Vollautomatischer Waferprober

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe

A fully automated probestation shall be purchased for characterizing noise characteristics and performing parameter measurements on wafers in cleanroom environment. Continuation in II.2.4.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-07-19. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-06-14.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Tokyo Electron Europe Limited German Branch

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe

Wie?

• Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen › Maschinen und Geräte zum Prüfen und Messen

Wo?

• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt
• Sachsen › Dresden

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2017-06-14	Auftragsbekanntmachung
2017-08-10	Ergänzende Angaben
2017-09-12	Bekanntmachung über vergebene Aufträge
2017-09-14	Ergänzende Angaben

Auftragsbekanntmachung (2017-06-14)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Maschinen und Geräte zum Prüfen und Messen
Referenznummer: E_048_247749 grg-wit FMD
Kurze Beschreibung:

A fully automated probestation shall be purchased for characterizing noise characteristics and performing parameter measurements on wafers in cleanroom environment. Continuation in II.2.4.

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Englisch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Maschinen und Geräte zum Prüfen und Messen 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Dresden 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-06-14 📅
Einreichungsfrist: 2017-07-19 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-06-16 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 114-229133
Verweist auf Bekanntmachung: 2017/S 047-085783
ABl. S-Ausgabe: 114
Zusätzliche Informationen

— Request of documents — available at: The award documents can be retrieved exclusively through the award portal of the German e-Vergabe at www.deutsche-evergabe.de With the tender submission, contenders are also subject to the provisions regarding unsuccessful tenders (§134 GWB [German Act Against Restraints of Competition]). Questions orremarks from the tenderer must be sent, in English only, exclusively via e-mail to the contact point named under No. I.1. As faras relevant, responses to the questions or remarks of the tenderer shall also be sent to all other tenderers. Pursuant to Section 9 Par. 3 S. 2 VgV (German public procurement regulation), the contract notice and the award documents are available to you at the German eVergabe with or without registration. Please note that registration is required for requests to participate, tender submissions and tenderer questions. We therefore recommend early registration, also in order to receive any tenderer information; you other wisebear the risk of possible tender exclusion.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Add on to clause II.1.4)

— The waferprober is installed in a ISO6 class cleanroom. ISO3 class or better is required within the loading and probing area.

— The waferprober shall be able to handle 300 mm wafers that are loaded from standard FOUPS as well as handling 200 mm wafers.

— The probing temperature range is specified from 25°C up to 200°C which shall be automatically controlled and aligned by the waferprober.

— Overall alignment accuracy shall by less than +/- 2µm over the entire temperature range.

— Control of the probestation is performed via GPIB.

— The test chamber and chuck shall be optimized for low noise and low leakage measurements.

— The probestation shall support probe-cleaning using a polish wafer that can be permanently stored in a buffer-tray within the probestation.

Dauer: 4 Monate
Beschreibung der Optionen: Options see Equipment & Process Specification ( EPS ).
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 01099 Dresden.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Subcontractors have to be stated out, their suitability also has to be proved on the basis of the listed documents. Their share of the object into at this contract must be stated.

Verfahren
Beschleunigtes Verfahren: Advance information E_048_246804 deyda-bla.
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 23:59
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2017-08-24 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2017-07-20 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: research company
Kontakt
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

Pursuant to Section 9 Par. 3 S. 2 VgV (German public procurement regulation), the contract notice and the award documents are available to you at the German eVergabe with or without registration.

Please note that registration is required for requests to participate, tender submissions and tenderer questions.

We therefore recommend early registration, also in order to receive any tenderer information; you other wisebear the risk of possible tender exclusion.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Precise information on deadline(s) for review procedures: Precise information on the deadlines for filing appeals: As long as a contract has not yet been effectively awarded (conclusion of contract), an application for a review can be made as an appeal with the body named under VI 4.1. Contenders/tenderers must promptly file complaints regarding violations of the provisions governing the award of public contracts with the awarding body named under I.1) before they apply for a review. We expressly point out the application deadline of §160 German Act Against Restraints of Competition [Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen — GWB]. Tenderers whose offers are not successful shall be informed before the award of the contract pursuant to §134 GWB.

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2017/S 114-229133 (2017-06-14)

Ergänzende Angaben (2017-08-10)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Postort: Munich

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-08-10 📅
Einreichungsfrist: 2017-08-27 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-08-12 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 154-319378
Verweist auf Bekanntmachung: 2017/S 114-229133
ABl. S-Ausgabe: 154
Quelle: OJS 2017/S 154-319378 (2017-08-10)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2017-09-12)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Telefon: +49 1205-7270 📞

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-09-12 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-09-14 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 176-360286
ABl. S-Ausgabe: 176

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung: Add on to clause II.1.4).

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Delivery Time
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technical Requirements
Qualitätskriterium (Gewichtung): 55
Gewichtung des Preises: 35

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2017-09-06 📅

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Tomo Grgic

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Precise information on deadline(s) for review procedures: Precise information on the deadlines for filing appeals: As long as a contract has not yet been effectively awarded (conclusion of contract), an application for a review can be made as an appeal with the body named under VI 4.1. Contenders/tenderers must promptly file complaints regarding violations of the provisions governing the award of public contracts with the awarding body named under I.1) before they apply for a review. We expressly point out the application deadline of §160 German Act Against Restraints of Competition [Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen — GWB]. Tenderers whose offers are not successful shall be informed be fore the award of the contract pursuant to §134 GWB.

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Postanschrift: Heinemannstr. 2
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53175
Land: Deutschland 🇩🇪
Quelle: OJS 2017/S 176-360286 (2017-09-12)

Ergänzende Angaben (2017-09-14)
Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-09-14 📅
Einreichungsfrist: 2017-10-04 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-09-16 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 178-364457
ABl. S-Ausgabe: 178
Quelle: OJS 2017/S 178-364457 (2017-09-14)

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