DUV-Lithografie-Cluster

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

The public tender for the DUV Lithography Cluster comprises two individual lots (batch no 1: DUV Lithography Scanner; batch no 2: DUV Resist Track). Both batches need to be acquired jointly since the tools are mechanically coupled via a wafer interface and cannot be operated individually. An acquisition of only one single batch does not offer a practicable wafer manufacturing solution for Fraunhofer IPMS.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-10-05. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-09-04.

Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2018-09-04 Auftragsbekanntmachung
2018-11-28 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2018-09-04)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe”
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Teilnahme-URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschungsgesellschaft e. V.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: DUV-Lithografie-Cluster E_048_253284 ChrPat-wit FMD
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Kurze Beschreibung:
“The public tender for the DUV Lithography Cluster comprises two individual lots (batch no 1: DUV Lithography Scanner; batch no 2: DUV Resist Track). Both...”    Mehr anzeigen
Informationen über Lose
Angebote können für alle Lose eingereicht werden

1️⃣
Umfang der Beschaffung
Titel: Scanner
Titel
Los-Identifikationsnummer: 1
Beschreibung
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung: Dresden 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 01109 Dresden
Beschreibung der Beschaffung:
“The public tender for the DUV Lithography Cluster comprises two individual lots (batch no 1: DUV Lithography Scanner; batch no 2: DUV Resist Track). Both...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 12
Informationen über Varianten
Es werden Varianten akzeptiert
Informationen über Optionen
Optionen
Beschreibung der Optionen:
“Set of consumable parts, patterning, signal light tower, offline recipe management system, externally certified, WEE, Additional Resist.”
Beschreibung
Zusätzliche Informationen:
“The client reserves the right to cancel the tender if no economic offer is received for either lot.”

2️⃣
Umfang der Beschaffung
Titel: Track
Titel
Los-Identifikationsnummer: 2

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“The documents listed below must be presented in full with the offer. Incomplete documents may lead to the exclusion of the proceedings.”
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1) Company profile and the actual amount of employees; 2) Designation of the company revenue for the last three business years; 3) Self-declaration...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1) Complete references (including contact persons with contact data) from comparable projects, which were realized in the last 3 years; 2) Number of...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“In the event that subcontractors are used, they must be named and their suitability is likewise to be substantiated on the basis of the listed documents...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2018-10-05 23:59 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“— Request of documents - available at: The award documents can be retrieved Exclusively through the award portal of the German e-Vergabe...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“A request for review is inadmissible if more than 15 calendar days have passed since the receipt of the notification from the ordering party indicating a...”    Mehr anzeigen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2018/S 171-388225 (2018-09-04)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-11-28)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“The public tender for the DUV Lithography Cluster comprises two individual lots (batch #1: DUV Lithography Scanner; batch#2: DUV Resist Track). Both batches...”    Mehr anzeigen
Informationen über Lose
Dieser Vertrag ist in Lose unterteilt
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“The public tender for the DUV Lithography Cluster comprises two individual lots (batch No. 1: DUV Lithography Scanner; batch No. 2: DUV Resist Track). Both...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Service
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Delivery time
Qualitätskriterium (Gewichtung): 40
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technical spezifikation
Preis (Gewichtung): 40
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technical Spezifikation
Informationen über Optionen
Beschreibung der Optionen:
“Set of consumable parts, patterning, signal light tower, offline recipe management system, externally certified, WEE, Additional Resist”

Verfahren
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2018/S 171-388225

Auftragsvergabe

1️⃣
Los-Identifikationsnummer: 1
Titel: Scanner
Informationen über nicht gewährte Zuschüsse
Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder alle wurden abgelehnt

2️⃣
Vertragsnummer: 2
Los-Identifikationsnummer: 2
Titel: Track

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“— Request of documents — available at: The award documents can be retrieved Exclusively through the award portal of the German e-Vergabe at...”    Mehr anzeigen
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“A request for review is inadmissible if more than 15 calendar days have passed since the receipt of the notification from the ordering party indicating a...”    Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2018/S 230-525651 (2018-11-28)