Plasmaätzanlage
Lieferung einer Plasma-Trockenätzanlage für III-V Halbleiter und Übergangsmetalloxide (entsprechend den im Kriterienkatalog festgelegten Vorgaben). Die oben genannte Anlage ist spätestens 20 Wochen nach Zuschlagsvergabe zu liefern.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-03-15.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-02-03.
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2017-02-03
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Auftragsbekanntmachung
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