Overlay-Messsystem

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe

Overlay-Messsystem:
Das zu beschaffende Overlay-Messsystem soll die Messung der Überdeckungsgenauigkeit (Overlay) auf 200 mm und 300 mm Wafern ermöglichen. Die Messgenauigkeit des Systems muss dabei den Anforderungen einer DUV-Lithographie (248 nm) gerecht werden.
1. Technische Anforderung: Fähigkeit zur Prozessierung von 200 mm (open cassette) und 300 mm (FOUP) Wafern; automatisches Handling-System mit Prealignment des Wafers Recipe-gesteuertes Wafer Alignment via Pattern-Recognition; Erstellung von Recipes mit beliebiger Anzahl an Messpunkten mittels einfach handhabbarer Software für die spezifizierte Anlage gültige und lizensierte Software (OS: Windows 7 oder neuer oder vergleichbar); SECS-GEM-Schnittstelle mit Remote-Zugriff und dokumentiertem Kommunikationsprotokoll zur Ansteuerung.
Fortsetzung II.2.4) Beschreibung der Beschaffung

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-03-26. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-02-22.

Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2018-02-22 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2018-02-22)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_048_250529 cl-bla FMD
Kurze Beschreibung:
“Overlay-Messsystem:”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2018-02-22 📅
Einreichungsfrist: 2018-03-26 📅
Veröffentlichungsdatum: 2018-02-24 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2018/S 039-084690
ABl. S-Ausgabe: 39
Zusätzliche Informationen

“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter”
Quelle: OJS 2018/S 039-084690 (2018-02-22)