DUV Lithography System for the definition of structures down to 0.15 μm

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe

DUV-Exposure tool for 200mm Si-Wafers (notch acc. to SEMI); Technology node: down to 150nm; to be clustered with a wafertrack (i.e. TEL ACT8 or similar); capability of front-to-backside-alignment; including all components (i.e. Laser, Chiller, etc.) to operate the system; to be installed in a class 10 environment; Laser to be installed on the same floor, directly behind the tool, Scanner or stepper, but stepper preferred.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-04-25. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-03-26.

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Düsseldorf › Duisburg, Kreisfreie Stadt
• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2018-03-26	Auftragsbekanntmachung
2018-05-02	Ergänzende Angaben

Auftragsbekanntmachung (2018-03-26)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_038_234438 humt-wit FMD
Kurze Beschreibung:

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Englisch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Duisburg, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-03-26 📅
Einreichungsfrist: 2018-04-25 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-03-28 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 061-134339
ABl. S-Ausgabe: 61
Zusätzliche Informationen

Request of documents — available at: The award documents can be retrieved exclusively through the award portal of the German e-Vergabe at www.deutsche-evergabe.de. With the tender submission, contenders are also subject to the provisions regarding unsuccessful tenders (§ 134 GWB [German Act Against Restraints of Competition]). Questions or remarks from the tenderer must be sent, in English only, exclusively via e-mail to the contact point named underNo. I.1. As far as relevant, responses to the questions or remarks of the tenderer shall also be sent to all other tenderers. Pursuant to Section 9 Par. 3 S. 2 VgV (German public procurement regulation), the contract notice andtheawarddocuments are available to you at the German eVergabe with or without registration. Please note that registration is required for requests to participate, tender submissions and tenderer questions. We therfore recommend early registration, also in order to receive any tenderer information; youotherwisebearthe risk of possible tender exclusion.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Dauer: 6 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 47057 Duisburg

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

1) Company profile.

2) Company turnover for the previous 3 years.

3) Self-declaration regarding the absence of exclusion criteria pursuant to § 123 and § 124 of the German Act Against Restraints of Competition (GWB) (see appendix).

Technische und berufliche Fähigkeiten: 4) References from comparable projects not more than 3 years old.
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

In the event that subcontractors are used, they must be named and their suitability is likewise to be substantiated on the basis of the listed documents. Furthermore, it must be confirmed that they will be available if the order is placed; and their share in the scope of the contractual object must be stated.

Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5
Beschleunigtes Verfahren: Vorveröffentlichung 2017/S 061-113593
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 23:59
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsgesellschaft e. V.
Kontakt
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

Pursuant to Section 9 Par. 3 S. 2 VgV (German public procurement regulation), the contract notice andtheawarddocuments are available to you at the German eVergabe with or without registration.

Please note that registration is required for requests to participate, tender submissions and tenderer questions. We therfore recommend early registration, also in order to receive any tenderer information; youotherwisebearthe risk of possible tender exclusion.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

A request for review is inadmissible if more than 15 calendar days have passed since the receipt of the notification from the ordering party indicating a lack of willingness to help with the objection (§ 160 Par. 3 Clause 1 No. 4 GWB "German Act Against Restraints of Competition"). A request for review is additionally inadmissible if the contract has been awarded before the Vergabekammer "procurement review authority" has informed the ordering party of the request for review (§§ 168 Par. 2 Clause 1, 169 Par. 1 GWB). The award of the contract is possible 15 calendar days after the dispatch of the tenderer information pursuant to § 134 Par. 1 GWB. If the information is sent electronically or via fax, this time period is reduced to ten calendar days (§ 134 Par. 2 GWB). The time period begins on the day after the dispatch of the information by the ordering party; the day on which it is received at the concerned tenderer and applicant is not relevant. The admissibility of a request for review furthermore presupposes that a complaint has been made to the ordering party with regard to the asserted procurement violations within 10 days after knowledge was obtained of it (§ 160 Par. 3 Clause 1 No. 1 GWB). Complaints regarding violations of procurement rules that are apparent on the basis of the announcement must be made to the ordering party before the expiration of the time period named in the announcement for the application or for the tendering (§ 160 Par. 3 Clause 1 No. 1 GWB). Complaints regarding violations of procurement rules that do not become apparent until appearing in the award documents must be made to the ordering party no later than by the expiration of the time period for the application or for the tendering (§ 160 Par. 3 Clause 1 No. 1 GWB).

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Postanschrift: Heinemannstraße 2
Postleitzahl: 53175
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2018/S 061-134339 (2018-03-26)

Ergänzende Angaben (2018-05-02)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

DUV-Exposure tool for 200 mm Si-Wafers (notch acc. to SEMI); Technology node: down to 150 nm; to be clustered with a wafer track (i.e. TEL ACT8 or similar); capability of front to backside alignment; including all components (i.e. Laser, Chiller, etc.) to operate the system; to be installed in a class 10 environment; Laser to be installed on the same floor, directly behind the tool, scanner or stepper, but stepper preferred.

Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben

Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-05-02 📅
Einreichungsfrist: 2018-05-11 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-05-04 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 086-193263
Verweist auf Bekanntmachung: 2018/S 061-134339
ABl. S-Ausgabe: 86
Quelle: OJS 2018/S 086-193263 (2018-05-02)

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