NanoFabrikationsmaschine 100
Die TU Ilmenau plant die Anschaffung einer Nanofabrikationsmaschine auf Basis eines Scanning Probe Lithographie Systems zur skalenübergreifenden Nano-Strukturierung von planaren Oberflächen für Mess- und Bearbeitungsbereiche Ø 100 mm. Die laterale Auflösung der Positionierung soll < 0,1 nm, die Positionierreproduzierbarkeit < 2 nm betragen. Mit dem Lithography -AFM sollen Stegbreiten < 15 nm strukturierbar sein. Dies soll insbesondere auf Basis von Fowler Nordheim-Emission (FN) erfolgen.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-05-08.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-03-23.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2018-03-23
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Auftragsbekanntmachung
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| 2018-06-25
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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