NanoFabrikationsmaschine 100
Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Die TU Ilmenau plant die Anschaffung einer Nanofabrikationsmaschine auf Basis eines Scanning Probe Lithographie Systems zur skalenübergreifenden Nano-Strukturierung von planaren Oberflächen für Mess- und Bearbeitungsbereiche Ø 100 mm. Die laterale Auflösung der Positionierung soll < 0,1 nm, die Positionierreproduzierbarkeit < 2 nm betragen. Mit dem Lithography -AFM sollen Stegbreiten < 15 nm strukturierbar sein. Dies soll insbesondere auf Basis von Fowler Nordheim-Emission (FN) erfolgen.
DeadlineDie Frist für den Eingang der Angebote war 2018-05-08. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-03-23.
AnbieterDie folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2018-03-23 | Auftragsbekanntmachung |
| 2018-06-25 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Auftragsbekanntmachung (2018-03-23)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Lasergesteuerte Werkzeugmaschinen und Bearbeitungszentren
Referenznummer: TU-010/18-23-MB
Kurze Beschreibung:
“Die TU Ilmenau plant die Anschaffung einer Nanofabrikationsmaschine auf Basis eines Scanning Probe Lithographie Systems zur skalenübergreifenden...”
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Lasergesteuerte Werkzeugmaschinen und Bearbeitungszentren 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Ilm-Kreis 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Niedrigster Preis
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postleitzahl: 98693
Postort: Ilmenau
Kontakt
Internetadresse: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
Telefon: +49 3677-691744 📞
Fax: +49 3677-691931 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=192560 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-03-23 📅
Einreichungsfrist: 2018-05-08 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-03-28 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 061-134413
ABl. S-Ausgabe: 61
Zusätzliche Informationen
“Angaben zum elektronischen Vergabeverfahren und zur Ver- und Entschlüsselung der Unterlagen: Die Anforderung der Unterlagen kann beim Auftraggeber per...”
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Quelle: OJS 2018/S 061-134413 (2018-03-23)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Lasergesteuerte Werkzeugmaschinen und Bearbeitungszentren
Referenznummer: TU-010/18-23-MB
Kurze Beschreibung:
“Die TU Ilmenau plant die Anschaffung einer Nanofabrikationsmaschine auf Basis eines Scanning Probe Lithographie Systems zur skalenübergreifenden...”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Lasergesteuerte Werkzeugmaschinen und Bearbeitungszentren 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Ilm-Kreis 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Niedrigster Preis
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postleitzahl: 98693
Postort: Ilmenau
Kontakt
Internetadresse: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
Telefon: +49 3677-691744 📞
Fax: +49 3677-691931 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=192560 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-03-23 📅
Einreichungsfrist: 2018-05-08 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-03-28 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 061-134413
ABl. S-Ausgabe: 61
Zusätzliche Informationen
“Angaben zum elektronischen Vergabeverfahren und zur Ver- und Entschlüsselung der Unterlagen: Die Anforderung der Unterlagen kann beim Auftraggeber per...”
Quelle: OJS 2018/S 061-134413 (2018-03-23)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-06-25)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 670 000 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-06-25 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-06-28 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 122-276908
Verweist auf Bekanntmachung: 2018/S 061-134413
ABl. S-Ausgabe: 122
Quelle: OJS 2018/S 122-276908 (2018-06-25)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 670 000 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-06-25 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-06-28 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 122-276908
Verweist auf Bekanntmachung: 2018/S 061-134413
ABl. S-Ausgabe: 122
Quelle: OJS 2018/S 122-276908 (2018-06-25)
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