NanoFabrikationsmaschine 100

Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung

Die TU Ilmenau plant die Anschaffung einer Nanofabrikationsmaschine auf Basis eines Scanning Probe Lithographie Systems zur skalenübergreifenden Nano-Strukturierung von planaren Oberflächen für Mess- und Bearbeitungsbereiche Ø 100 mm. Die laterale Auflösung der Positionierung soll < 0,1 nm, die Positionierreproduzierbarkeit < 2 nm betragen. Mit dem Lithography -AFM sollen Stegbreiten < 15 nm strukturierbar sein. Dies soll insbesondere auf Basis von Fowler Nordheim-Emission (FN) erfolgen.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-05-08. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-03-23.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• SIOS Meßtechnik GmbH

Wer?

• Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung

Wie?

• Werkzeugmaschinen › Lasergesteuerte Werkzeugmaschinen und Bearbeitungszentren

Wo?

• Thüringen › Ilm-Kreis

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2018-03-23	Auftragsbekanntmachung
2018-06-25	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2018-03-23)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Lasergesteuerte Werkzeugmaschinen und Bearbeitungszentren
Referenznummer: TU-010/18-23-MB
Kurze Beschreibung:

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Lasergesteuerte Werkzeugmaschinen und Bearbeitungszentren 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Ilm-Kreis 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Niedrigster Preis

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postleitzahl: 98693
Postort: Ilmenau
Kontakt
Internetadresse: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
Telefon: +49 3677-691744 📞
Fax: +49 3677-691931 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=192560 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-03-23 📅
Einreichungsfrist: 2018-05-08 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-03-28 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 061-134413
ABl. S-Ausgabe: 61
Zusätzliche Informationen

Angaben zum elektronischen Vergabeverfahren und zur Ver- und Entschlüsselung der Unterlagen: Die Anforderung der Unterlagen kann beim Auftraggeber per Post, Fax, E-Mail oder über die e-Vergabeplattform des Bundes (https://www.evergabe-online.de/start.html?1) erfolgen. Eine elektronische Angebotsabgabe ist nicht zugelassen. Die Abgabe darf nur in Papierform erfolgen. Die Versendung der Vergabeunterlagen erfolgt in Papierform bzw. elektronisch über die e-Vergabeplattform des Bundes.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Die NanoFabrikationsmaschine soll folgende Hauptkomponente enthalten:

— Planarer laserinterferometrischer luftgelagerter Mess- und Positioniertisch,

— Scanning Probe Lithography System,

— Anwender-offene dSpace basierte Gerätesteuerung.

Dauer: 12 Monate
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: Förderkennzeichen:INST273/75-1 FUGG
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: TU Ilmenau.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Präqualifizierte Unternehmen führen den Nachweis der Eignung durch den Eintrag in das Präqualifikationsverzeichnis. Bei Einsatz von Nachunternehmen ist auf Verlangen nachzuweisen, dass

die vorgesehenen Nachunternehmen präqualifiziert sind oder die Voraussetzung für die Präqualifikation erfüllen.

Nicht präqualifizierte Unternehmen haben zum Nachweis der Eignung mit dem Angebot das ausgefüllte Formblatt „Einheitliche Europäische Eigenerklärung (EEE)“ vorzulegen. Bei Einsatz von Nachunternehmen sind die Eigenerklärungen auch für die vorgesehenen Nachunternehmen abzugeben, es sei denn, die Nachunternehmen sind präqualifiziert. In diesem Fall reicht die Angabe der Nummer, unter der die Nachunternehmen in der Liste des Vereins für die Präqualifikation von Bauunternehmen (Präqualifikationsverzeichnis) geführt werden. Gelangt das Angebot in die engere Wahl, sind die Eigenerklärungen (auch die der Nachunternehmen) durch Vorlage der in der „Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung (EEE)“ genannten Bescheinigungen zuständiger Stellen zu bestätigen.

Weitere Nachweise:

— EVB-ILO Beachtung der Kernarbeitsnormen,

— EVB-ILO Beachtung der Kernarbeitsnormen für Nachunternehmer,

— Unbedenklichkeitsbescheinigung der Krankenkasse,

— Firmenprofil inkl. Umsätze der letzten 3 Jahre.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit: Siehe III.1.1).
Technische und berufliche Fähigkeiten: Siehe III.1.1).
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung: Siehe Vergabeunterlagen.

Verfahren
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2018-06-08 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2018-05-08 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 10:00

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=192560 🌏
Internetadresse: https://www.evergabe-online.de/start.html?1 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

Angaben zum elektronischen Vergabeverfahren und zur Ver- und Entschlüsselung der Unterlagen:

Die Anforderung der Unterlagen kann beim Auftraggeber per Post, Fax, E-Mail oder über die e-Vergabeplattform des Bundes (https://www.evergabe-online.de/start.html?1) erfolgen. Eine elektronische Angebotsabgabe ist nicht zugelassen. Die Abgabe darf nur in Papierform erfolgen. Die Versendung der Vergabeunterlagen erfolgt in Papierform bzw. elektronisch über die e-Vergabeplattform des Bundes.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Postanschrift: Weimar Platz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 361-37700 📞
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren: Entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB.
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postort: Ilmenau
Postleitzahl: 98693
Telefon: +49 3677-691744 📞
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
Fax: +49 3677-691931 📠
Internetadresse: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
Quelle: OJS 2018/S 061-134413 (2018-03-23)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-06-25)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 670 000 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-06-25 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-06-28 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 122-276908
Verweist auf Bekanntmachung: 2018/S 061-134413
ABl. S-Ausgabe: 122

Objekt
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: TU Ilmenau

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2018-06-22 📅

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren: Entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB
Quelle: OJS 2018/S 122-276908 (2018-06-25)

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