Wafer Probe Station
Gesucht wird eine semiautomatische Wafer Probe Station zur automatischen Vermessung und Kontaktierung von Chips und Wafern. 200 mm Wafer müssen kontaktierbar sein. Der Chuck muss von 20°C bis 300°C temperierbar sein und der On-Wafer Messplatz muss ein Mikroskop mit Digitalvideokamera sowie einen Laser Cutter zum Trimmen von Aluminium Fuses auf dem Chip besitzen. Außerdem muss neben dem Mikroskop ein Sockel verfügbar sein, um eine Thermographiekamera anzubringen. Man muss auch während einer Messung leicht zwischen Mikroskop und Thermographiekamera wechseln können, ohne die gesamte Station umzubauen. Es muss ein einfacher Wechselmechanismus vorhanden sein. Die Station muss über einen PC mit Windows 7 oder höher verfügen und damit steuerbar sein. Außerdem müssen Halterungen für Messspitzen zur Waferkontaktierung zur µm-genauen Positionierung vorhanden sein und auch der Chuck muss µm-genau positionierbar sein.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-11-13.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-10-12.
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
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Dokument |
| 2017-10-12
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Auftragsbekanntmachung
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