Substratqualifizierungslabor-Gerät zur zerstörungsfreien, vollflächigen Detektion von Kristallfehlern im Volumen von SiC und anderen Halbleitermaterialien

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe

Für die Performance und Zuverlässigkeit von SiC in der Leistungselektronik (insb. SiC-Dioden, SiC-MOSFET), aber auch von anderen neuen Materialien, spielen Materialdefekte eine große Rolle. Neben oberflächennahen Fehlern haben Defekte im Materialvolumen eine große Bedeutung. Solche Defekte sind insbesondere spezielle Versetzungstypen (wie TSDs, TEDs in SiC) und andere ausgedehnte, strukturelle Fehler im Volumen von SiC-Wafern, SiC-Epi-Schichten und von anderen Halbleiter-Materialien. Fortsetzung unter II.2.4.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-07-13. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-06-13.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Rigaku Europe SE

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Mittelfranken › Erlangen, Kreisfreie Stadt
• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2017-06-13	Auftragsbekanntmachung
2017-12-07	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2017-06-13)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_079_230069 cl-wit FMD
Kurze Beschreibung:

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Erlangen, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-06-13 📅
Einreichungsfrist: 2017-07-13 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-06-15 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 113-227382
Verweist auf Bekanntmachung: 2017/S 062-115640
ABl. S-Ausgabe: 113
Zusätzliche Informationen

— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. – Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Fortsetzung aus II.1.4.Aus diesem Grund beabsichtigt das Fraunhofer IISB, einen röntgenbasierten Messplatz (X-ray tomography XRT) anzuschaffen für die automatisierte, zerstörungsfreie, hochauflösende Erfassung von solchen Kristallfehlern auf Waferdurchmessern >=150 mm. Hierfür wird eine Auflösung von 10 µm benötigt. Das Gerät muss neben der Hardware auch über eine entsprechende, automatisierte Software inkl. Datenbank verfügen, um die unterschiedlichen Defekte klassifizieren und deren Position auf dem Wafer nach nutzdefinierten Vorgaben in Form von Defektfehlerkarten automatisiert auswerten zu können. Mit diesem Tool sollen Bauelemente, die auf fehlerbehafteten Stellen hergestellt werden, frühzeitig erkannt und ausselektiert werden.

Dauer: 6 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 91058 Erlangen.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

(1) Firmenprofil mit Angabe der Mitarbeiteranzahl.

(2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre.

(3) Eigenerklärung über das ordnungsgemäße. Abführen von Steuern und Abgaben sowie der Beiträge zur gesetzlichen Sozialversicherung.

(4) Eigenerklärung, dass weder ein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde noch das sich das Unternehmen in Liquidation befindet.

(5) Eigenerklärung, dass nachweislich keine schweren Verfehlungen begangen wurden, die die Zuverlässigkeit als Bewerber in Frage stellen.

(6) Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150a GewO (wird durch den Auftraggeber angefordert).

Technische und berufliche Fähigkeiten:

(7) Komplette Referenzen (Kontaktdaten) von mindestens einem ausgelieferten Gerät mit x-ray topography measurement.

Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern: Gemäß Eignungskriterien, Referenzen.
Beschleunigtes Verfahren: Vorveröffentlichung 2017/S 048-087729.
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 23:59
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsgesellschaft e. V.
Kontakt
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. §134 GWB informiert.

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2017/S 113-227382 (2017-06-13)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2017-12-07)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: E_079_230059 cl-wit FMD
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-12-07 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-12-12 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 238-493728
Verweist auf Bekanntmachung: 2017/S 113-227382
ABl. S-Ausgabe: 238
Zusätzliche Informationen

— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. — Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§ 134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Fortsetzung aus II.1.4. Aus diesem Grund beabsichtigt das Fraunhofer IISB, einen röntgenbasierten Messplatz (X-ray tomography XRT) anzuschaffen für die automatisierte, zerstörungsfreie, hochauflösende Erfassung von solchen Kristallfehlern auf Waferdurchmessern >= 150 mm. Hierfür wird eine Auflösung von 10 μm benötigt. Das Gerät muss neben der Hardware auch über eine entsprechende, automatisierte Software inkl. Datenbank verfügen, um die unterschiedlichen Defekte klassifizieren und deren Position auf dem Wafer nach nutzdefinierten Vorgaben in Form von Defektfehlerkarten automatisiert auswerten zu können. Mit diesem Tool sollen Bauelemente, die auf fehlerbehafteten Stellen hergestellt werden, frühzeitig erkannt und ausselektiert werden.

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 91058 Erlangen

Verfahren
Beschleunigtes Verfahren: Vorveröffentlichung 2017/S 062-115640
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Messtechnik
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferzeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 5
Gewichtung des Preises: 35

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2017-10-04 📅

Referenz
Zusätzliche Informationen

— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden.

— Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§ 134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. § 134 GWB informiert.

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