Das Fraunhofer IMS benötigt einen neues oder generalüberholtes („refurbished“) „Belackersystem“. Das System ermöglicht die Belackung von 8‘‘ (200 mm) Wafern mit verschiedenen Fotolacken und die Entwicklung dieser Lacke gemäß der Spezifikationen, welche im „Lastenheft“ aufgeführt sind.
Die Wafer werden automatisch durch einen Robot-Handler von mindestens zwei Kassetten beladen. Das Gerät beinhaltet alle Heiz- und Kühlplatten für die nötigen Trocknungs-, Kühl- und Ausbackschritte ebenso wie eine HMDS-Platte. Der Lackdispense soll mithilfe von Pumpen realisiert werden. Der Prozess beinhaltet „edge bead removal – EBR“ und „backside rinse – BSR“. Der Lack wird auf der Entwicklerstation mittels „Puddledispense“ des geeigneten Lösemittels entwickelt.
Die Anlage beinhaltet eine Software, welche sowohl einen automatischen (operating) als auch manuellen (engineering) Modus für die Belackung und Entwicklung von Wafern erlaubt.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-02-19.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-01-18.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-10-17) Öffentlicher Auftraggeber Name und Adressen
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe”
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de📧
Region: München, Kreisfreie Stadt🏙️
URL: http://www.fraunhofer.de🌏
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de🌏 Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschungsgesellschaft e. V.
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Belacker i-line
E_038_234370 cl-bla
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦
Kurze Beschreibung:
“Das Fraunhofer IMS benötigt einen neues oder generalüberholtes („refurbished“) „Belackersystem“. Das System ermöglicht die Belackung von 8‘‘ (200 mm) Wafern...”
Kurze Beschreibung
Das Fraunhofer IMS benötigt einen neues oder generalüberholtes („refurbished“) „Belackersystem“. Das System ermöglicht die Belackung von 8‘‘ (200 mm) Wafern mit verschiedenen Fotolacken und die Entwicklung dieser Lacke gemäß der Spezifikationen, welche im „Lastenheft“ aufgeführt sind.
Die Wafer werden automatisch durch einen Robot-Handler von mindestens 2 Kassetten beladen. Das Gerät beinhaltet alle Heiz- und Kühlplatten für die nötigen Trocknungs-, Kühl- und Ausbackschritte ebenso wie eine HMDS-Platte. Der Lackdispense soll mit Hilfe von Pumpen realisiert werden. Der Prozess beinhaltet „edge bead removal – EBR“ und „backside rinse – BSR“. Der Lack wird auf der Entwicklerstation mittels „Puddledispense“ des geeigneten Lösemittels entwickelt.
Die Anlage beinhaltet eine Software, welche sowohl einen automatischen (operating) als auch manuellen (engineering) Modus für die Belackung und Entwicklung von Wafern erlaubt.
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Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 0.01 💰
1️⃣
Ort der Leistung: Duisburg, Kreisfreie Stadt🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 47057 Duisburg
Beschreibung der Beschaffung:
“Fortsetzung von II.1.4
Das System soll vom Hersteller als „stand-alone-tool“ oder „through the wall“ im Reinraum am IMS installiert werden und muss den...”
Beschreibung der Beschaffung
Fortsetzung von II.1.4
Das System soll vom Hersteller als „stand-alone-tool“ oder „through the wall“ im Reinraum am IMS installiert werden und muss den CMOS-kompatiblen Reinraumbedingungen (class 10) entsprechen. Das Fraunhofer IMS bereitet den Reinraum für die System-Installation vor.
Um die Zuverlässigkeit nachzuweisen, muss das System mit einer Stückzahl von weltweit mehr als 75 Stück installiert sein. Im Falle einer refurbishten Anlage sollte das Baujahr nicht vor dem Jahr 2010 liegen.
Das System muss einen komplett sicheren Prozess-Ablauf ohne jedes Risiko für die Gesundheit des Bedieners erlauben. Wegen des begrenzten Reinraumplatzes muss die Hauptkammer des Belackersystems einen kleineren Grundriss als 2 550 mm x 2 000 mm besitzen. Die Pumpen, Kühler und Regler sind nicht in die Begrenzung eingeschlossen.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung und Spezifikation
Qualitätskriterium (Gewichtung): 45
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Serviceleistungen und Support
Qualitätskriterium (Gewichtung): 20
Preis (Gewichtung): 35
Verfahren Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2018/S 014-028075
Auftragsvergabe
1️⃣
Titel: Belacker i-line
Datum des Vertragsabschlusses: 2018-10-09 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 4
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: SUSS MicroTec Lithography GmbH
Postanschrift: Schleissheimer Str. 90
Postort: Garching bei München
Postleitzahl: 85748
Land: Deutschland 🇩🇪
Region: München, Landkreis🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰
“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter...”
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. – Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstraße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. §134 GWB informiert.
Mehr anzeigen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de📧
URL: http://www.fraunhofer.de🌏
Quelle: OJS 2018/S 201-456497 (2018-10-17)