Eine etwa 20 Jahre alte SAT Anlage soll durch eine moderne Anlage ersetzt werden und da-bei ähnliche geringe Anschluss- und Verbrauchswerte aufweisen. Eine genaue Chemikalien-dosierung soll durch Pumpen erreicht werden. Zur nasschemischen Entfernung von stark vernetzten Fotolacken ist eine zusätzliche Hochtemperatur Caro Reinigungslinie notwendig.
Lieferung und funktionsbereite Aufstellung eines neuen SAT zum nasschemischen Reinigen von Siliziumwafern. Die Reinigung hat in einer Kammer von trocken zu trocken zu erfolgen. Es müssen 2 Wafergrößen (150 und 200 mm) prozessierbar sein. Folgende Chemikalien sind zu verwenden: HF, HCl, H2SO4, NH4OH und H2O2, um die Reinigungen SC1, SC2, Caro (= Piranha) und HF-Dip durchführen zu können. Die Reinigungen SC1, SC2 und HF-Dip sind ohne Rezyklierung durchzuführen. Es sind zwei getrennte Caro Reinigungslinien not-wendig (Caro Lack und Caro fein). Die Wafer müssen in derselben Kammer prozessiert, gespült und getrocknet werden.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-06-14.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-05-15.
Auftragsbekanntmachung (2018-05-15) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_827_205075 deyda-wit
Kurze Beschreibung:
“Eine etwa 20 Jahre alte SAT Anlage soll durch eine moderne Anlage ersetzt werden und da-bei ähnliche geringe Anschluss- und Verbrauchswerte aufweisen. Eine...”
Kurze Beschreibung
Eine etwa 20 Jahre alte SAT Anlage soll durch eine moderne Anlage ersetzt werden und da-bei ähnliche geringe Anschluss- und Verbrauchswerte aufweisen. Eine genaue Chemikalien-dosierung soll durch Pumpen erreicht werden. Zur nasschemischen Entfernung von stark vernetzten Fotolacken ist eine zusätzliche Hochtemperatur Caro Reinigungslinie notwendig.
Mehr anzeigen Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦 Ort der Leistung
NUTS-Region: München, Kreisfreie Stadt🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de/🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de/🌏
“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe...”
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe (www.deutsche-evergabe.de) für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung. Bitte beachten Sie, dass für Teilnahmeanträge, Angebotsabgaben und Bieterfragen eine Registrierung notwendig ist. Wir empfehlen daher eine frühzeitige Registrierung auch um evtl. Bieterinformationen zu erhalten; ansonsten tragen Sie das Risiko eines evtl. Angebotsausschlusses,
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Quelle: OJS 2018/S 092-208337 (2018-05-15)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-06-26) Objekt Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Öffentlicher Auftraggeber Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal e-Vergabe
“Verfahren wird gemäß § 63 (1) 1. VGV aufgehoben, da kein Angebot eingegangen ist, das den Bedingungen entspricht.”
Quelle: OJS 2018/S 122-276952 (2018-06-26)