SPV measurement tool

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Surface photovoltage (SPV) measurement tool. The SPV tool will be used for the monitoring of the cleanness of 200 mm wafers and different types of equipment (furnaces, lithography tools, etching tools and other) in a CMOS compatible cleanroom class 10 (appr. class 4 EN ISO 14644-1).

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-09-01. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-08-02.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• • SEMILAB SDI

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Wie?

• • Industrielle Maschinen

Wo?

• • Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt