Electron-Beam Writer

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Die Ausschreibung betrifft eine 100 kV Elektronenstrahl Direktschreib-Anlage (E-Beam) mit gaußförmigem Strahlprofil. Das System soll für Lithografie auf Substraten bis zu einer Größe von 150 mm eingesetzt werden. Wichtige Spezifikationen sind eine Justiergenauigkeit von 11 nm und ein Schreibfeld von 1x 1 mm. Die Anlage soll ein Ladesystem für mindestens 10 Substrate und die Software einen Queue-Manager für die zugehörigen Schreib-Jobs beinhalten.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-09-21. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-08-22.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• JEOL (Germany) GmbH

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Freiburg › Freiburg im Breisgau, Stadtkreis
• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2018-08-22	Auftragsbekanntmachung
2018-12-12	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2018-08-22)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_005_233340 cl-golame FMD
Kurze Beschreibung:
“Die Ausschreibung betrifft eine 100 kV Elektronenstrahl Direktschreib-Anlage (E-Beam) mit gaußförmigem Strahlprofil. Das System soll für Lithografie auf...”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Freiburg im Breisgau, Stadtkreis 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-08-22 📅
Einreichungsfrist: 2018-09-21 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-08-24 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 162-369826
ABl. S-Ausgabe: 162
Zusätzliche Informationen

“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter...”
Quelle: OJS 2018/S 162-369826 (2018-08-22)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-12-12)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Die Ausschreibung betrifft eine 100 kV Elektronenstrahl Direktschreib-Anlage (E-Beam) mit gaußförmigem Strahlprofil. Das System soll für Lithografie auf...”
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-12-12 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-12-14 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 241-550157
Verweist auf Bekanntmachung: 2018/S 162-369826
ABl. S-Ausgabe: 241
Zusätzliche Informationen

“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter...”
Quelle: OJS 2018/S 241-550157 (2018-12-12)

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