Das Gerät wird benötigt, um einen PECVD Prozess für SiO2 (TEOS+O2) für beide Protokollzonen (FEOL und BEOL) auf 300 mm-Wafern zu ermöglichen. Optional wird eine zweite Abscheidekammer angestrebt, auf der Silanprozesse mittels PECVD ermöglicht werden sollen (SiO2, SiN und dotiertes SiGe).
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-10-31.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-10-16.
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: FEOL PECVD Clusteranlage
E_048_254391 ChrPat-golame FMD
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦
Kurze Beschreibung:
“Das Gerät wird benötigt, um einen PECVD Prozess für SiO2 (TEOS+O2) für beide Protokollzonen (FEOL und BEOL) auf 300 mm-Wafern zu ermöglichen. Optional wird...”
Kurze Beschreibung
Das Gerät wird benötigt, um einen PECVD Prozess für SiO2 (TEOS+O2) für beide Protokollzonen (FEOL und BEOL) auf 300 mm-Wafern zu ermöglichen. Optional wird eine zweite Abscheidekammer angestrebt, auf der Silanprozesse mittels PECVD ermöglicht werden sollen (SiO2, SiN und dotiertes SiGe).
1️⃣
Ort der Leistung: Dresden🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 01109 Dresden
Beschreibung der Beschaffung:
“Das Gerät wird benötigt, um einen PECVD Prozess für SiO2 (TEOS+O2) für beide Protokollzonen (FEOL und BEOL) auf 300 mm-Wafern zu ermöglichen. Optional wird...”
Beschreibung der Beschaffung
Das Gerät wird benötigt, um einen PECVD Prozess für SiO2 (TEOS+O2) für beide Protokollzonen (FEOL und BEOL) auf 300 mm-Wafern zu ermöglichen. Optional wird eine zweite Abscheidekammer angestrebt, auf der Silanprozesse mittels PECVD ermöglicht werden sollen (SiO2, SiN und dotiertes SiGe).
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 8
Informationen über Optionen
Optionen ✅
Beschreibung der Optionen: Siehe Punkt 5 des Leistungsverzeichnisses
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Die nachführend aufgeführten Unterlagen müssen mit dem Angebot vollständig vorgelegt werden. Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen.”
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen
Die nachführend aufgeführten Unterlagen müssen mit dem Angebot vollständig vorgelegt werden. Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen.
Mehr anzeigen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Firmenprofil mit Angabe der Anzahl der Mitarbeiter;
(2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Jahre;
(3) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
(1) Firmenprofil mit Angabe der Anzahl der Mitarbeiter;
(2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Jahre;
(3) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen (siehe Anlage);
(4) Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150a GewO (wird durch den Auftraggeber angefordert).
Mehr anzeigen Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Komplette Referenzen (Kontaktdaten) von vergleichbaren Systemen, nicht älter als 3 Jahre.” Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Verfahren Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Beschleunigtes Verfahren:
“Aufgrund der hohen Projektdringlichkeit muss ein verkürztes Verfahren gewählt werden.” Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2018-10-31
23:59 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter...”
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. – Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪 Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postort: Bonn
Land: Deutschland 🇩🇪 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Mehr anzeigen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de📧
URL: http://www.fraunhofer.de🌏
Quelle: OJS 2018/S 202-458634 (2018-10-16)
Ergänzende Angaben (2018-10-31)
Ergänzende Informationen Referenz der ursprünglichen Mitteilung
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2018/S 202-458634
Änderungen Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: IV.2.2)
Ort des zu ändernden Textes: Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
Alter Wert
Datum: 2018-10-31 📅
Zeit: 23:59
Neuer Wert
Datum: 2018-11-06 📅
Zeit: 23:59
Quelle: OJS 2018/S 212-485351 (2018-10-31)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-03-06) Öffentlicher Auftraggeber Name und Adressen
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe”
Objekt Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Das Gerät wird benötigt, um einen PECVD Prozess für SiO2 (TEOS+O2) für beide Protokollzonen (FEOL und BEOL) auf 300mm-Wafern zu ermöglichen. Optional wird...”
Kurze Beschreibung
Das Gerät wird benötigt, um einen PECVD Prozess für SiO2 (TEOS+O2) für beide Protokollzonen (FEOL und BEOL) auf 300mm-Wafern zu ermöglichen. Optional wird eine zweite Abscheidekammer angestrebt, auf der Silanprozesse mittels PECVD ermöglicht werden sollen (SiO2, SiN und dotiertes SiGe).
Mehr anzeigen Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Das Gerät wird benötigt, um einen PECVD Prozess für SiO2 (TEOS+O2) für beide Protokollzonen (FEOL und BEOL) auf 300mm-Wafern zu ermöglichen. Optional wird...”
Beschreibung der Beschaffung
Das Gerät wird benötigt, um einen PECVD Prozess für SiO2 (TEOS+O2) für beide Protokollzonen (FEOL und BEOL) auf 300mm-Wafern zu ermöglichen. Optional wird eine zweite Abscheidekammer angestrebt, auf der Silanprozesse mittels PECVD ermöglicht werden sollen (SiO2, SiN und dotiertes SiGe).
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 40
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferzeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Service
Preis (Gewichtung): 40
Beschreibung
Zusätzliche Informationen:
“Verfahren wir gemäß §63 (1) 1. VGV aufgehoben, da kein Angebot eingegangen ist, das den Bewerbungsbedingungen entspricht.”
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2018/S 202-458634
Auftragsvergabe
1️⃣
Titel: FEOL PECVD Clusteranlage
Informationen über nicht gewährte Zuschüsse
Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder alle wurden abgelehnt
Quelle: OJS 2019/S 049-112168 (2019-03-06)