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Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe

Eine etwa 20 Jahre alte SAT Anlage soll durch eine moderne Anlage ersetzt werden und da-bei ähnliche geringe Anschluss- und Verbrauchswerte aufweisen. Eine genaue Chemikalien-dosierung soll durch Pumpen erreicht werden. Zur nasschemischen Entfernung von stark vernetzten Fotolacken ist eine zusätzliche Hochtemperatur Caro Reinigungslinie notwendig.
Lieferung und funktionsbereite Aufstellung eines neuen SAT zum nasschemischen Reinigen von Siliziumwafern. Die Reinigung hat in einer Kammer von trocken zu trocken zu erfolgen. Es müssen 2 Wafergrößen (150 und 200 mm) prozessierbar sein. Folgende Chemikalien sind zu verwenden: HF, HCl, H2SO4, NH4OH und H2O2, um die Reinigungen SC1, SC2, Caro (= Piranha) und HF-Dip durchführen zu können. Die Reinigungen SC1, SC2 und HF-Dip sind ohne Rezyklierung durchzuführen. Es sind zwei getrennte Caro Reinigungslinien not-wendig (Caro Lack und Caro fein). Die Wafer müssen in derselben Kammer prozessiert, gespült und getrocknet werden.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-06-14. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-05-15.

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2018-05-15	Auftragsbekanntmachung
2018-06-26	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2018-05-15)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_827_205075 deyda-wit
Kurze Beschreibung:

Eine etwa 20 Jahre alte SAT Anlage soll durch eine moderne Anlage ersetzt werden und da-bei ähnliche geringe Anschluss- und Verbrauchswerte aufweisen. Eine genaue Chemikalien-dosierung soll durch Pumpen erreicht werden. Zur nasschemischen Entfernung von stark vernetzten Fotolacken ist eine zusätzliche Hochtemperatur Caro Reinigungslinie notwendig. Lieferung und funktionsbereite Aufstellung eines neuen SAT zum nasschemischen Reinigen von Siliziumwafern. Die Reinigung hat in einer Kammer von trocken zu trocken zu erfolgen. Es müssen 2 Wafergrößen (150 und 200 mm) prozessierbar sein. Folgende Chemikalien sind zu verwenden: HF, HCl, H2SO4, NH4OH und H2O2, um die Reinigungen SC1, SC2, Caro (= Piranha) und HF-Dip durchführen zu können. Die Reinigungen SC1, SC2 und HF-Dip sind ohne Rezyklierung durchzuführen. Es sind zwei getrennte Caro Reinigungslinien not-wendig (Caro Lack und Caro fein). Die Wafer müssen in derselben Kammer prozessiert, gespült und getrocknet werden.

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-05-15 📅
Einreichungsfrist: 2018-06-14 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-05-16 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 092-208337
ABl. S-Ausgabe: 92
Zusätzliche Informationen

— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe (www.deutsche-evergabe.de) für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung. Bitte beachten Sie, dass für Teilnahmeanträge, Angebotsabgaben und Bieterfragen eine Registrierung notwendig ist. Wir empfehlen daher eine frühzeitige Registrierung auch um evtl. Bieterinformationen zu erhalten; ansonsten tragen Sie das Risiko eines evtl. Angebotsausschlusses, — Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB).

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Lieferung und funktionsbereite Aufstellung eines neuen SAT zum nasschemischen Reinigen von Siliziumwafern. Die Reinigung hat in einer Kammer von trocken zu trocken zu erfolgen. Es müssen 2 Wafergrößen (150 und 200 mm) prozessierbar sein. Folgende Chemikalien sind zu verwenden: HF, HCl, H2SO4, NH4OH und H2O2, um die Reinigungen SC1, SC2, Caro (= Piranha) und HF-Dip durchführen zu können. Die Reinigungen SC1, SC2 und HF-Dip sind ohne Rezyklierung durchzuführen. Es sind zwei getrennte Caro Reinigungslinien not-wendig (Caro Lack und Caro fein). Die Wafer müssen in derselben Kammer prozessiert, gespült und getrocknet werden.

Eine etwa 20 Jahre alte SAT Anlage soll durch eine moderne Anlage ersetzt werden und dabei ähnliche geringe Anschluss- und Verbrauchswerte aufweisen. Eine genaue Chemikalien-dosierung soll durch Pumpen erreicht werden. Zur naßchemischen Entfernung von stark vernetzten Fotolacken ist eine zusätzliche Hochtemperatur Caro Reinigungslinie notwendig.

Lieferung und funktionsbereite Aufstellung eines neuen SAT zum nasschemischen Reinigen von Siliziumwafern. Die Reinigung hat in einer Kammer von trocken zu trocken zu erfolgen. Es müssen 2 Wafergrößen (150 und 200 mm) prozessierbar sein. Folgende Chemikalien sind zu verwenden: HF, HCl, H2SO4, NH4OH und H2O2, um die Reinigungen SC1, SC2, Caro (= Piranha) und HF-Dip durchführen zu können. Die Reinigungen SC1, SC2 und HF-Dip sind ohne Rezyklierung durchzuführen. Es sind 2 getrennte Caro Reinigungslinien notwendig (Caro Lack und Caro fein). Die Wafer müssen in derselben Kammer prozessiert, gespült und getrocknet werden. Alle in der Maschine verwendeten Materialien, die direkt oder indirekt mit den Wafern in Kontakt kommen, müssen C-MOS kompatibel sein.

Dauer: 8 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 80686 München

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Die nachführend aufgeführten Unterlagen müssen mit dem Angebot vollständig vorgelegt werden. Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

(1) Umsatz der letzten drei Geschäftsjahre;

(2) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 123 und § 124 des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB);

(3) Auszug aus dem Gewerbezentralregister gem § 150 a GewO (wird durch den Auftraggeber eingeholt).

Technische und berufliche Fähigkeiten:

(1) Firmenprofil, inklusive der Angabe der Mitarbeiter in dem ausgeschriebenen Bereich;

(2) Eigenerklärung, dass ein Vor-Ort Service spätestens innerhalb von 4 Werktagen möglich ist.(Mo – Fr. 8.30 bis 18.00 )

(3) Referenzen von vergleichbaren Projekten nicht älter als 3 Jahre (Mindestangaben: Name des Auftraggeber, Ansprechpartner inkl. Kontaktdaten). Sollten Sie aus datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Ansprechpartner nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftraggeber).

Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Verfahren
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 23:59
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2018-07-25 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2018-06-15 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsgesellschaft e. V.
Kontakt
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

— Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB).

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Postanschrift: Heinemannstraße 2
Postleitzahl: 53175
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2018/S 092-208337 (2018-05-15)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-06-26)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Eine etwa 20 Jahre alte SAT Anlage soll durch eine moderne Anlage ersetzt werden und da-bei ähnliche geringe Anschluss- und Verbrauchswerte aufweisen. Eine genaue Chemikalien-dosierung soll durch Pumpen erreicht werden. Zur nasschemischen Entfernung von stark vernetzten Fotolacken ist eine zusätzliche Hochtemperatur Caro Reinigungslinie notwendig. Lieferung und funktionsbereite Aufstellung eines neuen SAT zum nasschemischen Reinigen von Siliziumwafern. Die Reinigung hat in einer Kammer von trocken zu trocken zu erfolgen. Es müssen 2 Wafergrößen (150 und 200 mm) prozessierbar sein. Folgende Chemikalien sind zu verwenden: HF, HCl, H2SO4, NH4OH und H2O2, um die Reinigungen SC1, SC2, Ca-ro (= Piranha) und HF-Dip durchführen zu können. Die Reinigungen SC1, SC2 und HF-Dip sind ohne Rezyklierung durchzuführen. Es sind 2 getrennte Caro Reinigungslinien notwendig (Caro Lack und Caro fein). Die Wafer müssen in derselben Kammer prozessiert, gespült und getrocknet werden.

Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal e-Vergabe

Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-06-26 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-06-28 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 122-276952
Verweist auf Bekanntmachung: 2018/S 092-208337
ABl. S-Ausgabe: 122
Zusätzliche Informationen

Verfahren wird gemäß § 63 (1) 1. VGV aufgehoben, da kein Angebot eingegangen ist, das den Bedingungen entspricht.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

… notwendig (Caro Lack und Caro fein). Die Wafer müssen in derselben Kammer prozessiert, gespült und getrocknet werden.

… not-wendig (Caro Lack und Caro fein). Die Wafer müssen in derselben Kammer prozessiert, gespült und getrocknet werden. Alle in der Maschine verwendeten Materialien, die direkt oder indirekt mit den Wafern in Kontakt kommen, müssen C-MOS kompatibel sein.

Zusätzliche Informationen:

Verfahren wird gemäß § 63 (1) 1. VGV aufgehoben, da kein Angebot eingegangen ist, das den Bedingungen entspricht.

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferzeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 15
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technisch Ausführung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50
Gewichtung des Preises: 35

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal e-Vergabe
Quelle: OJS 2018/S 122-276952 (2018-06-26)

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