SiC-Ätzer

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

SiC-Ätzer
Der SiC-Ätzer muss folgende generelle Funktionalitäten unterstützen: – Gas-Switching und Continuous Mode – Kassetten mit 25 Slots laden – Kassetten mit weniger als 25 Slots und vergrößertem Platz zwischen den einzel-nen Slots laden – Substrate detektieren und handhaben, die transparent oder semitransparent sind – Elektrostatisches Wafer-Chucking (für SiC-Wafer) – Temperaturkontrolle des Wafers während des Prozesses – Endpunktdetektion 1. Maschine/Maschinengrundgerüst
weiter in II.2.4).

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-08-28. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-08-10.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• • SPTS Technologies Limited

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Wie?

• • Industrielle Maschinen

Wo?

• • Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt