Rasterkraftmikroskop mit elektrochemischer Zelle
Für zeitaufgelöste Messungen von anodischen Oxidations- und Reduktionsprozessen an vergrabenen Halbleiterschichten der Gruppe-III_nitride wird ein Rasterelektronenmikroskop mit einer geeigneten elektrochemischen Zelle ( EC-Zelle) benötigt. Für diese in-situ Prozessmessungen sind eine hohe Positionsgenauigkeit und eine Scanrate>10Hz erforderlich, um laterale Oxidationsraten von 1-2 µm/min aufnehmen zu können. Des weiteren hat der Funktionsumfang des Gerätes elektrische Messmodi durch entsprechende Konfiguration des Scanmoduls vorzusehen.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-09-22.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-08-17.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2017-08-17
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Auftragsbekanntmachung
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| 2018-02-05
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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