Uni-HD.2016.1514-Elektronenstrahllithograph_KIP

Universität Heidelberg

Vergabeverfahren zur Lieferung eines Elektrostrahllithographen.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-02-24. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-01-19.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2017-01-19 Auftragsbekanntmachung
2017-03-03 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2017-01-19)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Kurze Beschreibung: Vergabeverfahren zur Lieferung eines Elektrostrahllithographen.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Heidelberg, Stadtkreis 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Universität Heidelberg
Postanschrift: Universitätsverwaltung Abt. 4.1 – Zentrale Beschaffung – Seminarstraße 2
Postleitzahl: 69117
Postort: Heidelberg
Kontakt
Internetadresse: http://www.zuv.uni-heidelberg.de/finanzen/beschaffung/ausschreibung1.html 🌏
E-Mail: vergabe@zuv.uni-heidelberg.de 📧
Telefon: +49 622154-2118 📞
Fax: +49 622154-161-2220 📠
URL der Dokumente: http://www.zuv.uni-heidelberg.de/finanzen/beschaffung/ausschreibung1.html 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-01-19 📅
Einreichungsfrist: 2017-02-24 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-01-24 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 016-025495
ABl. S-Ausgabe: 16
Zusätzliche Informationen
Die Beantwortung der eingegangenen Bieterfragen sowie evtl. zusätzliche Informationen der Vergabestelle erfolgen auf folgender Internetpräsenz: http://www.zuv.uni-heidelberg.de/finanzen/beschaffung/ausschreibung1.html Die Bieter sind verpflichtet, sich selbstständig bis zum Ende der Angebotsfrist über etwaige zusätzliche Informationen oder Änderungen zu informieren.
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Objekt
Umfang der Beschaffung
Informationen über Lose:
Die Beschaffung des Elektronenstrahllithographen erfolgt aus internen Gründen (Antragstellung, Finanzierung, Abrechnung und Berichtswesen usw.) in 2 Losen.
Die getrennt Vergabe in pro Los ist aus begründeten Umständen nicht möglich.
Siehe hierzu Erläuterungen gem. Vergabe- und Vertragsunterlagen, Abschnitt 3.2 „Loseweise Vergabe“.
Bezeichnung des Loses: Position 01: Elektronenstrahllithograph (Basisgerät) Position 02: eine Einheit zur Energie-dispersiven Röntgenspektroskopie (EDS)
Losnummer: 1
Kurze Beschreibung:
Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation und betriebsfertige Übergabe inkl. Funktionstest, Einweisung und Abnahme eines Elektronenstrahllithographen mit Ausstattung zur Nanomanipulation und Fabrikationskontrolle nach rasterelektronen-mikroskopischen Maßstäben.
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Das auf dem Markt erprobte und etablierte System soll dem internationalen Stand der Technik im Hinblick auf die Strukturgröße und die Positioniergenauigkeit entsprechen und über eine Einzelschleuse mit manuellem Probenlader verfügen. Es muss das kontrollierte fehler- und versatzfreie Belichten von Strukturen mit Größen von wenigen Nanometern auf Flächen mit Seitenlängen von mindestens 90 Millimetern mit hoher Reproduzierbarkeit ermöglichen. Weiterhin muss das kontinuierlich versatzfreie („stitching-free“) und homogene Belichten von Strukturgrößen im Bereich von wenigen Nanometern auf Flächen von mindestens 20 Millimetern mal 100 Mikrometern garantiert werden. Zudem ist die Anlage mit einem Manipulator auszustatten, welcher den gezielten Aufbau und die Modifikation komplexer nanometer-großen Geometrien erlaubt. Für die Implementierung neuer Geometrien muss eine geeignete und intuitive bedienbare Design- und Ansteuerungssoftware vorhanden sein. Zusätzlich muss eine eingehende, rasterelektronenstrahl-mikroskopische Prüfung der erstellten Strukturen inklusive Energie-dispersiver Röntgenspektroskopie (EDS) möglich sein.
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Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel für Los 1, Position 01 (Basisgerät) begrenzt und enden bei 824 000 EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert für überschreiten, können nicht berücksichtigt werden.
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Das Los 1 beinhaltet 2 Positionen. Position 01 enthält das Basisgerät (Elektronen-strahllithograph) und Position 02 eine Einheit zur Energie-dispersiven Röntgenspektros-kopie (EDS).
Dauer: 6 Monate
Beschreibung der Verlängerungen:
Es gilt eine maximale Lieferzeit von 24 Wochen (6 Monate) nach Bestelleingang.
Weitere Erläuterungen hierzu, siehe Vergabe- und Vertragsunterlagen, Abschnitt 4.8 Lieferzeit.
Zusätzliche Informationen:
Die Beantwortung der eingegangenen Bieterfragen sowie evtl. zusätzliche Informationen der Vergabestelle erfolgen auf folgender Internetpräsenz:
Die Bieter sind verpflichtet, sich selbstständig bis zum Ende der Angebotsfrist über etwaige zusätzliche Informationen oder Änderungen zu informieren.
Bezeichnung des Loses: Position 03: Zusatzmodul
Losnummer: 2
Kurze Beschreibung:
Das Los 2 beinhaltet das Zusatzmodul. Dieses muss das kontinuierlich versatzfreie („stitching-free“) Belichten von Strukturgrößen im Bereich von wenigen Nanometern auf Flächen von mindestens 20 Millimetern mal 100 Mikrometern mit hoher Reproduzierbarkeit ermöglichen.
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Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Heidelberg.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
Eintragung in einem Handelsregister
Der Wirtschaftsteilnehmer ist in den einschlägigen Handelsregistern seines Niederlassungsmitgliedstaats verzeichnet;
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
Andere wirtschaftliche und finanzielle Anforderungen
Der Wirtschaftsteilnehmer hat eine Haftpflichtversicherung in angemessener Höhe,
mindestens aber mit einer Deckungssumme von:
— 2 500 000 EUR für Personenschäden,
— 1 000 000 EUR für Sach- und Vermögensschäden
pro Schadensfall abgeschlossen.
Technische und berufliche Fähigkeiten:
— Ausführung von Lieferungen der genannten Art
Im Bezugszeitraum hat der Wirtschaftsteilnehmer die mind. fünf folgenden wesentlichen Lieferungen der genannten Art ausgeführt.
Anzugebender Zeitraum: 2014 – 2016
Als Bestätigung werden auch Nachweise anerkannt, die belegen, dass für
Los 1: ähnliche (nicht identische) Geräte bereits verkauft wurden.
Los 2: Um die Erprobung und Etablierung des Systems auf dem Markt zu verifizieren, müssen mindestens fünf Systeme verkauft wurden sein, die das kontinuierlich versatzfreie („stitching-free“) Belichten unter den geforderten Voraus-setzungen ermöglichen.
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— Als Unterauftrag vergebener Anteil.
Der Wirtschaftsteilnehmer beabsichtigt, unter Umständen folgenden Teil (Prozentsatz) des Auftrags als Unterauftrag zu vergeben:
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
Die Beschaffung des Elektronenstrahllithographen erfolgt aus internen Gründen (Antragstellung, Finanzierung, Abrechnung und Berichtswesen usw.) in 2 Losen.
Die Vergabe in Losen ist aus begründeten Umständen nicht möglich.
Um die vollständige Funktion des Elektronenstrahllithographen zu gewährleisten, müssen alle Geräte bzw. Module zwingend miteinander kompatibel sein und somit von einem Auftragnehmer stammen. Eine getrennte Vergabe an verschiedene Firmen ist nicht möglich. Mögliche Bieter müssen dementsprechend für beide Lose zwingend ein Angebot abgeben. Wenn ein Angebot für nur ein Los eingereicht wird, muss dieses Angebot aus dem Vergabeverfahren ausgeschlossen werden (§ 30 VgV).
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Die angebotene Leistung umfasst folgende Positionen:
— fristgerechte Lieferung u. vollständige Aufstellung a. d. Verwendungsstelle;
— Entsorgung v. Verpackungen u. überzähligen Bestandteilen;
— Feinjustage, Funktionstest bzw. Demonstration sowie Einweisung u. Inbetriebnahme;
— Geräteabnahme beim Kunden.

Verfahren
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2017-05-05 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2017-02-24 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 10:00
Ort des Eröffnungstermins: Heidelberg.

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Nationale Registrierungsnummer: DE811225433
Kontakt
Kontaktperson: Vergabestelle
Dokumente URL: http://www.zuv.uni-heidelberg.de/finanzen/beschaffung/ausschreibung1.html 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Baden-Württemberg
Postanschrift: Kapellenstraße 17
Postort: Karlsruhe
Postleitzahl: 76131
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 7219264049 📞
E-Mail: vergabekammer@rpk.bwl.de 📧
Fax: +49 7219263985 📠
Internetadresse: https://rp.baden-wuerttemberg.de/rpk/Abt1/Ref15/Seiten/default.aspx 🌏
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Es wird ausdrücklich auf die Ausschlussfrist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB hingewiesen: „Der Antrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.“.
Quelle: OJS 2017/S 016-025495 (2017-01-19)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2017-03-03)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: 2017/S 016-025495
Gesamtwert des Auftrags: 1 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-03-03 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-03-08 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 047-085988
Verweist auf Bekanntmachung: 2017/S 016-025495
ABl. S-Ausgabe: 47

Objekt
Umfang der Beschaffung
Bezeichnung des Loses: Position 01: Elektronenstrahllithograph (Basisgerät) und Position 02: eine Einheit zur Energie-dispersiven Röntgenspektroskopie (EDS)
Kurze Beschreibung:
Das Los 1 beinhaltet 2 Positionen. Position 01 enthält das Basisgerät (Elektronen-strahllithograph) und Position 02 eine Einheit zur Energie-dispersiven Röntgenspektroskopie (EDS).
Um die vollständige Funktion des Elektronenstrahllithographen zu gewährleisten, müssen alle Geräte bzw. Module zwingend miteinander kompatibel sein und somit von einem Auftragnehmer stammen. Eine getrennte Vergabe an verschiedene Firmen ist nicht…
… möglich. Mögliche Bieter müssen dementsprechend für beide Lose zwingend ein Angebot abgeben. Wenn ein Angebot für nur ein Los eingereicht wird, muss dieses Angebot aus dem Vergabeverfahren ausgeschlossen werden (§ 30 VgV).
… möglich.
Mögliche Bieter müssen dementsprechend für beide Lose zwingend ein Angebot abgeben. Wenn ein Angebot für nur ein Los eingereicht wird, muss dieses Angebot aus dem Vergabeverfahren ausgeschlossen werden (§ 30 VgV).

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technischer Wert
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Energieeffizienz
Qualitätskriterium (Gewichtung): 20
Gewichtung des Preises: 30
50

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2017-03-03 📅
Quelle: OJS 2017/S 047-085988 (2017-03-03)
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