Wafer-Boxenstocker

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Es wird eine Anlage benötigt, die Wafer für eine kurz- oder mittelfristige Lagerung aufnehmen kann. Die Wafer (Durchmesser 200 mm) sollen unter spezieller Umgebung gelagert werden. Die Lagerung wird durch ein internes Management ausgeübt und überwacht.
1. Parameter:
— internes Luftregime mindestens ISO- Klasse 4;
— Kapazität 200 Magazine;
— Sicherung gegen Stromausfall;
— ESD- Konformität;
— Für die spezifizierte Anlage gültige und lizenzierte Software;
— SECS-GEM-Schnittstelle mit Remote-Zugriff und Möglichkeit der Steuerung über eine Fertigungssteuerungssoftware (MES);
— 2 I/O-Ports;
— RFID und Bare- Code Erkennung;
— internes Management zur Ablage des Box.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-02-28. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-01-26.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• • Fabmatics GmbH

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Wie?

• • Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• • Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt
• • Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt