Ofensystem für viskose Glaswaferprozesse
Ofensystem für viskose Glaswaferprozesse
Ofensystem Rohrofen mit Prozess Rohren aus Quarzglas Substrate für Silizium- und Glaswafer Durchmesser 200 mm 2 Prozessrohre unabhängig von einander einsetzbar Der gesamte Ofen muss reinraumtauglich sein Reinraumklasse < 100. Das betrifft Innenleben und die Anlage an sich. Alle Materialen des Untergestells und der Verkleidung müssen entweder aus Edelstahl oder aus pulverbeschichtetem rostfreien Stahl aufgebaut sein.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-09-04.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-07-28.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2017-07-28
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Auftragsbekanntmachung
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| 2017-12-07
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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