Gasphasenzersetzungsanlage und Massenspektrometer mit induktiv gekoppeltem Plasma
Massenspektrometer mit induktiv gekoppeltem Plasma.
Für ein hochauflösendes Magnetsektorfeld-Massenspektrometer mit induktiv gekoppelter Plasmaionenquelle (HR-ICPMS), das bei der IHP GmbH für automatisierte Verunreinigungsanalyse von Halbleiterproben installiert werden soll. Im HR-ICPMS werden flüssige Proben, kommend von einer Gasphasenzersetzungsanlage, analysiert.
Gasphasenzersetzungsanlage.
1) Ätzmodul zum einseitigen Ätzen des Oxids auf der Si Scheibenoberfläche
2) Scanmodul zum Aufsammeln und Abnehmen der Kontaminationen von der Si Scheibenoberfläche
3) Roboter zum Transport der Si Scheiben von den Kassetten zu den Prozessmodulen und zurück
4) Kassetten Station für 2 offene Si Scheiben Kassetten
5) Rahmen zur partikelfreien Einhausung der Module
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-07-10.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-06-07.
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2018-06-07
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Auftragsbekanntmachung
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