer vom Chemikalienkabinett getrennt aufgestellt werden kann.
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Berlin 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-07-28 📅
Einreichungsfrist: 2017-09-01 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-08-01 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 145-299053
ABl. S-Ausgabe: 145
Zusätzliche Informationen
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. – Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt. Damit sichergestellt ist, dass erbetene zusätzliche Informationen auch die anderen Bewerber noch rechtzeitig erreichen, müssen die Rückfragen oder Hinweise bis spätestens 25.8.2017 eingehen. Spätere Fragen oder Hinweise können im Sinne des Wettbewerbs und der Gleichbehandlung nicht mehr beantwortet/bearbeitet werden.
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Objekt
Umfang der Beschaffung
Dauer: 4 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Berlin.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
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Verfahren
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 23:59
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2017-10-08 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2017-09-02 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsgesellschaft e. V.
Kontakt
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstraße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. §134 GWB informiert.
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Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2017/S 145-299053 (2017-07-28)
Ergänzende Angaben (2017-09-01)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Maskenreinigers Die gesuchte Anlage soll durch Kontaktlithographie verunreinigte Masken säubern und neu geschriebene Masken aus unserer Maskenfertigung vom genutzten ebeam-Lack (ZEP 7000) reinigen. Bei den Masken handelt es sich um Quarzglasplatten der Größe 4x4-Zoll bis 7x7-Zoll (hier werden wir noch die Dicke angeben, falls das Gewicht der Masken kritisch ist), die mit Chrom beschichtet sind. Beim Reinigungsprozess darf die sich darauf befindende Chromoxidschicht nicht angegriffen werden. Der Reinigungsprozess ist dabei nicht vorgegeben. Wird aber der bisherige Prozess mit H2SO4:H2O2 beibehalten, ist das deutlich vorteilhaft. Da die Platzverhältnisse sehr beengt sind, ist es auch von Vorteil, wenn die Reinigungsprozesskammer vom Chemikalienkabinett getrennt aufgestellt werden kann.
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Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-09-01 📅
Einreichungsfrist: 2017-09-12 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-09-06 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 170-348578
Verweist auf Bekanntmachung: 2017/S 145-299053
ABl. S-Ausgabe: 170
Quelle: OJS 2017/S 170-348578 (2017-09-01)
Ergänzende Angaben (2017-09-11)
Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-09-11 📅
Einreichungsfrist: 2017-09-19 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-09-14 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 176-360329
ABl. S-Ausgabe: 176
Quelle: OJS 2017/S 176-360329 (2017-09-11)
Ergänzende Angaben (2017-10-23)
Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-10-23 📅
Einreichungsfrist: 2017-11-12 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-10-26 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 206-425325
ABl. S-Ausgabe: 206
Quelle: OJS 2017/S 206-425325 (2017-10-23)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2017-12-14)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-12-14 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-12-16 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 242-502896
ABl. S-Ausgabe: 242
Zusätzliche Informationen
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden, — Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§ 134 GWB), — Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt. Damit sichergestellt ist, dass erbetene zusätzliche Informationen auch die anderen Bewerber noch rechtzeitig erreichen, müssen die Rückfragen oder Hinweise bis spätestens 25.8.2017 eingehen. Spätere Fragen oder Hinweise können im Sinne des Wettbewerbs und der Gleichbehandlung nicht mehr beantwortet/bearbeitet werden.
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Objekt
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Berlin

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Vorversuch (Reinigungsrezept)
Qualitätskriterium (Gewichtung): 40
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Techn. Ausführung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Gewichtung des Preises: 50

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2017-11-08 📅

Referenz
Zusätzliche Informationen
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden,
— Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§ 134 GWB),
— Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt. Damit sichergestellt ist, dass erbetene zusätzliche Informationen auch die anderen Bewerber noch rechtzeitig erreichen, müssen die Rückfragen oder Hinweise bis spätestens 25.8.2017 eingehen. Spätere Fragen oder Hinweise können im Sinne des Wettbewerbs und der Gleichbehandlung nicht mehr beantwortet/bearbeitet werden.
Mehr anzeigen

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. § 134 GWB informiert.
Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2017/S 242-502896 (2017-12-14)