Weißlichtinterferometer

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Das Fraunhofer IPMS sucht für die Charakterisierung seiner Produkte innerhalb einer 200 mm Waferfertigungslinie ein Weißlichtinterferometer zur hochauflösenden vollautomatischen topographischen Vermessung von 200 mm Wafern im Front- und Backendprozess, sowie zur Analyse bereits aus dem Waferverbund vereinzelter Chips.
Das Weißlichtinterferometer soll in zwei Aufgabenbereichen eingesetzt werden. Diese gliedern sich in den Bereich der sogenannten Oberflächen-MEMS-Technologie „A“ und der BULK-MEMS Technologie „B“.
Weiterführende Information finden Sie hier: http://www.ipms.fraunhofer.de/de/mems-foundry/micromechanics.html />Der Schwerpunkt der ersten Messaufgabe „A“ besteht in der Analyse von Oberflächenstrukturen mit Kantenlängen von wenigen Mikrometern bis in den Millimeterbereich. Diese Strukturen sollen auf ihre Ebenheit untersucht werden. Hierzu wird ein Höhenauflösung im Sub-Nanometerbereich benötigt.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2017-02-20. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2017-01-19.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Bruker France SAS

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Wie?

• Zähler › Elektronische Messgeräte

Wo?

• Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt
• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2017-01-19	Auftragsbekanntmachung
2017-02-20	Ergänzende Angaben
2017-10-12	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2017-01-19)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Elektronische Messgeräte
Referenznummer: E_848_219512 cl-Ols
Kurze Beschreibung:

Das Fraunhofer IPMS sucht für die Charakterisierung seiner Produkte innerhalb einer 200 mm Waferfertigungslinie ein Weißlichtinterferometer zur hochauflösenden vollautomatischen topographischen Vermessung von 200 mm Wafern im Front- und Backendprozess, sowie zur Analyse bereits aus dem Waferverbund vereinzelter Chips. Das Weißlichtinterferometer soll in zwei Aufgabenbereichen eingesetzt werden. Diese gliedern sich in den Bereich der sogenannten Oberflächen-MEMS-Technologie „A“ und der BULK-MEMS Technologie „B“. Weiterführende Information finden Sie hier: http://www.ipms.fraunhofer.de/de/mems-foundry/micromechanics.html Der Schwerpunkt der ersten Messaufgabe „A“ besteht in der Analyse von Oberflächenstrukturen mit Kantenlängen von wenigen Mikrometern bis in den Millimeterbereich. Diese Strukturen sollen auf ihre Ebenheit untersucht werden. Hierzu wird ein Höhenauflösung im Sub-Nanometerbereich benötigt.

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Elektronische Messgeräte 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-01-19 📅
Einreichungsfrist: 2017-02-20 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-01-24 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 016-025491
ABl. S-Ausgabe: 16
Zusätzliche Informationen

— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. – Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1) genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt. Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung. Bitte beachten Sie, dass für Teilnahmeanträge, Angebotsabgaben und Bieterfragen eine Registrierung notwendig ist. Wir empfehlen daher eine frühzeitige Registrierung auch um evtl. Bieterinformationen zu erhalten; ansonsten tragen Sie das Risiko eines evtl. Angebotsausschlusses.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Das Weißlichtinterferometer soll in zwei Aufgabenbereichen eingesetzt werden. Diese gliedern sich in den Bereich der sogenannten Oberflächen-MEMS-Technologie „A“ und der BULK-MEMS Technologie „B“.

Weiterführende Information finden Sie hier: http://www.ipms.fraunhofer.de/de/mems-foundry/micromechanics.html

Der Schwerpunkt der ersten Messaufgabe „A“ besteht in der Analyse von Oberflächenstrukturen mit Kantenlängen von wenigen Mikrometern bis in den Millimeterbereich. Diese Strukturen sollen auf ihre Ebenheit untersucht werden. Hierzu wird ein…

… Höhenauflösung im Sub-Nanometerbereich benötigt.

… Höhenauflösungsvermögen im Sub-Nanometerbereich benötigt.

Bei der Messaufgabe „B“ geht es schwerpunktmäßig um die Messung von tiefen Gruben in verschiedenen Wafermateriealien teilweise mit Aspektverhältnissen über eins. Die Grubentiefe variiert dabei zwischen wenigen Mikrometern bis in den Millimeterbereich. Die erforderliche Genauigkeit der Messung liegt dabei im Einzelnanometerbereich.

Dauer: 4 Monate
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: EFRE-Mittel.
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 01109 Dresden.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

(1) Firmenprofil mit Angabe der Mitarbeiteranzahl.

(2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre.

(3) Eigenerklärung über das ordnungsgemäße. Abführen von Steuern und Abgaben sowie der Beiträge zur gesetzlichen Sozialversicherung.

(4) Eigenerklärung, dass weder ein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde noch das sich das Unternehmen in Liquidation befindet.

(5) Eigenerklärung, dass nachweislich keine schweren Verfehlungen begangen wurden, die die Zuverlässigkeit als Bewerber in Frage stellen.

(6) Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150a GewO (wird durch den Auftraggeber angefordert).

Technische und berufliche Fähigkeiten:

(7) Komplette Referenzen (Kontaktdaten) von vergleichbaren Systemen, nicht älter als 3 Jahre.

Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern: Gemäß Eignungskriterien, Referenzen.
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsgesellschaft e. V.
Kontakt
Internetadresse: www.fraunhofer.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung.

Bitte beachten Sie, dass für Teilnahmeanträge, Angebotsabgaben und Bieterfragen eine Registrierung notwendig ist.

Wir empfehlen daher eine frühzeitige Registrierung auch um evtl. Bieterinformationen zu erhalten; ansonsten tragen Sie das Risiko eines evtl. Angebotsausschlusses.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstr. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1) genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. § 134 GWB informiert.

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabportal deutsche eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2017/S 016-025491 (2017-01-19)

Ergänzende Angaben (2017-02-20)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-02-20 📅
Einreichungsfrist: 2017-03-06 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-02-22 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 037-066876
Verweist auf Bekanntmachung: 2017/S 016-025491
ABl. S-Ausgabe: 37
Quelle: OJS 2017/S 037-066876 (2017-02-20)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2017-10-12)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2017-10-12 📅
Veröffentlichungsdatum: 2017-10-14 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2017/S 198-407051
ABl. S-Ausgabe: 198
Zusätzliche Informationen

— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. – Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt. Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung. Bitte beachten Sie, dass für Teilnahmeanträge, Angebotsabgaben und Bieterfragen eine Registrierung notwendig ist. Wir empfehlen daher eine frühzeitige Registrierung auch um evtl. Bieterinformationen zu erhalten; ansonsten tragen Sie das Risiko eines evtl. Angebotsausschlusses.

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung gem. Spezifikation
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Folgekosten
Qualitätskriterium (Gewichtung): 5
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Servicezeit und Ersatzteilverfügbarkeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Gewichtung des Preises: 35

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2017-09-15 📅

Referenz
Zusätzliche Informationen

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. §134 GWB informiert.

Quelle: OJS 2017/S 198-407051 (2017-10-12)

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