Reaktiver Ionenstrahl-Ätzer:
Das Gerät soll im Rahmen der am IZM Berlin bestehenden Dünnfilmtechnologie zur Herstellung von metallischen Mikrostrukturen auf Halbleitersubstraten eingesetzt werden. Im speziellen Fall dient das Gerät zum Ätzen von dünnen Metallschichten und Schichtsystemen auf Wafern mit einem Durchmesser von 100 mm, 150 mm, 200 mm und 300 mm nach SEMI-Standard. Zur Definition des herzustellenden Strukturmusters werden üblicherweise metallische Mikrostrukturen, Siliziumoxid- oder Siliziumnitrid-Masken oder auch lithographisch aufgebrachte Fotoresiste und Polymere verwendet. Je nach abzutragendem Metall und dessen Anordnung im Schichtsystem werden sowohl inerte Gase wie Argon und Krypton als auch reaktive Gase und Gasgemische aus O2, Cl2, CF4 und SF6 als Ätzmedium eingesetzt. Zur Beobachtung des Ätzfortschrittes und zur Endpunkdetektion des Schichtabtrages ist das Gerät mit einem Sekundärionen-Massenspektrometer auszurüsten.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-11-09.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-10-25.
Auftragsbekanntmachung (2017-10-25) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_059_273609 humt-wit FMD
Kurze Beschreibung:
“Reaktiver Ionenstrahl-Ätzer:” Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦 Ort der Leistung
NUTS-Region: Berlin🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de/🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de/🌏
“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter...”
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. – Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.
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Quelle: OJS 2017/S 208-429979 (2017-10-25)