Waferimplantationskammer im Tellerraddesign
Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.
Auftragsgegenstand ist die Konstruktion, Fertigung, Lieferung und Inbetriebnahme einer Vakuum-Prozeßkammer zur Ionenimplantation von vorzugsweise Si- Wafern (SEMI-Standard: 2“ bis 200 mm Durchmesser). Die Prozessierung erfolgt als Si-Einzelwafer-Ionenimplantation, wobei die Kammer eine vorgegebene Anzahl von Wafern aufnehmen muß. Die Bestückung der Prozeßkammer mit Si-Wafern erfolgt manuell. Die Prozeßkammer wird an einer beim Auftraggeber vorhandene Beamline eines 500 kV Ionenimplanters (horizontale Mittelachse Strahlrohr: 1 535 mm) unter Beachtung der räumlichen Gegebenheiten in einem Reinraumzelt installiert werden. Die räumlichen Maße sind den Ausschreibungsunterlagen zu entnehmen. Die Schnittstelle zwischen Beamline und Prozesskammer wird durch einen kundenseitig vorhandenen Schieber mit 11 cm langem Rohrstück (ISO- K320) definiert.
DeadlineDie Frist für den Eingang der Angebote war 2017-05-22. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-04-13.
AnbieterDie folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2017-04-13 | Auftragsbekanntmachung |
| 2017-06-26 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Auftragsbekanntmachung (2017-04-13)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: EUOV1704
Kurze Beschreibung:
“Auftragsgegenstand ist die Konstruktion, Fertigung, Lieferung und Inbetriebnahme einer Vakuum-Prozeßkammer zur Ionenimplantation von vorzugsweise Si- Wafern...”
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.
Postanschrift: Bautzner Landstraße 400
Postleitzahl: 01328
Postort: Dresden
Kontakt
Internetadresse: http://www.hzdr.de 🌏
E-Mail: vergabe@hzdr.de 📧
Telefon: +49 3512603076 📞
Fax: +49 3512603166 📠
URL der Dokumente: https://www.hzdr.de/VOL_EUOV1704 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-04-13 📅
Einreichungsfrist: 2017-05-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-04-15 📅
Datum des Endes: 2017-12-15 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 075-144713
ABl. S-Ausgabe: 75
Zusätzliche Informationen
“Nur Bevollmächtigte des Auftraggebers.”
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Zur anzubietenden Leistung gehören (d. h. im Angebotspreis enthalten):”
“— Konstruktion und Fertigung der Prozeßkammer, einschließlich aller im Leistungsverzeichnis spezifizierten Komponenten;”
“— Zusendung der finalen Konstruktionsunterlagen innerhalb von 6 Wochen nach Auftragserteilung mit Freigabe des Auftraggebers vor Fertigung;”
“— Mitteilung benötigter Elektro- und Medienanschlüsse (Druckluft, Stickstoff, Kühlwasser) drei Monate vor Lieferung;”
“— Lieferung an den Erfüllungsort gemäß DAP (Incoterms 2010);”
“— Aufbau und Inbetriebnahme am Erfüllungsort;”
“— Abnahme am Erfüllungsort mit Nachweis der im Leistungsverzeichnis definierten Abnahmekriterien;”
“— 24 Monate Gewährleistung ab Abnahme.”
“— Übergabe einer Gesamtdokumentation (elektronische Files und Papier-Ausdrucke) in folgendem Umfang:”
“— Anlagenbeschreibung und Bedienungsanleitung in Deutsch;”
“— Kompletter Satz technischer Zeichnungen (im DWG und PDF Format);”
“— Artikelnummer / Produktdatenblätter von Komponenten von Unterauftragnehmern, soweit nicht öffentlich verfügbar;”
“— Stromlaufpläne;”
“— Quellcode der Anlagensteuerung.”
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V., Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung, Gebäude 711, Raum 103, Bautzner Landstraße 400, 01328 Dresden.”
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Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
“Eigenerklärung über den Eintrag in einem Berufs- oder Handelsregister nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Landes der Gemeinschaft oder des...”
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“Eigenerklärung zu den in §§ 123, 124 GWB genannten Ausschlussgründen.”
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
“Eigenerklärung zum Gesamtumsatz der letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre sowie zum Umsatz der letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre bezogen auf...”
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Mindeststandards:
“Geforderter Mindestumsatz besondere Leistungsart: pro Jahr 400 000 EUR netto.”
Technische und berufliche Fähigkeiten:
“Angabe der wesentlichen in den letzten 3 Jahren erbrachten Leistungen.”
Mindeststandards:
“Mind. 2 Referenzen, in Art und Umfang vergleichbar mit der ausgeschriebenen Leistung.”
Verfahren
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 14:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2017-06-30 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2017-05-22 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 14:01
Zusätzliche Informationen:
“Nur Bevollmächtigte des Auftraggebers.”
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Großforschungseinrichtung
Kontakt
Kontaktperson: Abteilung Vergabe- und Beschaffungswesen
Dokumente URL: https://www.hzdr.de/VOL_EUOV1704 🌏
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes
Postanschrift: Villemomblerstr. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2289499-0 📞
Fax: +49 2289499-163 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“Rechtsbehelfe gemäß § 160 GWB:”
“(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.”
“(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach §...”
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“(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit:”
“1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber...”
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“2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten...”
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“3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur...”
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“4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.”
“Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.”
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Vergabekammer des Bundes
Postanschrift: Villemomblerstr. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2289499-0 📞
Fax: +49 2289499-163 📠
Quelle: OJS 2017/S 075-144713 (2017-04-13)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: EUOV1704
Kurze Beschreibung:
“Auftragsgegenstand ist die Konstruktion, Fertigung, Lieferung und Inbetriebnahme einer Vakuum-Prozeßkammer zur Ionenimplantation von vorzugsweise Si- Wafern...”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.
Postanschrift: Bautzner Landstraße 400
Postleitzahl: 01328
Postort: Dresden
Kontakt
Internetadresse: http://www.hzdr.de 🌏
E-Mail: vergabe@hzdr.de 📧
Telefon: +49 3512603076 📞
Fax: +49 3512603166 📠
URL der Dokumente: https://www.hzdr.de/VOL_EUOV1704 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-04-13 📅
Einreichungsfrist: 2017-05-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-04-15 📅
Datum des Endes: 2017-12-15 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 075-144713
ABl. S-Ausgabe: 75
Zusätzliche Informationen
“Nur Bevollmächtigte des Auftraggebers.”
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Zur anzubietenden Leistung gehören (d. h. im Angebotspreis enthalten):”
“— Konstruktion und Fertigung der Prozeßkammer, einschließlich aller im Leistungsverzeichnis spezifizierten Komponenten;”
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“— Zusendung der finalen Konstruktionsunterlagen innerhalb von 6 Wochen nach Auftragserteilung mit Freigabe des Auftraggebers vor Fertigung;”
“— Mitteilung benötigter Elektro- und Medienanschlüsse (Druckluft, Stickstoff, Kühlwasser) drei Monate vor Lieferung;”
“— Lieferung an den Erfüllungsort gemäß DAP (Incoterms 2010);”
“— Aufbau und Inbetriebnahme am Erfüllungsort;”
“— Abnahme am Erfüllungsort mit Nachweis der im Leistungsverzeichnis definierten Abnahmekriterien;”
“— 24 Monate Gewährleistung ab Abnahme.”
“— Übergabe einer Gesamtdokumentation (elektronische Files und Papier-Ausdrucke) in folgendem Umfang:”
“— Anlagenbeschreibung und Bedienungsanleitung in Deutsch;”
“— Kompletter Satz technischer Zeichnungen (im DWG und PDF Format);”
“— Artikelnummer / Produktdatenblätter von Komponenten von Unterauftragnehmern, soweit nicht öffentlich verfügbar;”
“— Stromlaufpläne;”
“— Quellcode der Anlagensteuerung.”
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V., Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung, Gebäude 711, Raum 103, Bautzner Landstraße 400, 01328 Dresden.”
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
“Eigenerklärung über den Eintrag in einem Berufs- oder Handelsregister nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Landes der Gemeinschaft oder des...”
“Eigenerklärung zu den in §§ 123, 124 GWB genannten Ausschlussgründen.”
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
“Eigenerklärung zum Gesamtumsatz der letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre sowie zum Umsatz der letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre bezogen auf...”
Mindeststandards:
“Geforderter Mindestumsatz besondere Leistungsart: pro Jahr 400 000 EUR netto.”
Technische und berufliche Fähigkeiten:
“Angabe der wesentlichen in den letzten 3 Jahren erbrachten Leistungen.”
Mindeststandards:
“Mind. 2 Referenzen, in Art und Umfang vergleichbar mit der ausgeschriebenen Leistung.”
Verfahren
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 14:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2017-06-30 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2017-05-22 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 14:01
Zusätzliche Informationen:
“Nur Bevollmächtigte des Auftraggebers.”
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Großforschungseinrichtung
Kontakt
Kontaktperson: Abteilung Vergabe- und Beschaffungswesen
Dokumente URL: https://www.hzdr.de/VOL_EUOV1704 🌏
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes
Postanschrift: Villemomblerstr. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2289499-0 📞
Fax: +49 2289499-163 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“Rechtsbehelfe gemäß § 160 GWB:”
“(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.”
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“(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach §...”
“(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit:”
“1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber...”
“2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten...”
“3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur...”
“4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.”
“Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.”
Name: Vergabekammer des Bundes
Postanschrift: Villemomblerstr. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2289499-0 📞
Fax: +49 2289499-163 📠
Quelle: OJS 2017/S 075-144713 (2017-04-13)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2017-06-26)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Auftragsgegenstand ist die Konstruktion, Fertigung, Lieferung und Inbetriebnahme einer Vakuum- Prozeßkammer zur Ionenimplantation von vorzugsweise Si-...”
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Gesamtwert des Auftrags: 248 960 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-06-26 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-06-29 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 122-247068
Verweist auf Bekanntmachung: 2017/S 075-144713
ABl. S-Ausgabe: 122
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Auftragsgegenstand ist die Konstruktion, Fertigung, Lieferung und Inbetriebnahme einer Vakuum-”
“Prozeßkammer zur Ionenimplantation von vorzugsweise Si- Wafern (SEMI-Standard: 2“ bis 200 mm”
“Durchmesser). Die Prozessierung erfolgt als Si-Einzelwafer-Ionenimplantation, wobei die Kammer eine”
“vorgegebene Anzahl von Wafern aufnehmen muss. Die Bestückung der Prozeßkammer mit Si-Wafern”
“erfolgt manuell. Die Prozeßkammer wird an einer beim Auftraggeber vorhandene Beamline eines 500 kV”
“Ionenimplanters (horizontale Mittelachse Strahlrohr: 1 535 mm) unter Beachtung der räumlichen Gegebenheiten”
“in einem Reinraumzelt installiert werden. Die räumlichen Maße sind den Ausschreibungsunterlagen zu”
“entnehmen. Die Schnittstelle zwischen Beamline und Prozesskammer wird durch einen kundenseitig”
“vorhandenen Schieber mit 11 cm langem Rohrstück (ISO- K320) definiert.”
“— Konstruktion und Fertigung der Prozeßkammer, einschließlich aller im Leistungsverzeichnis spezifizierten”
“Komponenten;”
“— Zusendung der finalen Konstruktionsunterlagen innerhalb von 6 Wochen nach Auftragserteilung mit Freigabe”
“des Auftraggebers vor Fertigung;”
“— Mitteilung benötigter Elektro- und Medienanschlüsse (Druckluft, Stickstoff, Kühlwasser) 3 Monate vor”
“Lieferung;”
“— Artikelnummer / Produktdatenblätter von Komponenten von Unterauftragnehmern, soweit nicht öffentlich”
“verfügbar;”
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.,”
“Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung,”
“Gebäude 711, Raum 103,”
“Bautzner Landstraße 400,”
“01328 Dresden.”
Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Leistung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 30
Price weighting: 70
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2017-06-26 📅
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach §...”
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“Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden...”
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Quelle: OJS 2017/S 122-247068 (2017-06-26)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Auftragsgegenstand ist die Konstruktion, Fertigung, Lieferung und Inbetriebnahme einer Vakuum- Prozeßkammer zur Ionenimplantation von vorzugsweise Si-...”
Gesamtwert des Auftrags: 248 960 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-06-26 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-06-29 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 122-247068
Verweist auf Bekanntmachung: 2017/S 075-144713
ABl. S-Ausgabe: 122
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Auftragsgegenstand ist die Konstruktion, Fertigung, Lieferung und Inbetriebnahme einer Vakuum-”
“Prozeßkammer zur Ionenimplantation von vorzugsweise Si- Wafern (SEMI-Standard: 2“ bis 200 mm”
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“Durchmesser). Die Prozessierung erfolgt als Si-Einzelwafer-Ionenimplantation, wobei die Kammer eine”
“vorgegebene Anzahl von Wafern aufnehmen muss. Die Bestückung der Prozeßkammer mit Si-Wafern”
“erfolgt manuell. Die Prozeßkammer wird an einer beim Auftraggeber vorhandene Beamline eines 500 kV”
“Ionenimplanters (horizontale Mittelachse Strahlrohr: 1 535 mm) unter Beachtung der räumlichen Gegebenheiten”
“in einem Reinraumzelt installiert werden. Die räumlichen Maße sind den Ausschreibungsunterlagen zu”
“entnehmen. Die Schnittstelle zwischen Beamline und Prozesskammer wird durch einen kundenseitig”
“vorhandenen Schieber mit 11 cm langem Rohrstück (ISO- K320) definiert.”
“— Konstruktion und Fertigung der Prozeßkammer, einschließlich aller im Leistungsverzeichnis spezifizierten”
“Komponenten;”
“— Zusendung der finalen Konstruktionsunterlagen innerhalb von 6 Wochen nach Auftragserteilung mit Freigabe”
“des Auftraggebers vor Fertigung;”
“— Mitteilung benötigter Elektro- und Medienanschlüsse (Druckluft, Stickstoff, Kühlwasser) 3 Monate vor”
“Lieferung;”
“— Artikelnummer / Produktdatenblätter von Komponenten von Unterauftragnehmern, soweit nicht öffentlich”
“verfügbar;”
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.,”
“Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung,”
Mehr anzeigen (3)
“Gebäude 711, Raum 103,”
“Bautzner Landstraße 400,”
“01328 Dresden.”
Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Leistung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 30
Price weighting: 70
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2017-06-26 📅
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach §...”
“Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden...”
Quelle: OJS 2017/S 122-247068 (2017-06-26)
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