Nano-CT Mikroskop
Zur Durchführung zerstörungsfreier 3D-Charakterisierung von Materialien, und insbesondere von mikroelektronischen Halbleiterstrukturen mit Strukturgrößen im Bereich ≤ 90 nm wird ein duales REM + Röntgen Nano-CT Gerät gesucht.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-11-20.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-10-20.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2017-10-20
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Auftragsbekanntmachung
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| 2017-12-08
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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