Aufdampfanlage
Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.
Es soll eine Anlage zur Beschichtung von glatten Oberflächen mit Metallen, Halbleitern und Isolatoren beschafft werden. Die zu beschichtenden Oberflächen sind ebenfalls Halbleiter, Isolatoren oder Metalle, die in Stücken von 0,5 cm x 0,5 cm bis zu 6 Zoll Wafern vorliegen. Die Schichten sollen Dicken von 1 nm bis zu einigen μm haben und mit hoher Präzision und Reinheit aufgebracht werden. Für solche Prozesse hat sich die sogenannte Aufdampftechnik bewährt, bei der ein Material bis über seinen Schmelzpunkt erwärmt wird, so dass eine gasförmige Phase über dem Material entsteht, die sich dann auf dem zu beschichtenden Substrat niederschlägt. Die Heizung des Materials wird dabei, je nach Material, entweder durch einen Stromfluss durch den Probenhalter oder durch Beschuss des Materials mit hochenergetischen Elektronen durchgeführt. Diese beiden Arten des Verdampfungsprozesses werden thermisches und Elektronenstrahlverdampfen genannt.
DeadlineDie Frist für den Eingang der Angebote war 2018-08-10. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-07-05.
AnbieterDie folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2018-07-05 | Auftragsbekanntmachung |
| 2018-09-17 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Auftragsbekanntmachung (2018-07-05)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: EUOV1802
Kurze Beschreibung:
“Es soll eine Anlage zur Beschichtung von glatten Oberflächen mit Metallen, Halbleitern und Isolatoren beschafft werden. Die zu beschichtenden Oberflächen...”
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Niedrigster Preis
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.
Postanschrift: Bautzner Landstrasse 400
Postleitzahl: 01328
Postort: Dresden
Kontakt
Internetadresse: http://www.hzdr.de 🌏
E-Mail: vergabe@hzdr.de 📧
Fax: +49 3512603166 📠
URL der Dokumente: https://www.hzdr.de/VOL_EUOV1802 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-07-05 📅
Einreichungsfrist: 2018-08-10 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-07-07 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 129-293623
ABl. S-Ausgabe: 129
Zusätzliche Informationen
“Nur Bevollmächtigte des Auftraggebers.”
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Die zu beschaffende Anlage soll beide zuvor genannten Prozesse beherrschen, damit eine möglichst breite Auswahl an Materialien zur Verfügung steht. Viele...”
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“Es müssen folgende technische Mindestanforderungen erfüllt werden:”
“Vakuumkammer”
“— maximalen Abmessungen: Breite: 900 mm, Tiefe: 1950 mm, Höhe: 1 800 mm”
“— die Innenabmessungen sollen mindestens betragen: Breite: 600 mm, Tiefe: 600 mm, Höhe: 800 mm”
“— Es werden folgende Flansche benötigt:”
“Hinten: 1x DN250 ISO-K für Pumpsystem, 2x DN40 KF, 2x DN25 KF, 2x DN16 KF (blind geflanscht, wenn nicht belegt)”
“Oben: 1x DN250 ISO-K für Substrat-Drehantrieb, ca. 4 Installationsbohrungen, Durchmesser 34,5 mm (blind geflanscht, wenn nicht belegt)”
“Unten: ca. 8-10 Installationsbohrungen, Durchmesser 34,5 mm (blind geflanscht, wenn nicht belegt)”
“— Edelstahl-Schutzbleche zur Verhinderung unerwünschter Beschichtung der inneren Kammerwände und Tür, herausnehmbar”
“Vakuumsystem”
“— Trockene, wartungsfreie Rootspumpe mit Nennsaugvermögen ≥ 55 m”
“— Magnetgelagerte Turbomolekularpumpe mit Saugleistung ≥ 2100 l/s,”
“— Kombiniertes Vakuummessystem im Bereich von 1 000 mbar bis 5E-10 mbar mit einer Genauigkeit von mindestens 15 % (Bereich 1E-2 mbar bis 1 E-8 mbar)”
“Elektronenstrahlverdampfer”
“— der Abstand zwischen Quelle und Substrat muss mindestens 40 cm betragen,”
“— die Leistung des Elektronenstrahlverdampfers muss mindestens 6 kW betragen,”
“— es müssen mindestens 6 Positionen für Tiegel zur Aufnahme der Aufdampfmaterialien vorgesehen werden, die ohne Öffnung der Vakuumkammer gewechselt werden können,”
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“— Elektro-pneumatische Verdampferblende, Edelstahl, Blenden-Durchmesser ca. 100 mm”
“Thermischer Verdampfer”
“— Ausgangsspannung/-strom: max. 5V/max. 400A, Ausgangsleistung: max. 2 kVA”
“— Thermischer Einzelverdampfer, bestehend aus zwei wassergekühlten Hochstrom-Durchführungen mit universeller Klemmverschraubung für Verdampfer-Schiffchen...”
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“— Dünnschichtmessgeräte mittels Schwingquarzmessungen für 4 Sensoren, Genauigkeit besser 0,1 Å/s, Genaue Position der Sensoren: 3 Messköpfe direkt an den...”
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“Probenhalter”
“— Substratteller aus Edelstahl, Durchmesser ca. 500 mm, zur Aufnahme von 4 Substraten je 100 mm Durchmesser,”
“— Substrat-Einlegering aus Edelstahl, für ein Einzelsubstrat mit 100 mm Durchmesser,”
“— Pneumatische Substratblende, zum Abschatten einer Substratposition unter dem Drehteller, Blenden-Durchmesser ca. 130 mm”
“Systemsteuerung”
“— Farb-Touchscreen, Tastatur und Maus zur Anlagenbedienung”
“— grafische Benutzer-Oberfläche zur Darstellung des Vakuumsystems mit Prozessparametern, Status- und Fehlermeldungen”
“— manueller Bedienmodus zur Aktivierung der einzelnen Anlagenfunktionen”
“— automatischer Bedienmodus zur schrittgesteuerten Bearbeitung (Pumpen, Belüften, rezepturgesteuerter Bedampfungsablauf)”
“— Data-Logging der relevanten Prozessparameter”
“Substratheizung (Option)”
“— Prozesstemperatur bis 550”
“Ionenquelle (Option)”
“— Ionenquelle zur Reinigung der Substrate Plasma-Neutralisierung durch Filament, montiert innerhalb der Vakuumkammer”
Dauer: 238 Tage
Beschreibung der Optionen:
“Option 1 Substratheizung:”
“Heizbarer Substratheizer, Prozesstemperatur bis 550”
“Option 2 Ionenquelle”
“Ionenquelle zur Reinigung der Substrate, Plasma-Neutralisierung durch Filament, montiert innerhalb der Vakuumkammer”
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Helmholtz-Zentrum Dresden Rossendorf”
“Bautzner Landstrasse 400”
“01328 Dresden”
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
“Eigenerklärung über den Eintrag in einem Berufs- oder Handelsregister nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Staats, in dem der Bieter niedergelassen ist.”
“Eigenerklärung zu den in §§ 123, 124 GWB genannten Ausschlussgründen.”
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
“Eigenerklärung zum Gesamtumsatz der letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre sowie zum Umsatz der letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre bezogen auf...”
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Mindeststandards:
“Geforderter Mindestumsatz besondere Leistungsart: pro Jahr 500 000 EUR netto.”
Technische und berufliche Fähigkeiten:
“Angabe der wesentlichen in den letzten 3 Jahren erbrachten Leistungen vergleichbar mit der ausgeschriebenen Leistung.”
Mindeststandards:
“Es werden zwei Referenzsysteme gefordert, die thermisches Verdampfen und Elektronenstrahlverdampfen verschiedener Materialien unter HV-Bedingungen...”
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Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 14:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2018-09-30 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2018-08-10 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 14:15
Zusätzliche Informationen:
“Nur Bevollmächtigte des Auftraggebers.”
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Großforschungseinrichtung
Kontakt
Kontaktperson: Abteilung Vergabe- und Beschaffungswesen
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes
Postanschrift: Villemomblerstr. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2289499-0 📞
Fax: +49 2289499-163 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“Rechtsbehelfe gemäß § 160 GWB:”
“1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein;”
“2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach §...”
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“3) Der Antrag ist unzulässig, soweit:”
“(1) Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber...”
Mehr anzeigen
“(2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten...”
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“(3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur...”
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“(4) Mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.”
“Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.”
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Vergabekammer des Bundes
Postanschrift: Villemomblerstr. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2289499-0 📞
Fax: +49 2289499-163 📠
Quelle: OJS 2018/S 129-293623 (2018-07-05)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: EUOV1802
Kurze Beschreibung:
“Es soll eine Anlage zur Beschichtung von glatten Oberflächen mit Metallen, Halbleitern und Isolatoren beschafft werden. Die zu beschichtenden Oberflächen...”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Niedrigster Preis
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.
Postanschrift: Bautzner Landstrasse 400
Postleitzahl: 01328
Postort: Dresden
Kontakt
Internetadresse: http://www.hzdr.de 🌏
E-Mail: vergabe@hzdr.de 📧
Fax: +49 3512603166 📠
URL der Dokumente: https://www.hzdr.de/VOL_EUOV1802 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-07-05 📅
Einreichungsfrist: 2018-08-10 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-07-07 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 129-293623
ABl. S-Ausgabe: 129
Zusätzliche Informationen
“Nur Bevollmächtigte des Auftraggebers.”
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Die zu beschaffende Anlage soll beide zuvor genannten Prozesse beherrschen, damit eine möglichst breite Auswahl an Materialien zur Verfügung steht. Viele...”
“Es müssen folgende technische Mindestanforderungen erfüllt werden:”
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“Vakuumkammer”
“— maximalen Abmessungen: Breite: 900 mm, Tiefe: 1950 mm, Höhe: 1 800 mm”
“— die Innenabmessungen sollen mindestens betragen: Breite: 600 mm, Tiefe: 600 mm, Höhe: 800 mm”
“— Es werden folgende Flansche benötigt:”
“Hinten: 1x DN250 ISO-K für Pumpsystem, 2x DN40 KF, 2x DN25 KF, 2x DN16 KF (blind geflanscht, wenn nicht belegt)”
“Oben: 1x DN250 ISO-K für Substrat-Drehantrieb, ca. 4 Installationsbohrungen, Durchmesser 34,5 mm (blind geflanscht, wenn nicht belegt)”
“Unten: ca. 8-10 Installationsbohrungen, Durchmesser 34,5 mm (blind geflanscht, wenn nicht belegt)”
“— Edelstahl-Schutzbleche zur Verhinderung unerwünschter Beschichtung der inneren Kammerwände und Tür, herausnehmbar”
“Vakuumsystem”
“— Trockene, wartungsfreie Rootspumpe mit Nennsaugvermögen ≥ 55 m”
“— Magnetgelagerte Turbomolekularpumpe mit Saugleistung ≥ 2100 l/s,”
“— Kombiniertes Vakuummessystem im Bereich von 1 000 mbar bis 5E-10 mbar mit einer Genauigkeit von mindestens 15 % (Bereich 1E-2 mbar bis 1 E-8 mbar)”
“Elektronenstrahlverdampfer”
“— der Abstand zwischen Quelle und Substrat muss mindestens 40 cm betragen,”
“— die Leistung des Elektronenstrahlverdampfers muss mindestens 6 kW betragen,”
“— es müssen mindestens 6 Positionen für Tiegel zur Aufnahme der Aufdampfmaterialien vorgesehen werden, die ohne Öffnung der Vakuumkammer gewechselt werden können,”
“— Elektro-pneumatische Verdampferblende, Edelstahl, Blenden-Durchmesser ca. 100 mm”
“Thermischer Verdampfer”
“— Ausgangsspannung/-strom: max. 5V/max. 400A, Ausgangsleistung: max. 2 kVA”
“— Thermischer Einzelverdampfer, bestehend aus zwei wassergekühlten Hochstrom-Durchführungen mit universeller Klemmverschraubung für Verdampfer-Schiffchen...”
“— Dünnschichtmessgeräte mittels Schwingquarzmessungen für 4 Sensoren, Genauigkeit besser 0,1 Å/s, Genaue Position der Sensoren: 3 Messköpfe direkt an den...”
“Probenhalter”
“— Substratteller aus Edelstahl, Durchmesser ca. 500 mm, zur Aufnahme von 4 Substraten je 100 mm Durchmesser,”
“— Substrat-Einlegering aus Edelstahl, für ein Einzelsubstrat mit 100 mm Durchmesser,”
“— Pneumatische Substratblende, zum Abschatten einer Substratposition unter dem Drehteller, Blenden-Durchmesser ca. 130 mm”
“Systemsteuerung”
“— Farb-Touchscreen, Tastatur und Maus zur Anlagenbedienung”
“— grafische Benutzer-Oberfläche zur Darstellung des Vakuumsystems mit Prozessparametern, Status- und Fehlermeldungen”
“— manueller Bedienmodus zur Aktivierung der einzelnen Anlagenfunktionen”
“— automatischer Bedienmodus zur schrittgesteuerten Bearbeitung (Pumpen, Belüften, rezepturgesteuerter Bedampfungsablauf)”
“— Data-Logging der relevanten Prozessparameter”
“Substratheizung (Option)”
“— Prozesstemperatur bis 550”
“Ionenquelle (Option)”
“— Ionenquelle zur Reinigung der Substrate Plasma-Neutralisierung durch Filament, montiert innerhalb der Vakuumkammer”
Beschreibung der Optionen:
“Option 1 Substratheizung:”
“Heizbarer Substratheizer, Prozesstemperatur bis 550”
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“Option 2 Ionenquelle”
“Ionenquelle zur Reinigung der Substrate, Plasma-Neutralisierung durch Filament, montiert innerhalb der Vakuumkammer”
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Helmholtz-Zentrum Dresden Rossendorf”
“Bautzner Landstrasse 400”
Mehr anzeigen (1)
“01328 Dresden”
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
“Eigenerklärung über den Eintrag in einem Berufs- oder Handelsregister nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Staats, in dem der Bieter niedergelassen ist.”
“Eigenerklärung zu den in §§ 123, 124 GWB genannten Ausschlussgründen.”
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
“Eigenerklärung zum Gesamtumsatz der letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre sowie zum Umsatz der letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre bezogen auf...”
Mindeststandards:
“Geforderter Mindestumsatz besondere Leistungsart: pro Jahr 500 000 EUR netto.”
Technische und berufliche Fähigkeiten:
“Angabe der wesentlichen in den letzten 3 Jahren erbrachten Leistungen vergleichbar mit der ausgeschriebenen Leistung.”
Mindeststandards:
“Es werden zwei Referenzsysteme gefordert, die thermisches Verdampfen und Elektronenstrahlverdampfen verschiedener Materialien unter HV-Bedingungen...”
Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 14:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2018-09-30 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2018-08-10 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 14:15
Zusätzliche Informationen:
“Nur Bevollmächtigte des Auftraggebers.”
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Großforschungseinrichtung
Kontakt
Kontaktperson: Abteilung Vergabe- und Beschaffungswesen
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes
Postanschrift: Villemomblerstr. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2289499-0 📞
Fax: +49 2289499-163 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“Rechtsbehelfe gemäß § 160 GWB:”
“1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein;”
Mehr anzeigen (7)
“2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach §...”
“3) Der Antrag ist unzulässig, soweit:”
“(1) Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber...”
“(2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten...”
“(3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur...”
“(4) Mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.”
“Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.”
Name: Vergabekammer des Bundes
Postanschrift: Villemomblerstr. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2289499-0 📞
Fax: +49 2289499-163 📠
Quelle: OJS 2018/S 129-293623 (2018-07-05)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-09-17)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 1 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.
Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-09-17 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-09-20 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 181-409724
Verweist auf Bekanntmachung: 2018/S 129-293623
ABl. S-Ausgabe: 181
Zusätzliche Informationen
“Der Gesamtwert der Beschaffung unter II.1.7) und der Gesamtwert des Auftrages unter V.2.4) werden zur Wahrung der Betriebs- und Geschäftsgeheimnisse des...”
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Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“— maximalen Abmessungen: Breite: 900 mm, Tiefe: 1 950 mm, Höhe: 1 800 mm,”
“— die Innenabmessungen sollen mindestens betragen: Breite: 600 mm, Tiefe: 600 mm, Höhe: 800 mm,”
“— es werden folgende Flansche benötigt:”
“— Edelstahl-Schutzbleche zur Verhinderung unerwünschter Beschichtung der inneren Kammerwände und Tür, herausnehmbar Vakuumsystem,”
“— Magnetgelagerte Turbomolekularpumpe mit Saugleistung ≥ 2 100 l/s,”
“— Kombiniertes Vakuummessystem im Bereich von 1000 mbar bis 5E-10 mbar mit einer Genauigkeit von mindestens 15 % (Bereich 1E-2 mbar bis 1 E-8 mbar).”
“— Elektro-pneumatische Verdampferblende, Edelstahl, Blenden-Durchmesser ca. 100 mm.”
“— Ausgangsspannung/-strom: max. 5 V / max. 400 A, Ausgangsleistung: max. 2 kVA,”
“— Elektro-pneumatische Verdampferblende, Edelstahl, Blenden-Durchmesser ca. 100 mm,”
“— Thermischer Einzelverdampfer, bestehend aus zwei wassergekühlten Hochstrom-Durchführungen mit universeller Klemmverschraubung für Verdampfer-Schiffchen...”
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“— Dünnschichtmessgeräte mittels Schwingquarzmessungen für 4 Sensoren, Genauigkeit besser 0,1 Å/s, Genaue Position der Sensoren: 3 Messköpfe direkt an den...”
Mehr anzeigen
“— Substratteller aus Edelstahl, Durchmesser ca. 500mm, zur Aufnahme von 4 Substraten je 100mm Durchmesser,”
“— Substrat-Einlegering aus Edelstahl, für ein Einzelsubstrat mit 100mm Durchmesser,”
“— Pneumatische Substratblende, zum Abschatten einer Substratposition unter dem Drehteller, Blenden-Durchmesser ca. 130 mm.”
“— Farb-Touchscreen, Tastatur und Maus zur Anlagenbedienung,”
“— grafische Benutzer-Oberfläche zur Darstellung des Vakuumsystems mit Prozessparametern, Status- und Fehlermeldungen,”
“— manueller Bedienmodus zur Aktivierung der einzelnen Anlagenfunktionen,”
“— automatischer Bedienmodus zur schrittgesteuerten Bearbeitung (Pumpen, Belüften, rezepturgesteuerter Bedampfungsablauf),”
“— Data-Logging der relevanten Prozessparameter.”
“— Ionenquelle zur Reinigung der Substrate Plasma-Neutralisierung durch Filament, montiert innerhalb der Vakuumkammer.”
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Bautzner Landstraße 400”
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2018-09-17 📅
Name: Creavac GmbH
Postanschrift: Löbtauer Str. 56-71
Postort: Dresden
Postleitzahl: 01159
Land: Deutschland 🇩🇪
Dresden 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 1 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 6
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“(1) Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber...”
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“(2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten...”
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“(3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur...”
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Quelle: OJS 2018/S 181-409724 (2018-09-17)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 1 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.
Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-09-17 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-09-20 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 181-409724
Verweist auf Bekanntmachung: 2018/S 129-293623
ABl. S-Ausgabe: 181
Zusätzliche Informationen
“Der Gesamtwert der Beschaffung unter II.1.7) und der Gesamtwert des Auftrages unter V.2.4) werden zur Wahrung der Betriebs- und Geschäftsgeheimnisse des...”
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“— maximalen Abmessungen: Breite: 900 mm, Tiefe: 1 950 mm, Höhe: 1 800 mm,”
“— die Innenabmessungen sollen mindestens betragen: Breite: 600 mm, Tiefe: 600 mm, Höhe: 800 mm,”
Mehr anzeigen (18)
“— es werden folgende Flansche benötigt:”
“— Edelstahl-Schutzbleche zur Verhinderung unerwünschter Beschichtung der inneren Kammerwände und Tür, herausnehmbar Vakuumsystem,”
“— Magnetgelagerte Turbomolekularpumpe mit Saugleistung ≥ 2 100 l/s,”
“— Kombiniertes Vakuummessystem im Bereich von 1000 mbar bis 5E-10 mbar mit einer Genauigkeit von mindestens 15 % (Bereich 1E-2 mbar bis 1 E-8 mbar).”
“— Elektro-pneumatische Verdampferblende, Edelstahl, Blenden-Durchmesser ca. 100 mm.”
“— Ausgangsspannung/-strom: max. 5 V / max. 400 A, Ausgangsleistung: max. 2 kVA,”
“— Elektro-pneumatische Verdampferblende, Edelstahl, Blenden-Durchmesser ca. 100 mm,”
“— Thermischer Einzelverdampfer, bestehend aus zwei wassergekühlten Hochstrom-Durchführungen mit universeller Klemmverschraubung für Verdampfer-Schiffchen...”
“— Dünnschichtmessgeräte mittels Schwingquarzmessungen für 4 Sensoren, Genauigkeit besser 0,1 Å/s, Genaue Position der Sensoren: 3 Messköpfe direkt an den...”
“— Substratteller aus Edelstahl, Durchmesser ca. 500mm, zur Aufnahme von 4 Substraten je 100mm Durchmesser,”
“— Substrat-Einlegering aus Edelstahl, für ein Einzelsubstrat mit 100mm Durchmesser,”
“— Pneumatische Substratblende, zum Abschatten einer Substratposition unter dem Drehteller, Blenden-Durchmesser ca. 130 mm.”
“— Farb-Touchscreen, Tastatur und Maus zur Anlagenbedienung,”
“— grafische Benutzer-Oberfläche zur Darstellung des Vakuumsystems mit Prozessparametern, Status- und Fehlermeldungen,”
“— manueller Bedienmodus zur Aktivierung der einzelnen Anlagenfunktionen,”
“— automatischer Bedienmodus zur schrittgesteuerten Bearbeitung (Pumpen, Belüften, rezepturgesteuerter Bedampfungsablauf),”
“— Data-Logging der relevanten Prozessparameter.”
“— Ionenquelle zur Reinigung der Substrate Plasma-Neutralisierung durch Filament, montiert innerhalb der Vakuumkammer.”
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Bautzner Landstraße 400”
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2018-09-17 📅
Name: Creavac GmbH
Postanschrift: Löbtauer Str. 56-71
Postort: Dresden
Postleitzahl: 01159
Land: Deutschland 🇩🇪
Dresden 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 1 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 6
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“(1) Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber...”
“(2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten...”
Mehr anzeigen (1)
“(3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur...”
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