Plasmabeschichtungsanlage

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche e-Vergabe

Die Anwendung beinhaltet das plasmaunterstützte (plasma ion assited deposition – PIAD) Abscheiden (physical vapor deposition – PVD) von glasartigen Schichten und Metallen mit hohen Abscheideraten (einige μm/min) und großen Schichtdicken im Bereich 100 nm bis 100μm in einem Forschungs- und Entwicklungsumfeld.Die physikalische Zerstäubung geschieht durch Verdampfung mittels Elektronenstrahl
(e-beam deposition). Bedampft werden vorgefertigte Substrate in einer geeigneten Halterung. Als Substrate gelten u. a. Glas- und Halbleiterwafer, Leiterplatten, Kühlkörper, DCB-Substrate und Halbleiterbauelemente, die in ihrer Form, Größe und Oberflächenbeschaffenheit unterschiedlich sind.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-07-20. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-06-21.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2018-06-21 Auftragsbekanntmachung
2018-12-11 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-12-11)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe”
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschungsgesellschaft e. V.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Plasmabeschichtungsanlage E_079_232249 schnal-golame
Produkte/Dienstleistungen: Dampf- oder Sandstrahlmaschinen 📦
Kurze Beschreibung:
“Die Anwendung beinhaltet das plasmaunterstützte (plasma ion assited deposition – PIAD) Abscheiden (physical vapor deposition – PVD) von glasartigen...”    Mehr anzeigen
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 0.01 💰

1️⃣
Ort der Leistung: Erlangen, Kreisfreie Stadt 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 91058 Erlangen
Beschreibung der Beschaffung:
“Die Anwendung beinhaltet das plasmaunterstützte (plasma ion assited deposition – PIAD) Abscheiden (physical vapor deposition - PVD) von glasartigen...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Spezifikation gem. Leistungsverzeichnis
Qualitätskriterium (Gewichtung): 65
Preis (Gewichtung): 35
Informationen über Optionen
Optionen
Beschreibung der Optionen:
“Pumpen- und Messröhrenauswahl, Garantieverlängerung, Schichdickenmessung, Metall-Verdampfungstiegel, Substratkühlung Erweiterungen.”

Verfahren
Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2018/S 118-267790

Auftragsvergabe

1️⃣
Titel: Plasmabeschichtungsanlage
Datum des Vertragsabschlusses: 2018-12-10 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: creavac Creative Vakuumbeschichtung GmbH
Postanschrift: Löbtauer Str. 67-69
Postort: Dresden
Postleitzahl: 01159
Land: Deutschland 🇩🇪
Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postort: Bonn
Land: Deutschland 🇩🇪
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”    Mehr anzeigen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2018/S 241-550047 (2018-12-11)
Neue Beschaffungen in verwandten Kategorien 🆕